அறிமுகம்
2வது பே ஏரியா செமிகண்டக்டர் இண்டஸ்ட்ரி சூழலியல் கண்காட்சி (WESEMIBAY 2025) 2025 அக்டோபர் 15 முதல் 17 வரை ஷென்சென் மாநாட்டு மற்றும் கண்காட்சி மையத்தில் (Futian) நடைபெற்றது. 60,000 சதுர மீட்டர் பரப்பளவைக் கொண்ட இந்தக் கண்காட்சியானது 600க்கும் மேற்பட்ட முன்னணி நிறுவனங்களைச் சேர்ந்த 600க்கும் மேற்பட்ட நாடுகளை ஈர்த்தது. 60,000 தொழில்முறை பார்வையாளர்கள். 'செமிகண்டக்டர் எதிர்காலத்தை மேம்படுத்துகிறது, புதுமை சூழலியலை உருவாக்குகிறது' என்ற கருப்பொருளின் கீழ், இரண்டு உருமாறும் போக்குகள் வெளிப்பட்டன: 3வது தலைமுறை குறைக்கடத்திகளின் (SiC/GaN) விரைவான வெகுஜன உற்பத்தி மற்றும் 4வது தலைமுறை பொருட்கள் (கேலியம் ஆன்டிமனைடு, இண்டியம் ஆண்டிமனைடு) R&D பயன்பாட்டிலிருந்து செல்லுபடியாகும்.
எவ்வாறாயினும், இந்த முன்னேற்றங்கள் ஒரு முக்கியமான மற்றும் குறைவான தீர்க்கப்படாத சவாலைக் கொண்டுவருகின்றன: பாரம்பரிய துப்புரவு செயல்முறைகள் 'எச்சத்தை அகற்றுதல்' மற்றும் 'பொருள் பாதுகாப்பை சமநிலைப்படுத்த போராடுகின்றன. உதாரணமாக, கடுமையான கரைப்பான்கள் பெரும்பாலும் 4வது தலைமுறை குறைக்கடத்திகளை அழிக்கின்றன, அதே சமயம் 8 அங்குல SiC செதில்களில் முழுமையற்ற பிணைப்பு மெழுகு அகற்றுதல் நேரடியாக விளைச்சலைக் குறைக்கிறது. இந்தக் கட்டுரை WESEMIBAY 2025 இன் முக்கிய தொழில் போக்குகளை பகுப்பாய்வு செய்கிறது, துல்லியமான துப்புரவு தொழில்நுட்பங்கள் இந்த வலி புள்ளிகளை எவ்வாறு நிவர்த்தி செய்கின்றன என்பதை ஆராய்கிறது மற்றும் ஆன்-சைட் எக்ஸ்போ நுண்ணறிவு மற்றும் தொழில்நுட்ப சரிபார்ப்பு தரவை ஒருங்கிணைக்கிறது.
வெசெமிபே 2025 இடம்
கண்காட்சி அரங்கின் நுழைவாயில்
பெவிலியன் ஒன்று
1. முக்கிய போக்குகள் WESEMIBAY 2025 இல் வெளியிடப்பட்டது
(1) போக்கு 1: 8-இன்ச் SiC/GaN வேஃபர்கள் வெகுஜன உற்பத்தியின் முக்கியமான கட்டத்தில் நுழைகின்றன
WESEMIBAY 2025 தெளிவாக 3வது தலைமுறை குறைக்கடத்திகள் '6-இன்ச் ஆதிக்கம்' இருந்து '8-அங்குல அளவு-அப்' ஒரு மாற்றத்தை சமிக்ஞை செய்தது. பரந்த பேண்ட் கேப் செமிகண்டக்டர்களுக்கான தேசிய தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்பு மையம் (ஷென்ஜென்) அதன் 8-இன்ச் SiC/GaN எக்ஸ்ப்டிங் மெட்டீரியல்களை காட்சிப்படுத்தியது. சாதனத்தின் நம்பகத்தன்மையை உறுதிசெய்ய, செயலாக்கமானது காலியம்-ஆக்சிஜன் (Ga-O) மற்றும் காலியம்-நைட்ரஜன் (Ga-N) காலியிடக் குறைபாடுகளைத் தவிர்க்க வேண்டும்'—இந்த அறிக்கையானது மென்மையான, மிகவும் துல்லியமான துப்புரவுத் தீர்வுகளின் அவசியத்தை நேரடியாக எடுத்துக்காட்டுகிறது.
