Ti a ṣe ẹrọ fun awọn ilana imukuro lesa, awọn aṣọ ibora Yuanan ṣe imudara iwọn pipe lori awọn sobusitireti semikondokito lakoko ti o dinku ibajẹ gbona. Awọn agbekalẹ ifarabalẹ fọto jẹ ki yiyọ ohun elo mimọ, sọrọ delamination ati awọn ọran carbonization ni apoti ilọsiwaju ati iṣelọpọ MEMS.