2025 WESEMIBAY Imọye: 3rd/4th Gen Semiconductor Trends & Isọsọtọ pipe

Ọrọ Iṣaaju

Awọn 2nd Bay Area Semiconductor Industry Ecology Expo (WESEMIBAY 2025) waye ni Shenzhen Convention and Exhibition Centre (Futian) lati Oṣu Kẹwa 15 si 17, 2025. Ni wiwa lori awọn mita mita 60,000, ifihan naa ṣe ifamọra diẹ sii ju 600wel asiwaju awọn ile-iṣẹ ati awọn ile-iṣẹ 200000 lati awọn orilẹ-ede 2com. Labẹ akori naa 'Semiconductor Nfi agbara fun ojo iwaju, Innovation Kọ Ẹkọ nipa Ẹkọ nipa Imọ-jinlẹ”, awọn aṣa iyipada meji ti farahan: isare ibi-gbóògì ti awọn semikondokito iran 3rd-iran (SiC/GaN) ati iyipada ti awọn ohun elo iran kẹrin (gallium antimonide, indium antimonide) lati R&D si afọwọsi ohun elo.

Bibẹẹkọ, awọn ilọsiwaju wọnyi mu ipenija to ṣe pataki sibẹsibẹ ti a ko koju si: awọn ilana ṣiṣe mimọ ti aṣa n tiraka lati dọgbadọgba 'Yiyọkuro iyokù' ati ' Idaabobo ohun elo.' Fun apẹẹrẹ, awọn ohun elo mimu lile nigbagbogbo ba awọn semikondokito 4th-gen jẹ, lakoko yiyọ epo-ikunra pipe lori 8-inch wafers SiC taara dinku ikore. Nkan yii ṣe itupalẹ awọn aṣa ile-iṣẹ bọtini lati WESEMIBAY 2025, ṣe iwadii bii awọn imọ-ẹrọ mimọ to peye ṣe koju awọn aaye irora wọnyi, ati ṣepọ awọn oye iṣafihan aaye ati data afọwọsi imọ-ẹrọ.

1. Awọn Iyipada Koko Ti Ṣafihan ni WESEMIBAY 2025

(1) Aṣa 1: 8-Inch SiC/GaN Wafers Wọle Ipele Pataki ti iṣelọpọ Mass

WESEMIBAY 2025 ṣe afihan ni kedere iyipada kan ni awọn semikondokito-iran 3rd lati ' 6-inch gaba ' si ' 8-inch scale-soke. ' Ile -iṣẹ Imọ-ẹrọ ti Orilẹ-ede fun Wide BandGap Semiconductors (Shenzhen) ṣe afihan 8-inch SiC/GaN awaoko Syeed ni expo, pẹlu awọn ohun elo staum gbọdọ yago fun awọn ohun elo staum. (Ga-O) ati gallium-nitrogen (Ga-N) awọn abawọn aye lati rii daju igbẹkẹle ẹrọ ' - alaye kan ti o ṣe afihan iwulo fun onirẹlẹ, awọn ojutu mimọ diẹ sii.

CR Micro (China Resources Microelectronics) tun jẹrisi aṣa yii nipasẹ fififihan awọn wafers 8-inch, pẹlu akiyesi ami ami: 'A nfun awọn iṣẹ iṣelọpọ 8 + 12-inch wafer, ni idojukọ lori awọn ẹrọ agbara fun awọn ọkọ ayọkẹlẹ agbara tuntun.” Gẹgẹbi awọn asọtẹlẹ ile-iṣẹ fun ọdun 2025 , ọja agbaye SiC wafer yoo rii idagbasoke pataki, pẹlu iṣiro iṣiro 8-inch fun awọn gbigbe iwọn didun lapapọ 3% 15% ni ọdun 2024. Idagba yii ni ibamu pẹlu awọn agbara ile-iṣẹ, bii Wolfspeed ati Infineon ti n mu imugboroja agbara 8-inch.