சிஆர் மைக்ரோ (சீனா ரிசோர்சஸ் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்) 8 இன்ச் செதில்களைக் காண்பிப்பதன் மூலம் இந்தப் போக்கை மேலும் உறுதிப்படுத்தியது: 'புதிய எரிசக்தி வாகனங்களுக்கான சக்தி சாதனங்களில் கவனம் செலுத்தி, 8+12-இன்ச் வேஃபர் உற்பத்திச் சேவைகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.' 2025 ஆம் ஆண்டிற்கான தொழில்துறை கணிப்புகளின்படி , 8-இன்ச் சந்தையில் குறிப்பிடத்தக்க வளர்ச்சியைக் காணலாம். 2024 இல் 15% ஆக இருந்த மொத்த அளவின் 30%-க்கும் அதிகமாக உள்ளது. இந்த வளர்ச்சியானது தொழில்துறை இயக்கவியலுடன் ஒத்துப்போகிறது, அதாவது Wolfspeed மற்றும் Infineon 8-inch திறன் விரிவாக்கத்தை துரிதப்படுத்துகிறது.
பெரிய செதில்களுக்கு மாறுவது ஒரு முக்கிய தேவையை உருவாக்குகிறது: முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஒரே மாதிரியான சுத்தம். CR மைக்ரோ சாவடிப் பொறியாளர்களுடனான ஆன்-சைட் தொழில்நுட்ப விவாதங்களில், '8-12-இன்ச் செதில்களின் விளிம்பிற்கும் மையத்திற்கும் இடையில் வெறும் 0.1μm எச்சம் வேறுபாடு இருந்தால் விளைச்சலை 5-8% குறைக்கலாம்.'
பரந்த பேண்ட் கேப் செமிகண்டக்டர்களுக்கான தேசிய தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்பு மையம் (ஷென்சென்)
CR மைக்ரோ சாவடி
8 அங்குல CR செதில்கள் WESEMIBAY 2025 இல் காட்சிக்கு வைக்கப்பட்டுள்ளன
(2) போக்கு 2: 4வது ஜெனரல் செமிகண்டக்டர்கள் R&D இலிருந்து விண்ணப்ப சோதனைக்கு நகர்கின்றன
3வது ஜென் செமிகண்டக்டர்கள் தற்போதைய உற்பத்தியின் முக்கிய அம்சமாக இருக்கும் அதே வேளையில், 4வது தலைமுறை பொருட்கள் WESEMIBAY 2025 இல் 'மறைக்கப்பட்ட சிறப்பம்சமாக' வெளிப்பட்டன. பரந்த பேண்ட் கேப் செமிகண்டக்டர்களுக்கான (ஷென்சென்) தேசிய தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்பு மையம் 'ஆன்டிமோனைடு சாதனங்கள்' மற்றும் 'ஆக்சைடு முக்கிய சாதனங்கள்' மற்றும் 'ஆக்சைடு விசைகள்' என வெளிப்படையாக பட்டியலிட்டுள்ளது. அதன் '4வது தலைமுறை பொருட்கள் & சாதனங்கள்' பிரிவில். சாவடி வல்லுநர்கள் விளக்கினர்: 'விண்வெளி மற்றும் 6Gக்கான குறைந்த-சக்தி, உயர்-அதிர்வெண் பயன்பாடுகளில் ஆன்டிமோனைடுகள் சிறந்து விளங்குகின்றன, ஆனால் அவற்றின் உடையக்கூடிய படிக அமைப்பு அவற்றை கரைப்பான் அரிப்புக்கு மிகவும் எளிதில் பாதிக்கிறது.'
