மைல்டு ஆசிட் கடினப்படுத்தப்பட்ட போட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்ட்ரிப்பர்

a) பரந்த-ஸ்பெக்ட்ரம் போட்டோரெசிஸ்ட் அகற்றும் திறன்

• நேர்மறை மற்றும் எதிர்மறை ஒளிச்சேர்க்கையாளர்களுக்கு பொருந்தும்: சாம்பல், குணப்படுத்துதல் மற்றும் கார்பனேற்றத்திற்குப் பிறகு பிடிவாதமான எச்சங்களைக் கையாள்வதில் குறிப்பிட்ட நிபுணத்துவத்தை வெளிப்படுத்துகிறது.

b) மைல்ட் ஆசிட் ஃபார்முலா

• pH மதிப்பு: 3-5 வரையிலான வரம்புகள், Al, Cu, Ti போன்ற உலோக அடுக்குகளுக்கு அரிப்பைத் தவிர்க்கும் மற்றும் GaAs போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள்.

c) சுற்றுச்சூழல் நட்பு மற்றும் பாதுகாப்பானது

• ஹாலோஜன் இல்லாத மற்றும் ஃப்ளோரின் இல்லாத: RoHS மற்றும் REACH போன்ற சுற்றுச்சூழல் விதிமுறைகளுடன் இணங்குகிறது.

• குறைந்த நிலையற்ற தன்மை மற்றும் குறைந்த VOC: நச்சுத்தன்மையற்ற மற்றும் எரியக்கூடியது, பணியிட அபாயங்களைக் குறைத்தல் மற்றும் ஆபரேட்டர் ஆரோக்கியத்தைப் பாதுகாத்தல்.

ஈ) செயல்முறை திறன்

• பரந்த-வெப்பநிலை பொருந்தக்கூடிய தன்மை (25°C–90°C): MEMS/மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கிற்கான குறைந்த-டெம்ப் நிலையானது, EUVக்கு உயர்-டெம்ப் ரெசிஸ்டண்ட்.

• திறம்பட ஊடுருவல்: அதிக குறுக்கு இணைக்கப்பட்ட ஒளிச்சேர்க்கைகள் (எ.கா., SU-8) மற்றும் கார்பனைஸ்டு நெகடிவ் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்டுகளுக்கு சிறந்த கரைதிறனை வெளிப்படுத்துகிறது.

• எளிமைப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை: இரட்டை ஒளிச்சேர்க்கை இணக்கத்தன்மை, உற்பத்தி வரி மாறுதல் நேரத்தைக் குறைத்தல், குறுக்கு-மாசுபாட்டைத் தவிர்ப்பது மற்றும் உபகரணங்களின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கும் திறன் கொண்ட ஒரு தயாரிப்பு.

அ) சிலிக்கான் அடிப்படையிலான சில்லுகள்

Si/SiO₂/SiN உடன் இணக்கமானது, Cu/Al இன்டர்கனெக்ஷன் லேயர்களைப் பாதுகாக்கிறது.

b) GaAs/GaN சாதனங்கள்

லேசான அமில சூத்திரம் Au/Ti மின்முனைகளின் அரிப்பைத் தடுக்கிறது.

c) பவர் குறைக்கடத்திகள்

SiC உயர் வெப்பநிலை கார்பனைஸ்டு போட்டோரெசிஸ்ட்டை திறம்பட நீக்கி, அல் அடுக்குகளைப் பாதுகாக்கிறது.

ஈ) மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்

TSV எச்சம் மற்றும் PI செயலற்ற அடுக்குகளை ஒரே நேரத்தில் சுத்தம் செய்கிறது.

இ) MEMS சென்சார்கள்

Au பேட்களை அரிக்காமல் ஆழமான சிலிக்கான் எட்ச் எச்சத்தை நீக்குகிறது.

f) நெகிழ்வான மின்னணுவியல்

நானோ வெள்ளி கம்பிகளை சேதப்படுத்தாமல் PI/PET அடி மூலக்கூறுகளுடன் இணக்கமானது.

அ) பொருந்தக்கூடிய துப்புரவு முறைகள்

• பரிந்துரைக்கப்படுகிறது: சூடான ஊறவைத்தல்

• மற்ற முறைகளில் மீயொலி, தெளித்தல் மற்றும் துலக்குதல் ஆகியவை அடங்கும்.

b) வெப்பநிலை மற்றும் நேரம்

• வெப்பநிலை வரம்பு: 25°C - 90°C (வெப்பம் சுத்தம் செய்வதை துரிதப்படுத்துகிறது).

• நிலையான சுத்தம்: ஒரு தொட்டிக்கு 3 - 15 நிமிடங்கள் (சுத்தமான கரைசலைப் பயன்படுத்தி).

• பிடிவாதமான எச்சம்: 30 நிமிடங்கள் வரை நீட்டிக்கப்படலாம்.

c) முக்கிய இயக்க வழிமுறைகள்

• நேர்த்தியான தீர்வைப் பயன்படுத்தவும்: நீர்த்தல் தேவையில்லை.

• செட் வெப்பநிலையை பராமரிக்கவும்: செதில்களை அகற்றும் கரைசலில் மூழ்கிய பிறகு.

• ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் தடிமன்/கார்பனைசேஷன் பட்டத்தின் அடிப்படையில் நேரத்தைச் சரிசெய்யவும்.