Stailc fhótagrafach chruaite aigéadach éadrom

a) Cumas chun fótagraf speictrim leathan a bhaint

• Infheidhme maidir le fótaraitheoirí dearfacha agus diúltacha ‌: léiríonn sé saineolas ar leith maidir le hiarmhair stubborn a láimhseáil tar éis iad a mhaolú, a leigheas agus a charbónú.

b) foirmle aigéad éadrom

• Luach pH‌: Réitíonn idir 3-5, ag seachaint creimeadh do shraitheanna miotail amhail Al, Cu, TI, agus leathsheoltóirí cumaisc cosúil le GaAs.

c) atá neamhdhíobhálach don chomhshaol agus sábháilte

• Saor ó halaigine agus fluairín ‌: comhlíonann sé le rialacháin chomhshaoil amhail ROHS agus Reach.

• Luacháil íseal agus VOC íseal: neamhthocsaineach agus neamh-inlasta, ag laghdú guaiseacha san ionad oibre agus ag cosaint sláinte an oibreora.

d) Éifeachtúlacht próisis

• Infheidhmeacht teocht leathan (25 ° C-90 ° C): cobhsaí íseal-temp do MEMS/pacáistiú ardleibhéil, frithsheasmhacht in aghaidh ard-temp do EUV.

• Treá éifeachtach ‌: Taispeánann sé intuaslagthacht den scoth do fhótaraitheoirí an-chrosairí (m.sh. SU-8) agus fótaraitheoirí diúltacha carbónáitithe.

• Próiseas simplithe ‌: Táirge amháin atá in ann comhoiriúnacht dé-fhóta-fhótagrafaíochta, am lasctha líne táirgthe a laghdú, tras-éilliú a sheachaint, agus saolré trealaimh a leathnú.

a) sceallóga bunaithe ar sileacain‌

Ag luí le Si/Sio₂/Sin, ag cosaint sraitheanna idirnasctha Cu/Al.

b) Gléasanna GaAs/GaN‌

Cuireann foirmle aigéad éadrom cosc ar chreimeadh leictreoidí Au/Ti.

c) leathsheoltóirí cumhachta‌

Cuireann sé go héifeachtach fótaraitheoir carbónáitithe ardteochta SIC, ag cosaint sraitheanna AL.

d) Ardphacáistiú‌

Glanann sé ag an am céanna sraitheanna iarmhar TSV agus Pi Passivation.

e) braiteoirí MEMS‌

Baintear iarmhar eitse sileacain dhomhain gan pillíní AU a chreimeadh.

f) Leictreonaic sholúbtha‌

Ag luí le foshraitheanna PI/PET gan dochar a dhéanamh do shreanga nana-silver.

a) Modhanna glantacháin is infheidhme

• Molta ‌: maos te

• I measc na modhanna eile tá ultrasonach, spraeáil, agus scuabadh.

b) teocht agus am

• Raon teochta ‌: 25 ° C - 90 ° C (luasghéaraíonn an téamh glanadh).

• Glanadh caighdeánach ‌: 3 - 15 nóiméad in aghaidh an umair (ag baint úsáide as tuaslagán néata).

• Iarmhar Stubborn ‌: Is féidir é a shíneadh suas le 30 nóiméad.

c) Príomh -threoracha oibriúcháin

• Bain úsáid as tuaslagán néata ‌: Ní gá caolú a dhéanamh.

• Coinnigh teocht an tsocraithe ‌: Tar éis sliseoga a thumadh sa tuaslagán stiallacha.

• Coigeartaigh an t -am bunaithe ar thiús fótagrafaíochta/céim charbóinis ‌.