Yipada si awọn wafers nla ṣẹda ibeere pataki kan: mimọ aṣọ ni gbogbo dada wafer. Fun awọn ijiroro imọ-ẹrọ lori aaye pẹlu awọn onimọ-ẹrọ agọ CR Micro, “Iyatọ ti o ku ti o kan 0.1μm laarin eti ati aarin ti 8-12-inch wafers le dinku ikore nipasẹ 5-8%.

(2) Aṣa 2: 4th-Gen Semiconductors Gbe lati R&D si Idanwo Ohun elo

Lakoko ti awọn semikondokito 3rd-gen wa ni ipilẹ akọkọ ti iṣelọpọ lọwọlọwọ, awọn ohun elo 4th-gen farahan bi “afihan ti o farapamọ” ni WESEMIBAY 2025. Ile -iṣẹ Imọ-ẹrọ ti Orilẹ-ede fun Wide BandGap Semiconductors (Shenzhen) ṣe atokọ ni kedere ' awọn ohun elo antimonide ' ati ' gallium oxide ni iṣaaju-iṣaaju R&GenerD epitaxy” Awọn ohun elo & Awọn ẹrọ ' apakan. Awọn amoye Booth ṣe alaye: 'Antimonides tayọ ni agbara kekere, awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga fun aaye afẹfẹ ati 6G, ṣugbọn eto kristali ẹlẹgẹ wọn jẹ ki wọn ni ifaragba gaan si ipata epo.”

Shenzhen Pinghu Laboratory ṣe afihan eyi nipa fififihan 8-inch Si-based GaN wafers kekere foliteji, pẹlu awọn akole ọja ti n ṣakiyesi: 'Iṣakoso wafer iwaju 4th-gen yoo nilo 'awọn ojutu mimọ aabo' ti o yọ epo-eti kuro laisi ibajẹ awọn ohun elo bandgap jakejado ultra. Awọn ohun elo semikondokito 4th-gen, ti a ṣe nipasẹ awọn iwulo lati awọn apa ẹrọ itanna pataki.

(3) Aṣa 3: Awọn ilana Isọgbẹ Gbọdọ ni ibamu pẹlu Innovation Ohun elo To ti ni ilọsiwaju

Innovation ninu awọn ẹrọ iṣelọpọ semikondokito ni WESEMIBAY 2025 tẹnumọ iwulo fun ' awọn ojutu mimọ iṣọpọ.” Xinkalai (olupese ohun elo inu ile kan) ṣe fidio igbega kan ni agọ rẹ, ni sisọ: ' Fun data ifihan imọ-ẹrọ ninu fidio igbega agọ Xinkailai, awọn iyokù nanoscale le dinku irin lẹhin gbigbe laini isokan ti o ga julọ ti o le ṣe agbega laini iwọntunwọnsi kekere ti o le ṣe agbega laini iwọn-giga. 10-15% ' Fidio naa tun tẹnumọ pe mimọ gbọdọ wa ni mimuuṣiṣẹpọ pẹlu etching ati ifisilẹ fiimu tinrin lati yago fun ibajẹ-agbelebu.

Han's Semikondokito siwaju sii ti afọwọsi aṣa yii nipa fifihan 'SiC Ingot Laser Slicing & Thinning Integrated Machine.' Fun awọn alaye imọ-ẹrọ ti a samisi lori ohun elo Semiconductor ti Han, ẹrọ naa nilo ṣiṣe mimọ lori aaye lẹhin ege, ko si isọkuro wafer, lati mu ilọsiwaju ṣiṣẹ daradara. 'ṣe deede si 2-12-inch wafers ati rii daju yiyọkuro iyokù aṣọ,' gẹgẹbi oṣiṣẹ agọ.