ஷென்சென் பிங்கு ஆய்வகம் 8-அங்குல Si-அடிப்படையிலான GaN குறைந்த மின்னழுத்த செதில்களை காட்சிப்படுத்துவதன் மூலம் இதை எதிரொலித்தது, தயாரிப்பு லேபிள்கள் குறிப்பிடுகின்றன: 'எதிர்கால 4வது-ஜென் செதில் செயலாக்கத்திற்கு 'பாதுகாப்பான துப்புரவு தீர்வுகள்' தேவைப்படும், இது இந்த தொழில்துறையின் தேவைக்கான அல்ட்ரா-வைட் காஸ்ட்கேப் பொருட்களுக்கான பிணைப்பு மெழுகுகளை சேதப்படுத்தாமல் நீக்குகிறது. 2025 , இது 4வது ஜென் செமிகண்டக்டர் பொருட்களுக்கான சோதனை தேவையில் ஆண்டுக்கு ஆண்டு குறிப்பிடத்தக்க வளர்ச்சியை முன்வைக்கிறது, இது சிறப்பு எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறைகளின் தேவைகளால் இயக்கப்படுகிறது.
வெசெமிபே 2025 இல் ஷென்சென் பிங்கு ஆய்வகம்
8 அங்குல Si- அடிப்படையிலான GaN செதில்கள்
8-இன்ச் Sic/GaN வடிவமைப்பு மற்றும் ஃபேப்ரிகேஷன் தளத்திற்கு அறிமுகம்
(3) போக்கு 3: துப்புரவு செயல்முறைகள் மேம்பட்ட உபகரணங்களின் கண்டுபிடிப்புடன் இணைக்கப்பட வேண்டும்
WESEMIBAY 2025 இல் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி உபகரணங்களில் புதுமை 'ஒருங்கிணைந்த துப்புரவு தீர்வுகளின்' அவசியத்தை அடிக்கோடிட்டுக் காட்டியது. Xinkailai (ஒரு முன்னணி உள்நாட்டு உபகரண உற்பத்தியாளர்) அதன் சாவடியில் ஒரு விளம்பர வீடியோவைக் காட்டினார். சிறிய அளவிலான டிரான்சிஸ்டர்கள் உலோகக் கோடு எதிர்ப்பை 10-15% அதிகரிக்கலாம்.' குறுக்கு-மாசுபாட்டைத் தவிர்க்க, துப்புரவு பொறித்தல் மற்றும் மெல்லிய-பட படிவு ஆகியவற்றுடன் ஒத்திசைக்கப்பட வேண்டும் என்பதையும் வீடியோ வலியுறுத்தியது.
ஹானின் செமிகண்டக்டர் அதன் 'SiC இங்காட் லேசர் ஸ்லைசிங் & தின்னிங் இன்டகிரேட்டட் மெஷினைக் காண்பிப்பதன் மூலம் இந்தப் போக்கை மேலும் சரிபார்த்துள்ளது. ஹானின் செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் லேபிளிடப்பட்ட தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகளின்படி, இயந்திரம் 'வெட்டப்பட்ட பிறகு ஆன்-சைட் துப்புரவு தேவை. துப்புரவு அறைகள்-சாவடி ஊழியர்களின் கூற்றுப்படி, '2-12-இன்ச் செதில்களுக்கு ஏற்றவாறு மற்றும் சீரான எச்சத்தை அகற்றுவதை உறுதி செய்யும்' வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
இந்த முன்னேற்றங்கள் தெளிவான போக்கை உறுதிப்படுத்துகின்றன: சுத்தம் செய்வது ஒரு சுயாதீனமான படி அல்ல, ஆனால் ஒருங்கிணைந்த குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் முக்கிய அங்கமாகும்.
WESEMIBAY 2025 இல் Xinkailai சாவடி
Xinkailai இன் தொழில்நுட்ப ஆர்ப்பாட்டம்
ஹான்ஸ் செமிகண்டக்டர் ஒரு செதில் மெல்லிய இயந்திரத்தின் மாதிரியைக் காட்டுகிறது
2. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் 3 முக்கிய சுத்தம் சவால்கள்
எக்ஸ்போவில் சிப் உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் உபகரண சப்ளையர்களுடனான கலந்துரையாடல்களுடன் இணைந்து, மேலே உள்ள போக்குகள் மூன்று அழுத்தமான துப்புரவு வலி புள்ளிகளாக மொழிபெயர்க்கப்படுகின்றன:
(1) சவால் 1: பல பொருள் பொருந்தக்கூடிய தன்மை
3வது தலைமுறை SiC/GaN மற்றும் 4வது ஜென் ஆண்டிமோனைடுகள் மிகவும் வேறுபட்ட இரசாயன நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன. SiC க்கு பயனுள்ள ஒரு கரைப்பான் ஆண்டிமோனைடுகளை பொறிக்கலாம், அதே சமயம் ஆண்டிமோனைடுகளுக்கான லேசான தீர்வு பெரும்பாலும் SiC இல் மெழுகு எச்சங்களை விட்டுச்செல்கிறது. நேஷனல் 3வது ஜெனரல் செமிகண்டக்டர் இன்னோவேஷன் சென்டரில் உள்ள பொறியாளர்கள் பகிர்ந்துகொண்டனர்: 'Generic Cleaners GaN செதில்களில் Ga-O குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தி, சாதனத்தின் ஆயுட்காலம் 30% குறைக்கும் நிகழ்வுகளை நாங்கள் பார்த்திருக்கிறோம்.'
