Stripper Fótairéiseach Cruaite Aigéad Éadrom

a) Cumas um Bhaint Fótairíoch Speictrim Leathan

• Infheidhme maidir le Fótaróirí Dearfach agus Diúltach araon‌: Léiríonn sé saineolas ar leith maidir le hiarmhair stubborn a láimhseáil tar éis luaith, leigheas agus carbónú.

b) Foirmle Aigéad Éadrom

• Luach pH: Réimsí idir 3-5, ag seachaint creimeadh do shraitheanna miotail mar Al, Cu, Ti, agus leathsheoltóirí cumaisc cosúil le GaAs.

c) Neamhdhíobhálach don chomhshaol agus Sábháilte

• Saor ó Halaigine agus Saor ó Fhluairín‌: Comhlíonann sé rialacháin comhshaoil ​​mar RoHS agus REACH.

• Íseal-luaineacht agus Íseal VOC‌: Neamh-tocsaineach agus neamh-inadhainte, ag laghdú guaiseacha san ionad oibre agus ag cosaint sláinte oibritheora.

d) Éifeachtúlacht Próisis

• Infheidhmeacht Teocht Leathan (25°C–90°C): Cobhsaí íseal-teocht do MEMS/phacáistiú chun cinn, resistant ardteochta do EUV.

• Treá Éifeachtach‌: Taispeántar intuaslagthacht den scoth le haghaidh fótareisitheoirí an-trasnasctha (eg, SU-8) agus fótareisitheoirí diúltacha carbóinithe.

• Próiseas Simplithe‌: Táirge aonair atá in ann comhoiriúnacht défhótaileictreach a bheith ann, a laghdóidh am aistrithe an líne táirgeachta, seachnaíonn tras-éilliú, agus síneadh saolré an trealaimh.

a) Sliseanna sileacain-bhunaithe

Ag luí le Si/SiO₂/SiN, ag cosaint sraitheanna idirnasc Cu/Al.

b) GaAs/Gléasanna GaN‌

Coscann foirmle aigéid bhog creimeadh leictreoidí Au/Ti.

c) Leathsheoltóirí Cumhachta‌

Baineann sé go héifeachtach le SiC photoresist carbónaithe ard-teocht, a chosaint sraitheanna Al.

d) Ardphacáistiú‌

Glanann sé iarmhar TSV agus sraitheanna pasivation PI ag an am céanna.

e) Braiteoirí MEMS‌

Baintear iarmhar eitse sileacain dhomhain gan pillíní Au a chreimeadh.

f) Leictreonaic Sholúbtha‌

Ag luí le foshraitheanna PI/PET gan dochar a dhéanamh do shreanga nana-airgid.

a) Modhanna Glantacháin Infheidhme

• Molta: Maos te

• I measc na modhanna eile tá ultrasonaic, spraeáil agus scuabadh.

b) Teocht agus Am

• Raon Teochta‌: 25°C – 90°C (luathaíonn téamh glanadh).

• Glanadh Caighdeánach: 3 - 15 nóiméad in aghaidh an umair (ag baint úsáide as tuaslagán néata).

• Iarmhar Stubborn: Is féidir é a fhadú suas le 30 nóiméad.

c) Príomhthreoracha Oibriúcháin

• Úsáid Réiteach Neat‌: Níl gá le caolú.

• Coinnigh an Teocht Socraithe‌: Tar éis sliseog a thumadh sa tuaslagán stripping.

• Coigeartaigh Am Bunaithe ar Chéim Tiús/Carbónú Fótaileictreach‌.