Revêtement de rainurage laation inégale sur la face de l'outil entraînera un remplissage parfait de certaines cavités tandis que d'autres seront courtes ou présenteront de graves marques d'écoulement.

Conçus pour les processus d'ablation laser, les revêtements de Yuanan améliorent la précision des rainures sur les substrats semi-conducteurs tout en minimisant les dommages thermiques. Les formulations photosensibles permettent un retrait propre des matériaux, résolvant ainsi les problèmes de délaminage et de carbonisation dans les emballages avancés et la fabrication de MEMS.