ວິສະວະກໍາສໍາລັບຂະບວນການ ablation laser, ການເຄືອບຂອງ Yuanan ປັບປຸງຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ groove ສຸດ substrates semiconductor ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍຄວາມຮ້ອນ. ຮູບແບບທີ່ລະອຽດອ່ອນຂອງຮູບພາບເຮັດໃຫ້ການກໍາຈັດວັດສະດຸທີ່ສະອາດ, ແກ້ໄຂບັນຫາການ delamination ແລະກາກບອນໃນການຫຸ້ມຫໍ່ແບບພິເສດແລະການຜະລິດ MEMS.