Ti a ṣe apẹrẹ fun awọn idogo lile, awọn olutọpa epo wa tu epo-eti, inki, ati awọn contaminants fluorinated lori awọn semikondokito ati ẹrọ itanna. Awọn agbekalẹ ti kii ṣe ina ṣe idaniloju gbigbẹ iyara pẹlu awọn patikulu kekere, ni ibamu pẹlu awọn iṣedede MIL-STD. Pipe fun aaye afẹfẹ, adaṣe, ati iṣelọpọ PCB, wọn koju awọn iṣẹku agidi lakoko mimu ibamu ohun elo ati ibamu VOC.