Awọn idagbasoke wọnyi jẹrisi aṣa ti o han gbangba: mimọ kii ṣe igbesẹ ominira mọ ṣugbọn paati mojuto ti awọn ilana iṣelọpọ semikondokito iṣọpọ.

2. 3 Mojuto Cleaning italaya ni Semikondokito Manufacturing

Ni idapọ pẹlu awọn ijiroro pẹlu awọn aṣelọpọ chirún ati awọn olupese ohun elo ni iṣafihan, awọn aṣa ti o wa loke tumọ si awọn aaye irora mimọ titẹ mẹta:

(1) Ipenija 1: Ibamu Ohun elo pupọ

3rd-gen SiC/GaN ati 4th-gen antimonides ni awọn iduroṣinṣin kemikali ti o yatọ pupọ. Ohun mimu ti o munadoko fun SiC le etch antimonides, lakoko ti ojutu kekere kan fun awọn antimonides nigbagbogbo fi awọn iṣẹku epo-eti silẹ lori SiC. Awọn onimọ-ẹrọ ni Ile-iṣẹ Innovation Gen Semiconductor 3rd ti Orilẹ-ede pin: 'A ti rii awọn ọran nibiti awọn olutọpa jeneriki nfa awọn abawọn Ga-O lori awọn wafers GaN, dinku igbesi aye ẹrọ nipasẹ 30%”.

Fidio igbega ti Xinkailai tun jẹrisi ọran yii — awọn iṣẹku post-etch ti a ko yọ kuro le ba didara ifisilẹ fiimu tinrin ti o tẹle, ti o yori si ilodisi wiwo ti o ga julọ.

(2) Ipenija 2: Aṣọsọsọ mimọ fun Awọn Wafers Iwon Ti o tobi

Bi awọn wafers 8-12-inch ṣe di ojulowo, iṣọkan mimọ ti di ipin-pataki ipin. Fun data ijiroro imọ-ẹrọ lori aaye pẹlu awọn ẹlẹrọ agọ CR Micro, ' Iyatọ mimọ ti 0.5μm laarin eti ati aarin ti awọn wafers 12-inch le dinku ikore nipasẹ 8-10%”.

(3) Ipenija 3: Itọpa pipe fun Iṣakojọpọ To ti ni ilọsiwaju

Chiplet & Agbegbe Iṣakojọpọ To ti ni ilọsiwaju (ti gbalejo nipasẹ Imọ-ẹrọ SiChip) ṣe afihan 2.5D/3D awọn eerun tolera. Fun awọn aami lori awọn ifihan ni SiChip's Chiplet Zone, 'Awọn ela dín laarin orisirisi awọn ku (bi o kere bi 5μm) epo-eti asopọ pakute, eyiti awọn ojutu mimọ ibilẹ ko le de ọdọ-iṣiṣẹ ipa-ọna asopọ.'

3. Innovation itọnisọna fun konge Cleaning

Lati koju awọn italaya wọnyi, WESEMIBAY 2025 ṣe afihan awọn itọsọna imotuntun bọtini mẹta fun awọn imọ-ẹrọ mimọ pipe — ṣe atilẹyin nipasẹ data idanwo aaye ati awọn esi alabara:

(1) Itọnisọna 1: Awọn agbekalẹ Ọfẹ Ibajẹ fun Ibamu Ohun elo pupọ

Idabobo awọn ohun elo 4th-gen ẹlẹgẹ lakoko yiyọ awọn iṣẹku lati awọn semikondokito 3rd-gen nilo didoju, awọn solusan mimọ ti kii ṣe abrasive. Fun apẹẹrẹ, ojutu mimọ ti ko ni ibajẹ ti Shenzhen Yuanan Technology (ni ibẹrẹ idagbasoke fun awọn yipo anilox seramiki ṣugbọn ti a fọwọsi fun awọn ohun elo semikondokito) ni pH ti 6.5 ± 0.5 — fun data idanwo inu ile lati ile-iyẹwu Shenzhen Yuanan Technology. Fọọmu didoju yii yago fun awọn abawọn Ga-O/Ga-N lori awọn wafers GaN lakoko ti o yọkuro epo-eti mimu daradara lati SiC ati awọn antimonides.