Xinkailai இன் விளம்பர வீடியோவும் இந்தச் சிக்கலை உறுதிப்படுத்தியது-அகற்றப்படாத பிந்தைய எச்சங்கள் அடுத்தடுத்த மெல்லிய-பட படிவு தரத்தை சமரசம் செய்து, அதிக இடைமுக எதிர்ப்புக்கு வழிவகுக்கும்.
(2) சவால் 2: பெரிய அளவிலான செதில்களுக்கான சீரான சுத்தம்
8-12-இன்ச் செதில்கள் முக்கிய நீரோட்டமாக மாறுவதால், ஒரே மாதிரியான சுத்தம் விளைச்சல்-முக்கியமான காரணியாக மாறியுள்ளது. CR மைக்ரோ சாவடிப் பொறியாளர்களுடனான ஆன்-சைட் தொழில்நுட்ப கலந்துரையாடல் தரவு, '12-இன்ச் செதில்களின் விளிம்பிற்கும் மையத்திற்கும் இடையே 0.5μm சுத்திகரிப்பு வேறுபாடு 8-10% மகசூலைக் குறைக்கும்.' பாரம்பரிய தொகுதி துப்புரவு அமைப்புகள் நிலையான அழுத்தம் மற்றும் இரசாயன செறிவு ஆகியவற்றில் நிலையானதாக பராமரிக்க போராடுவதாக ஹான்ஸ் செமிகண்டக்டரில் உள்ள துப்புரவு உபகரணக் குழு குறிப்பிட்டது. விளிம்புகள் மற்றும் மையத்தில் அதிகப்படியான எச்சங்கள்.'
(3) சவால் 3: மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கிற்கான துல்லியமான சுத்தம்
Chiplet & Advanced Packaging Zone (SiChip Technology ஆல் நடத்தப்பட்டது) 2.5D/3D அடுக்கப்பட்ட சில்லுகளைக் காட்சிப்படுத்தியது. SiChip's Chiplet Zone இல் உள்ள காட்சிப் பொருட்களில் உள்ள ஒவ்வொரு லேபிள்களுக்கும், 'பல்வேறு உயிரிழப்புகளுக்கு இடையே உள்ள குறுகலான இடைவெளிகள் (5μm வரை சிறியது) ட்ராப் பிணைப்பு மெழுகு, பாரம்பரிய துப்புரவு தீர்வுகள் அடைய முடியாத-இணைப்பு செயல்திறனை பாதிக்கிறது.' SiChip பொறியாளர்கள் சேர்த்தனர்: மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கிற்கு அவசியம்.'
