உயர்நிலை ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங் உலகில், 'சுத்தம்' என்பது ஒரு பெயரடை அல்ல - இது அளவிடக்கூடிய தொழில்நுட்ப வரம்பு. கூறுகள் சுருங்கும்போது மற்றும் அதிர்வெண்கள் உயரும்போது, உலோக அயனிகளின் நுண்ணிய சுவடு அல்லது பிசின் அடி மூலக்கூறின் சிறிய வீக்கம் கூட பேரழிவு தரும் மகசூல் இழப்புக்கு வழிவகுக்கும்.
இந்த துல்லியமான பயணத்தில் மிகவும் தொடர்ச்சியான தடைகளில் ஒன்று மெழுகு அகற்றுதல் ஆகும் . அரைக்கும் போது செதில் மெல்லியதாகவோ அல்லது ஃபைபர் ஆப்டிக் தொகுதிகளை உறுதிப்படுத்தவோ தற்காலிக பிணைப்பாக இருந்தாலும், மெழுகு முழுவதுமாக அகற்றப்பட வேண்டும். இருப்பினும், பல பாரம்பரிய துப்புரவு முகவர்கள் 'கரைக்கும் சக்தி' மற்றும் 'பொருள் பாதுகாப்பு' இடையே ஒரு சமரசத்தை கட்டாயப்படுத்துகின்றனர்.
கண்ணுக்கு தெரியாத அச்சுறுத்தல்: நிலையான கரைப்பான்கள் ஏன் தோல்வியடைகின்றன
வேஃபர்-லெவல் பிரசிஷன் டி-வாக்சிங் சுத்தம் செய்வதற்கு முன் தற்காலிக பிணைப்பு மெழுகு எச்சத்துடன் கூடிய வேஃபர் மேற்பரப்பு.
நிர்வகிக்கும் பொறியாளர்களுக்கு செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங் தூய்மையை , மிகப்பெரிய எதிரி தெரியும் தூசி அல்ல; இது அயனி மாசுபாடு . ஒரு துப்புரவு முகவரில் அதிக அளவு சோடியம், பொட்டாசியம் அல்லது இரும்பு அயனிகள் இருந்தால், இவை உணர்திறன் அடுக்குகளாக இடம்பெயர்ந்து கசிவு நீரோட்டங்கள் அல்லது நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை சிக்கல்களை ஏற்படுத்தும்.
நிலையான தொழில்துறை டிக்ரேசர்கள் பெரும்பாலும் தேவையான சுத்திகரிப்புகளைக் கொண்டிருக்கவில்லை பிபிபி அளவிலான உலோக அயனி கட்டுப்பாட்டுக்குத் . செயலாக்கும் போது , செதில்-நிலை துல்லியமான டி-வாக்சிங்கைச் கீழே வைக்கப்படும் அதி-தூய்மையான மேற்பரப்புகளை அடைவதே இலக்காகும் . 10 பிபிபிக்குக் ICP-MS தர தணிக்கைத் தேவைகளின் ஒருமைப்பாட்டை உறுதிசெய்து, உலோக அசுத்தங்கள்
கலைப்பு வேகம் மற்றும் பொருள் ஒருமைப்பாடு சமநிலைப்படுத்துதல்
ஒரு பொதுவான வலி புள்ளி FBA (ஃபைபர் ஆப்டிக் பிளாக் அசெம்பிளி) மெழுகு அகற்றுதலில் என்பது சிறப்பு பூச்சுகளின் பாதிப்பு ஆகும். துல்லியமான கூறுகள் பெரும்பாலும் சிக்கலான பொருட்களின் கலவையை உள்ளடக்கியது:
உணர்திறன் பாலிமர்கள் : பாலிமைடு (PI) அல்லது அக்ரிலேட் பூச்சுகள்.
கட்டமைப்பு பசைகள் : EMI3048 போன்ற குணப்படுத்தப்பட்ட எபோக்சிகள்.
விலைமதிப்பற்ற உலோகங்கள் : செப்பு கலவைகள் அல்லது தங்க முலாம்.
பாரம்பரிய வலுவான கரைப்பான்கள் மெழுகு-பிடிவாதமான போன்றவற்றைக் கரைக்கக்கூடும் C.S.Wax A -ஆனால் அவை பெரும்பாலும் சுற்றியுள்ள பிசின் வீக்க, விரிசல் அல்லது வெளிப்படைத்தன்மையை இழக்கச் செய்யும். உயர் பொருள் பொருந்தக்கூடிய ஒரு நடுநிலை pH துல்லியமான கிளீனர் இனி ஆடம்பரமாக இருக்காது; போது 'வெள்ளை புள்ளிகள்' அல்லது மைக்ரோ கிராக்களைத் தடுப்பது அவசியம் துல்லியமான பாகங்களுக்கு மீயொலி சுத்தம் செய்யும் .