Awọn data idanwo lati ọdọ olupese ile wafer SiC kan fihan pe ojutu yii ṣaṣeyọri yiyọkuro epo-eti 99.9% lori awọn wafers SiC 8-inch laisi ibajẹ oju ilẹ ti a rii. Ni afikun, ọja naa ni ibamu pẹlu Ilana EU REACH (EC) Ko 1907/2006 ati Akojọ Oludije tuntun ti Awọn nkan ti ibakcdun Giga pupọ (SVHC) — lapapọ awọn nkan 235 bi ti Oṣu Kẹwa ọdun 2025 — ati awọn itọsọna RoHS. Eyi jẹ ki o dara fun awọn ẹwọn ipese semikondokito agbaye, pataki fun awọn aṣelọpọ APAC ti o fojusi awọn ọja Yuroopu ati Amẹrika.

Semikondokito Ohun elo Iru	Mojuto Cleaning Ipenija	Ojutu Ibamu (Yuanan Chemtech)
Jẹn 3rd - SiC (8/12-inch)	Iyoku epo-eti & isokan aarin eti	Regede ti ko ni ibajẹ (pH 6.5 ± 0.5) & agbekalẹ ẹdọfu dada kekere
3rd Gen - GaN	Ga-O/Ga-N awọn abawọn aaye	Aidaduro, omi mimọ ti kii ṣe abrasive
4th Gen - Antimonides	Ipata gara ẹlẹgẹ	Onírẹ̀lẹ̀ ìwẹ̀nùmọ́ (isẹ́jú 3-5 ìṣẹ́jú)

(2) Itọnisọna 2: Awọn ilana ilaluja giga fun Isokan

Yiyan awọn ọran isokan fun awọn wafer nla nilo awọn omi mimọ lati wọ inu boṣeyẹ kọja dada wafer — pẹlu awọn egbegbe ati awọn yara. Ojutu mimọ ti Shenzhen Yuanan Technology nlo agbekalẹ ẹdọfu dada kekere kan (≤25 mN/m), eyiti o le wọ inu awọn cavities wafer ati awọn egbegbe laarin awọn iṣẹju 3-5 (fun data idanwo inu ile lati inu yàrá imọ-ẹrọ Shenzhen Yuanan). Iṣe yii ti ni ifọwọsi nipasẹ idanwo ibamu pẹlu awọn ẹrọ mimọ ti iyẹwu pupọ ti Han's Semiconductor.

Iwadi ọran alabara 2025 fihan pe agbara ilaluja yii dinku iyatọ iyokù laarin eti ati aarin ti awọn wafers 12-inch si kere ju 0.05μm, imudara ikore nipasẹ 7% ni akawe si awọn afọmọ ibile.

Iwon Wafer	Wọpọ Cleaning oro	Anfani Solusan (la. Awọn olutọpa Ibile)
8-inch SiC	Aloku eti	Oṣuwọn yiyọ epo-eti 99.9% & ko si ipata dada
12-inch SiC	> 0.5μm eti-aafo aarin	Iyatọ iyokù <0.05μm & 7% ilọsiwaju ikore

(3) Itọnisọna 3: Isọmọ Oju-aaye fun Iṣajọpọ Ilana

Ni ibamu pẹlu awọn aṣa ohun elo lati Xinkailai ati Semikondokito Han, awọn ojutu mimọ gbọdọ ṣe atilẹyin iṣẹ lori aaye laisi disassembly wafer.” Shenzhen Yuanan Imọ-ẹrọ mimọ le ṣee lo pẹlu ọwọ tabi ologbele-laifọwọyi lori aaye: ti a lo taara lẹhin slicing laser tabi etching, o dinku akoko ilana nipasẹ 30% ni akawe si mimọ kuro ni aaye.