சிப்லெட் & மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் மண்டலம்
EDA மென்பொருள் விளக்கக்காட்சி
SiChip's Chiplet Zone இல் கண்காட்சிகள்
3. துல்லியமான சுத்தம் செய்வதற்கான புதுமை திசைகள்
இந்த சவால்களை எதிர்கொள்ள, WESEMIBAY 2025 துல்லியமான துப்புரவு தொழில்நுட்பங்களுக்கான மூன்று முக்கிய கண்டுபிடிப்பு திசைகளை முன்னிலைப்படுத்தியது-ஆன்-சைட் சோதனை தரவு மற்றும் வாடிக்கையாளர் கருத்துகளின் ஆதரவுடன்:
(1) திசை 1: மல்டி மெட்டீரியல் இணக்கத்தன்மைக்கான அரிப்பு இல்லாத சூத்திரங்கள்
3வது ஜென் செமிகண்டக்டர்களில் இருந்து எச்சங்களை அகற்றும் போது உடையக்கூடிய 4வது தலைமுறை பொருட்களைப் பாதுகாப்பதற்கு நடுநிலையான, சிராய்ப்பு இல்லாத துப்புரவுத் தீர்வுகள் தேவை. எடுத்துக்காட்டாக, ஷென்சென் யுவானன் டெக்னாலஜியின் அரிப்பு இல்லாத துப்புரவு தீர்வு (ஆரம்பத்தில் பீங்கான் அனிலாக்ஸ் ரோல்களுக்காக உருவாக்கப்பட்டது, ஆனால் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்காக சரிபார்க்கப்பட்டது) pH 6.5± 0.5-க்கு ஷென்சென் யுவானன் டெக்னாலஜியின் ஆய்வகத்தின் சோதனைத் தரவு ஒன்றுக்கு. இந்த நடுநிலை சூத்திரம் GaN செதில்களில் Ga-O/Ga-N குறைபாடுகளைத் தவிர்க்கிறது, அதே நேரத்தில் SiC மற்றும் ஆன்டிமோனைடுகளிலிருந்து பிணைப்பு மெழுகுகளை திறம்பட நீக்குகிறது.
உள்நாட்டு SiC வேஃபர் உற்பத்தியாளரிடமிருந்து தரவைச் சோதித்ததில், இந்த தீர்வு 8-இன்ச் SiC செதில்களில் 99.9% மெழுகு அகற்றத்தை அடைந்துள்ளது என்பதைக் காட்டுகிறது. கூடுதலாக, தயாரிப்பு EU REACH Regulation (EC) எண் 1907/2006 மற்றும் மிக உயர்ந்த அக்கறைக்கான பொருட்களின் சமீபத்திய வேட்பாளர் பட்டியல் (SVHC) - அக்டோபர் 2025 இல் மொத்தம் 235 பொருட்கள் மற்றும் RoHS உத்தரவுகளுடன் இணங்குகிறது. இது உலகளாவிய குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலிகளுக்கு ஏற்றதாக ஆக்குகிறது, ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை இலக்காகக் கொண்ட APAC உற்பத்தியாளர்களுக்கு முக்கியமானதாகும்.
குறைக்கடத்தி பொருள் வகை |
கோர் கிளீனிங் சவால் |
பொருந்தக்கூடிய தீர்வு (யுவானன் கெம்டெக்) |
3வது ஜெனரல் - SiC (8/12-inch) |
மெழுகு எச்சம் & விளிம்பு-மைய ஒற்றுமை |
அரிப்பு இல்லாத கிளீனர் (pH 6.5±0.5) & குறைந்த மேற்பரப்பு பதற்றம் சூத்திரம் |
3வது ஜெனரல் - GaN |
Ga-O/Ga-N காலியிட குறைபாடுகள் |
நடுநிலை, சிராய்ப்பு இல்லாத துப்புரவு திரவம் |
4வது ஜெனரல் - ஆன்டிமோனைடுகள் |
உடையக்கூடிய படிக அரிப்பு |
மென்மையான ஊடுருவும் கிளீனர் (3-5 நிமிடங்கள் ஊடுருவல்) |
(2) திசை 2: சீரான தன்மைக்கான உயர் ஊடுருவல் சூத்திரங்கள்
பெரிய செதில்களுக்கான சீரான சிக்கல்களைத் தீர்ப்பதற்கு, விளிம்புகள் மற்றும் பள்ளங்கள் உட்பட, செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக ஊடுருவ திரவங்களை சுத்தம் செய்ய வேண்டும். ஷென்சென் யுவானன் டெக்னாலஜியின் துப்புரவுத் தீர்வு குறைந்த மேற்பரப்பு பதற்றம் சூத்திரத்தை (≤25 mN/m) பயன்படுத்துகிறது, இது 3-5 நிமிடங்களுக்குள் செதில் துவாரங்கள் மற்றும் விளிம்புகளை ஊடுருவிச் செல்லும் (ஷென்சென் யுவானன் தொழில்நுட்பத்தின் ஆய்வகத்தின் உள் சோதனைத் தரவு ஒன்றுக்கு). ஹானின் செமிகண்டக்டரின் மல்டி-சேம்பர் கிளீனிங் மெஷின்களுடன் பொருந்தக்கூடிய சோதனை மூலம் இந்த செயல்திறன் சரிபார்க்கப்பட்டது.
