হালকা অ্যাসিড শক্ত ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপার

ক) ব্রড-স্পেকট্রাম ফটোরেসিস্ট অপসারণের ক্ষমতা

• ইতিবাচক এবং নেতিবাচক ফটোরেসিস্ট উভয়ের জন্য প্রযোজ্য–: ছাই, নিরাময় এবং কার্বনাইজেশনের পরে একগুঁয়ে অবশিষ্টাংশগুলি পরিচালনা করার ক্ষেত্রে বিশেষ দক্ষতা প্রদর্শন করে।

খ) হালকা অ্যাসিড সূত্র

• pH মান–: 3-5 এর মধ্যে রেঞ্জ, ধাতব স্তর যেমন Al, Cu, Ti এবং GaAs-এর মতো যৌগিক সেমিকন্ডাক্টরের ক্ষয় এড়ানো।

গ) পরিবেশ বান্ধব এবং নিরাপদ

• হ্যালোজেন-মুক্ত এবং ফ্লোরিন-মুক্ত–: RoHS এবং REACH এর মতো পরিবেশগত নিয়ম মেনে চলে।

• নিম্ন অস্থিরতা এবং নিম্ন VOC–: অ-বিষাক্ত এবং অ-দাহনীয়, কর্মক্ষেত্রের ঝুঁকি হ্রাস করে এবং অপারেটরের স্বাস্থ্য রক্ষা করে।

ঘ) প্রক্রিয়া দক্ষতা

• প্রশস্ত-তাপমাত্রার প্রযোজ্যতা (25°C–90°C): MEMS/উন্নত প্যাকেজিংয়ের জন্য নিম্ন-তাপ স্থিতিশীল, EUV-এর জন্য উচ্চ-তাপ প্রতিরোধী।

• দক্ষ অনুপ্রবেশ–: অত্যন্ত ক্রসলিঙ্কযুক্ত ফটোরেসিস্ট (যেমন, SU-8) এবং কার্বনাইজড নেগেটিভ ফটোরেসিস্টের জন্য চমৎকার দ্রবণীয়তা প্রদর্শন করে।

• সরলীকৃত প্রক্রিয়াঃ: একটি একক পণ্য যা দ্বৈত ফটোরেসিস্ট সামঞ্জস্য করতে সক্ষম, উত্পাদন লাইন পরিবর্তনের সময় হ্রাস করে, ক্রস-দূষণ এড়ায় এবং সরঞ্জামের আয়ু বাড়ায়।

ক) সিলিকন-ভিত্তিক চিপস৷

Si/SiO₂/SiN এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, Cu/Al আন্তঃসংযোগ স্তর রক্ষা করে।

খ) GaAs/GaN ডিভাইস৷

হালকা অ্যাসিড সূত্র Au/Ti ইলেক্ট্রোডের ক্ষয় প্রতিরোধ করে।

গ) পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর৷

দক্ষতার সাথে SiC উচ্চ-তাপমাত্রা কার্বনাইজড ফটোরেসিস্ট সরিয়ে দেয়, আল স্তরগুলিকে রক্ষা করে।

ঘ) উন্নত প্যাকেজিং৷

একই সাথে TSV অবশিষ্টাংশ এবং PI প্যাসিভেশন স্তরগুলি পরিষ্কার করে।

e) MEMS সেন্সর৷

এউ প্যাড ক্ষয় না করে গভীর সিলিকন এচের অবশিষ্টাংশ অপসারণ করে।

চ) নমনীয় ইলেকট্রনিক্স’

ন্যানো-সিলভার তারের ক্ষতি না করে PI/PET সাবস্ট্রেটের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।

ক) প্রযোজ্য পরিচ্ছন্নতার পদ্ধতি

• প্রস্তাবিত: গরম ভেজানো

• অন্যান্য পদ্ধতির মধ্যে রয়েছে অতিস্বনক, স্প্রে করা এবং ব্রাশ করা।

খ) তাপমাত্রা এবং সময়

• তাপমাত্রা পরিসীমা: 25°C - 90°C (উষ্ণতা পরিষ্কারকে ত্বরান্বিত করে)।

• স্ট্যান্ডার্ড ক্লিনিং: ট্যাঙ্ক প্রতি 3 - 15 মিনিট (পরিচ্ছন্ন সমাধান ব্যবহার করে)।

• একগুঁয়ে অবশিষ্টাংশঃ 30 মিনিট পর্যন্ত বাড়ানো যেতে পারে।

গ) মূল অপারেটিং নির্দেশাবলী

• ঝরঝরে সমাধান ব্যবহার করুন: কোন পাতলা করার প্রয়োজন নেই।

• সেট তাপমাত্রা বজায় রাখুন: স্ট্রিপিং দ্রবণে ওয়েফারগুলি ডুবানোর পরে।

• ফটোরেসিস্ট বেধ/কার্বনাইজেশন ডিগ্রির উপর ভিত্তি করে সময় সামঞ্জস্য করুন।