Ile-iyẹwu R&D semiconductor 4th-gen kan ni Shenzhen royin pe agbara lori aaye yii 'yokuro ibajẹ wafer lakoko gbigbe ati rii daju mimọ ni akoko — pataki fun idanwo ohun elo iyara.”

4. Oju-iwe iwaju: Imọ-ẹrọ Cleaning Semiconductor (2026-2030)

Da lori awọn oye lati WESEMIBAY 2025, imọ-ẹrọ mimọ semikondokito yoo dagbasoke ni awọn itọsọna bọtini mẹta ni ọdun marun to nbọ:

1. Mimọ-Ipele Atomic : Bi awọn iwọn transistor ṣe dinku si 2nm ati ni isalẹ, mimọ yoo nilo lati yọkuro awọn patikulu sub-10nm — nilo awọn imotuntun ni wiwa iyokuro nanoscale iyokù.

2. Awọn agbekalẹ Ọrẹ-Eko : Awọn ibeere ESG agbaye (Ayika, Awujọ, Ijọba) (fun apẹẹrẹ, Ilana Awọn Kemikali Alagbero ti EU) yoo ṣe awakọ ibeere fun biodegradable, kekere-VOC (Iyipada Organic Compound) awọn ojutu mimọ.

3. Integration Smart : Awọn ọna ṣiṣe mimọ ti AI-agbara yoo di ojulowo, ṣatunṣe awọn aye ni akoko gidi ti o da lori ohun elo wafer ati data ohun elo lati dinku aṣiṣe eniyan.

Fun Shenzhen Yuanan Technology, a yoo tesiwaju si idojukọ lori R & D fun 3rd / 4th-gen semikondokito cleaning imo-pẹlu eto lati lọlẹ kan ni kikun aládàáṣiṣẹ ojutu fun 12-inch SiC wafers ni 2026. Ero wa ni lati se atileyin fun awọn agbaye semikondokito ile ise ká naficula si to ti ni ilọsiwaju ohun elo nigba ti aridaju ikore, dede, ati ibamu.

Kini awọn italaya mimọ semikondokito 3rd/4th-gen ti ẹgbẹ rẹ n dojukọ? Fun awọn ohun elo semikondokito pato rẹ, kan si wa lati ṣe akanṣe ojutu mimọ ti ko ni ipata ati beere fun apẹẹrẹ ọfẹ kan.

---

Awọn Ibeere Nigbagbogbo (FAQ)

Q1 : Kini o jẹ ki ṣiṣe mimọ to ṣe pataki fun 3rd / 4th-gen semiconductors (SiC / GaN / antimonides)?

A :  3rd-gen SiC/GaN ati 4th-gen antimonides ni awọn ailagbara ohun elo ọtọtọ: SiC jẹ itara si awọn abawọn dada lati awọn ohun mimu ti o lagbara, lakoko ti awọn ẹya kristal ẹlẹgẹ antimonides bajẹ ni irọrun. Awọn olutọpa aṣa nigbagbogbo fi awọn iṣẹku epo-eti silẹ (nfa isunsilẹ ikore) tabi awọn ibi-ilẹ baje (igbesi aye ẹrọ kuru). Isọdi konge ṣe ipinnu eyi nipa iwọntunwọnsi yiyọkuro aloku (fun apẹẹrẹ, 99.9% yiyọ epo lori 8-inch SiC) ati aabo ohun elo (awọn agbekalẹ pH 6.5 ± 0.5 neutral), bi a ti fọwọsi ni WESEMIBAY 2025 nipasẹ Orilẹ-ede 3rd Gen Semiconductor Innovation Centre Awọn oye agọ.

Q2 : Ṣe ojutu mimọ ti ko ni ipata rẹ ṣiṣẹ fun mejeeji 8-inch SiC ati 4th-gen antimonide wafers?