2025 வாடிக்கையாளர் வழக்கு ஆய்வில், இந்த ஊடுருவல் திறன் 12-இன்ச் செதில்களின் விளிம்பிற்கும் மையத்திற்கும் இடையிலான எச்ச வேறுபாட்டை 0.05μm க்கும் குறைவாகக் குறைத்தது, பாரம்பரிய கிளீனர்களுடன் ஒப்பிடும்போது விளைச்சலை 7% மேம்படுத்துகிறது.
வேஃபர் அளவு |
பொதுவான சுத்தம் பிரச்சினை |
தீர்வு நன்மை (பாரம்பரிய கிளீனர்களுக்கு எதிராக) |
8 அங்குல SiC |
விளிம்பு எச்சம் உருவாக்கம் |
99.9% மெழுகு அகற்றும் வீதம் & மேற்பரப்பு அரிப்பு இல்லை |
12 அங்குல SiC |
>0.5μm விளிம்பு-மைய இடைவெளி |
எச்ச மாறுபாடு <0.05μm & 7% மகசூல் மேம்பாடு |
(3) திசை 3: செயல்முறை ஒருங்கிணைப்புக்கான ஆன்-சைட் கிளீனிங்
Xinkailai மற்றும் Han's semiconductor இன் உபகரணப் போக்குகளுடன் சீரமைத்து, துப்புரவுத் தீர்வுகள் 'ஆன்-சைட் ஆன்-சைட் ஆபரேஷனை செதில் பிரித்தெடுக்காமல் ஆதரிக்க வேண்டும்.' Shenzhen Yuanan டெக்னாலஜியின் துப்புரவுத் தீர்வை கைமுறையாகவோ அல்லது அரைத் தானாக ஆன்-சைட்டாகவோ பயன்படுத்தலாம். சுத்தம்.'
இந்த ஆன்-சைட் திறன் 'போக்குவரத்தின் போது செதில் சேதத்தை நீக்குகிறது மற்றும் சரியான நேரத்தில் சுத்தம் செய்வதை உறுதி செய்கிறது-விரைவான பொருள் சோதனைக்கு முக்கியமானது' என்று ஷென்செனில் உள்ள 4வது-ஜென் செமிகண்டக்டர் ஆர்&டி ஆய்வகம் தெரிவித்துள்ளது.
4. எதிர்கால அவுட்லுக்: செமிகண்டக்டர் கிளீனிங் டெக்னாலஜி (2026-2030)
WESEMIBAY 2025 இன் நுண்ணறிவுகளின் அடிப்படையில், அடுத்த ஐந்து ஆண்டுகளில் குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம் மூன்று முக்கிய திசைகளில் உருவாகும்:
1. அணு-நிலை தூய்மை : டிரான்சிஸ்டர் அளவுகள் 2nm மற்றும் அதற்குக் கீழே சுருங்கும்போது, சுத்தம் செய்ய துணை-10nm துகள்களை அகற்ற வேண்டும்—நானோ அளவிலான எச்சத்தைக் கண்டறிந்து அகற்றுவதில் புதுமைகள் தேவை.
2. சுற்றுச்சூழல் நட்பு சூத்திரங்கள் : உலகளாவிய ESG (சுற்றுச்சூழல், சமூக, ஆளுமை) தேவைகள் (எ.கா., ஐரோப்பிய ஒன்றியத்தின் நிலையான இரசாயன உத்தி) மக்கும், குறைந்த-VOC (கொந்தளிப்பான கரிம கலவை) துப்புரவு தீர்வுகளுக்கான தேவையை அதிகரிக்கும்.
3. ஸ்மார்ட் ஒருங்கிணைப்பு : AI-இயங்கும் துப்புரவு அமைப்புகள் பிரதானமாக மாறும், மனிதப் பிழையைக் குறைக்க செதில் பொருள் மற்றும் உபகரணத் தரவுகளின் அடிப்படையில் நிகழ்நேரத்தில் அளவுருக்களை சரிசெய்கிறது.