A : Bẹẹni. Ojutu wa jẹ apẹrẹ fun ibaramu ohun elo pupọ-idanwo lati sọ di mimọ 8-inch SiC lailewu (ti o baamu pẹlu awọn aṣa iṣelọpọ CR Micro's 8+12-inch ni WESEMIBAY) ati 4th-gen antimonides (ibaramu Shenzhen Pinghu Laboratory's 4th-gen R&D idojukọ). Fun data laabu inu ile, o wọ awọn cavities wafer ni awọn iṣẹju 3 – 5 (yara ju awọn iwọn ile-iṣẹ ti awọn iṣẹju 10 – 15) ati yago fun awọn abawọn Ga-O / Ga-N, ti o jẹ ki o dara fun awọn mejeeji ti a ṣejade 3rd-gen ati awọn semikondokito 4th-gen ti n yọju.

Q3 : Bawo ni ojutu mimọ rẹ ṣe koju awọn ọran iṣọkan fun awọn wafers 12-inch nla?

A : Nla 12-inch wafers Ijakadi pẹlu awọn iyatọ mimọ aarin eti (ojuami irora ti o ṣe afihan nipasẹ Han's Semiconductor ni WESEMIBAY 2025). Ojutu wa nlo agbekalẹ ẹdọfu dada kekere (≤25 mN/m) lati rii daju paapaa ilaluja kọja gbogbo wafer. Iwadi ọran alabara 2025 fihan pe o dinku iyatọ iyokù aarin-eti si <0.05μm-pipa awọn adanu ikore nipasẹ 7% ni akawe si awọn afọmọ ipele ibile. O tun ṣepọ pẹlu awọn ẹrọ mimọ ti ọpọlọpọ-iyẹwu (bii awoṣe iyẹwu 4 ti Han's Semiconductor) fun awọn iṣan-iṣẹ iṣelọpọ ailopin.

Q4 : Ṣe ojutu mimọ rẹ ni ibamu pẹlu awọn iṣedede agbaye (fun apẹẹrẹ, EU ​​REACH, RoHS) fun awọn ọja okeere bi?

A : Nitootọ. Lati ṣe atilẹyin fun awọn aṣelọpọ APAC ti n fojusi awọn ọja Yuroopu ati Amẹrika (aṣaṣa WESEMIBAY 2025 bọtini kan), ojutu wa pade:

• Ilana EU REACH (EC) Bẹẹkọ 1907/2006 (pẹlu atokọ SVHC 235 tuntun tuntun, imudojuiwọn Oṣu Kẹwa 2025);

• Awọn itọsọna RoHS (ko si awọn irin eru tabi awọn VOC ti o ni ihamọ);

• SEMI ile ise awọn ajohunše fun semikondokito ninu.

Ibamu yii jẹ idojukọ bọtini ni awọn ijiroro pẹlu awọn olura okeokun ni WESEMIBAY's 'Made in China' awọn apejọ okeere.

Q5 : Bawo ni mimọ lori aaye ṣe ilọsiwaju ṣiṣe fun SiC ingot slicing (fun Han's Semiconductor's WESEMIBAY demo)?

A : Han's Semiconductor's SiC ingot slicing machine (ti o han ni WESEMIBAY) nilo mimọ lẹhin-pipẹ laisi pipinka lati yago fun ibajẹ wafer. Ojutu wa ngbanilaaye lori aaye, afọwọṣe / lilo adaṣe ologbele-ti a lo taara lẹhin gige, o yọkuro iwulo lati gbe awọn wafers si awọn ohun elo mimọ ni ita. Eyi ge akoko ilana nipasẹ 30% (fun esi Shenzhen 4th-gen R&D lab) ati dinku awọn abawọn ti o ni ibatan irinna, ni ibamu pẹlu aṣa ẹrọ iṣọpọ WESEMIBAY's 'Idapọ iṣelọpọ'.