ஷென்சென் யுவானன் தொழில்நுட்பத்தைப் பொறுத்தவரை, 3வது/4வது ஜென் செமிகண்டக்டர் துப்புரவுத் தொழில்நுட்பங்களுக்கான R&Dயில் தொடர்ந்து கவனம் செலுத்துவோம்—2026ல் 12-இன்ச் SiC வேஃபர்களுக்கு முழுத் தானியங்கு துப்புரவுத் தீர்வைத் தொடங்க திட்டமிட்டுள்ளோம். உலகளாவிய குறைக்கடத்தித் தொழில்துறையின் முன்னேற்றம் மற்றும் இணக்கப் பொருட்களுக்கு மாற்றத்தை ஆதரிப்பதே எங்கள் குறிக்கோள்.
உங்கள் குழு எதிர்கொள்ளும் 3வது/4வது தலைமுறை குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்யும் சவால்கள் என்ன? உங்கள் குறிப்பிட்ட குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கு, அரிப்பு இல்லாத துப்புரவுத் தீர்வைத் தனிப்பயனாக்க எங்களைத் தொடர்புகொண்டு இலவச மாதிரியைக் கோரவும்.
அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)
Q1 : 3வது/4வது-ஜென் செமிகண்டக்டர்களுக்கு (SiC/GaN/antimonides) துல்லியமான சுத்தம் செய்வது எது முக்கியம்?
A : 3rd-gen SiC/GaN மற்றும் 4th-gen antimonides தனித்துவமான பொருள் பாதிப்புகளைக் கொண்டுள்ளன: SiC கடுமையான கரைப்பான்களிலிருந்து மேற்பரப்பு குறைபாடுகளுக்கு ஆளாகிறது, அதே சமயம் ஆன்டிமோனைடுகளின் உடையக்கூடிய படிக கட்டமைப்புகள் எளிதில் சிதைந்துவிடும். பாரம்பரிய துப்புரவாளர்கள் பெரும்பாலும் மெழுகு எச்சங்களை விட்டுவிடுகிறார்கள் (விளைச்சல் குறைவை ஏற்படுத்துகிறது) அல்லது சேத மேற்பரப்புகளை (சாதனத்தின் ஆயுட்காலம் குறைக்கிறது). WESEMIBAY 2025 இல் நேஷனல் 3வது ஜெனரல் செமிகண்டக்டர் இன்னோவேஷன் மையங்களால் சரிபார்க்கப்பட்டபடி, எச்சம் இல்லாத நீக்கம் (எ.கா., 8-இன்ச் SiC இல் 99.9% மெழுகு அகற்றுதல்) மற்றும் பொருள் பாதுகாப்பு (நடுநிலை pH 6.5±0.5 சூத்திரங்கள்) மூலம் துல்லியமான சுத்தம் இதை தீர்க்கிறது.
Q2 : 8-இன்ச் SiC மற்றும் 4th-gen ஆண்டிமோனைடு செதில்கள் இரண்டிற்கும் உங்களின் அரிப்பு இல்லாத துப்புரவு தீர்வு வேலை செய்கிறதா?
ப : ஆம். எங்கள் தீர்வு மல்டி மெட்டீரியல் இணக்கத்தன்மைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது - 8-இன்ச் SiC (WESEMIBAY இல் CR மைக்ரோவின் 8+12-இன்ச் உற்பத்திப் போக்குகளுடன் சீரமைத்தல்) மற்றும் 4வது-ஜென் ஆண்டிமோனைடுகள் (ஷென்சென் பிங்கு ஆய்வகத்தின் 4வது-ஜென் R&D ஃபோகஸ் உடன் பொருந்தும்) பாதுகாப்பாக சுத்தம் செய்ய சோதிக்கப்பட்டது. உள் ஆய்வகத் தரவுகளின்படி, இது 3-5 நிமிடங்களில் (தொழில்துறை சராசரியான 10-15 நிமிடங்களை விட வேகமாக) செதில் துவாரங்களை ஊடுருவி, Ga-O/Ga-N குறைபாடுகளைத் தவிர்க்கிறது, இது பெருமளவில் உற்பத்தி செய்யப்படும் 3வது தலைமுறை மற்றும் வளர்ந்து வரும் 4வது தலைமுறை குறைக்கடத்திகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
Q3 : உங்கள் துப்புரவுத் தீர்வு, பெரிய 12-இன்ச் செதில்களுக்கான சீரான சிக்கல்களை எவ்வாறு தீர்க்கிறது?
A : பெரிய 12-இன்ச் செதில்கள் விளிம்பு-மைய துப்புரவு வேறுபாடுகளுடன் போராடுகின்றன (WESEMIBAY 2025 இல் ஹானின் செமிகண்டக்டரால் உயர்த்தப்பட்ட வலி புள்ளி). எங்கள் தீர்வு குறைந்த மேற்பரப்பு பதற்றம் சூத்திரத்தை (≤25 mN/m) பயன்படுத்துகிறது. 2025 வாடிக்கையாளர் வழக்கு ஆய்வில் இது விளிம்பு மைய எச்ச மாறுபாட்டை <0.05μm-க்கு குறைக்கிறது - பாரம்பரிய பேட்ச் கிளீனர்களுடன் ஒப்பிடும்போது மகசூல் இழப்பை 7% குறைக்கிறது. இது தடையற்ற உற்பத்தி பணிப்பாய்வுகளுக்காக பல அறைகளை சுத்தம் செய்யும் இயந்திரங்களுடன் (ஹானின் செமிகண்டக்டரின் 4-அறை மாதிரி போன்றவை) ஒருங்கிணைக்கிறது.
Q4 : ஏற்றுமதி சந்தைகளுக்கான உலகளாவிய தரநிலைகளுடன் (எ.கா., EU REACH, RoHS) உங்கள் துப்புரவு தீர்வு இணக்கமாக உள்ளதா?
ப : முற்றிலும். ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை (ஒரு முக்கிய WESEMIBAY 2025 போக்கு) இலக்காகக் கொண்ட APAC உற்பத்தியாளர்களை ஆதரிக்க, எங்கள் தீர்வு சந்திக்கிறது:
EU ரீச் ஒழுங்குமுறை (EC) எண் 1907/2006 (சமீபத்திய 235-பொருள் SVHC பட்டியல், அக்டோபர் 2025 இல் புதுப்பிக்கப்பட்டது);
RoHS உத்தரவுகள் (கன உலோகங்கள் அல்லது தடைசெய்யப்பட்ட VOCகள் இல்லை);
குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்வதற்கான SEMI தொழில் தரநிலைகள்.
WESEMIBAY இன் 'மேட் இன் சைனா' ஏற்றுமதி மன்றங்களில் வெளிநாட்டு வாங்குபவர்களுடனான விவாதங்களில் இந்த இணக்கம் ஒரு முக்கிய மையமாக இருந்தது.
Q5 : SiC இங்காட் ஸ்லைசிங்கிற்கான (ஹானின் செமிகண்டக்டரின் WESEMIBAY டெமோவிற்கு) ஆன்-சைட் கிளீனிங் செயல்திறனை எவ்வாறு மேம்படுத்துகிறது?
A : ஹானின் செமிகண்டக்டரின் SiC இங்காட் ஸ்லைசிங் இயந்திரம் (WESEMIBAY இல் காட்சிப்படுத்தப்பட்டுள்ளது) செதில் சேதத்தைத் தவிர்க்க, பிரித்தெடுக்கப்படாமல் பிந்தைய ஸ்லைசிங் சுத்தம் செய்ய வேண்டும். எங்கள் தீர்வு, ஆன்-சைட், மேனுவல்/அரை-தானியங்கி உபயோகத்தை செயல்படுத்துகிறது - வெட்டப்பட்ட பிறகு நேரடியாகப் பயன்படுத்தப்படும், இது செதில்களை ஆஃப்-சைட் துப்புரவு வசதிகளுக்கு கொண்டு செல்லும் தேவையை நீக்குகிறது. இது செயல்முறை நேரத்தை 30% குறைக்கிறது (ஷென்சென் 4வது ஜென் R&D ஆய்வகத்தின் கருத்துப்படி) மற்றும் போக்குவரத்து தொடர்பான குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது, WESEMIBAY இன் 'ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி' உபகரணப் போக்குடன் ஒத்துப்போகிறது.