ஒரு புதிய பெஞ்ச்மார்க்கை அறிமுகப்படுத்துகிறது: 1812-3D அணுகுமுறை
1812-3D உயர்-தூய்மை அரை-அக்வஸ் மெழுகு நீக்கி திரவ பிபிபி நிலை உலோக அயன் கட்டுப்பாடு
இந்த சவால்களை எதிர்கொள்ள, போன்ற சிறப்பு சூத்திரங்களை நோக்கி தொழில்துறை மாறியுள்ளது 1812-3D ஹை-பிரிசிஷன் வாக்ஸ் ரிமூவர் . இந்த தீர்வு அதிவேக கரைப்பு மற்றும் தீவிர மேற்பரப்பு பாதுகாப்பு ஆகியவற்றுக்கு இடையே உள்ள இடைவெளியைக் குறைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
1. தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட கலைப்பு சக்தி
1812-3D குறிப்பாக உகந்ததாக உள்ளது உயர் திறன் கொண்ட CSWax A கலைப்புக்கு . ஒரு 'ஒரு அளவு அனைவருக்கும் பொருந்தும்' அணுகுமுறையை எடுக்கும் பல்நோக்கு கிளீனர்கள் போலல்லாமல், அதன் மூலக்கூறு அமைப்பு, குணப்படுத்தப்பட்ட எபோக்சிகள் அல்லது பாலிமைடு அடுக்குகளின் இரசாயன பிணைப்புகளை பாதிக்காமல், அதிக வெப்பநிலை குணப்படுத்தப்பட்ட மெழுகுகளை ஊடுருவி உயர்த்தும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
2. UPW ரீப்ளேஸ்மென்ட் மூலம் 'ஜீரோ எச்சத்தை' அடைதல்
ஒரு முக்கியமான படி மைக்ரோ-எலக்ட்ரானிக்ஸ் பிசின் அகற்றுதலில் இறுதி துவைத்தல் ஆகும். 1812-3D ஆனது மிகவும் கலக்கக்கூடிய மேம்பட்ட கரைப்பான் அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது அல்ட்ரா-ப்யூர் வாட்டருடன் (UPW) . இரசாயனத் தொட்டியிலிருந்து துவைக்கும் தொட்டிக்கு பகுதி நகரும் போது, துப்புரவு முகவர் முற்றிலும் இடம்பெயர்ந்து, அதன் பின் இணைப்பு அல்லது பூச்சு செயல்முறைகளில் குறுக்கிடக்கூடிய எந்த கரிமப் படமும் இல்லாமல் இருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது.
3. செயல்பாட்டு பாதுகாப்பு மற்றும் இணக்கம்
நவீன உற்பத்தி மையங்களில், கிழக்கு ஆசியாவிலிருந்து வட அமெரிக்கா வரை, அபாயகரமான தொழில்துறை சுத்திகரிப்பு கரைப்பான் நோக்கி நகர்தல் துரிதப்படுத்தப்படுகிறது. 1812-3D ஆனது க்கு மேல் ஃபிளாஷ் புள்ளியைக் கொண்டிருப்பதால் 73°C , இது தொழிற்சாலை தளவாடங்களை கணிசமாக எளிதாக்குகிறது. இதற்கு சிறப்பு வெடிப்பு-தடுப்பு சேமிப்பு தேவையில்லை, பாதுகாப்பு மேலாண்மை மற்றும் நடுத்தர அளவிலான துல்லியமான பட்டறைகளுக்கான காப்பீட்டின் 'மறைக்கப்பட்ட செலவுகளை' குறைக்கிறது.
புல நுண்ணறிவு: துல்லிய ஒளியியலில் ஒரு வெற்றிக் கதை
1812-3D செமி-கண்டக்டர் கிரேடு பிபிபி லெவல் தூய்மையை அடைவதன் மூலம் டி-வாக்சிங் செய்த பிறகு செதில் மேற்பரப்பு
ஒரு பெரிய மின்னணு உற்பத்தி மையத்தில், துல்லிய சென்சார் தொகுதிகளில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு நிறுவனம் மெழுகு அகற்றப்பட்ட பிறகு 'பட எச்சம்' காரணமாக 15% நிராகரிப்பு விகிதத்தை எதிர்கொண்டது. அவற்றின் தற்போதைய கரைப்பான் மிகவும் தீவிரமானதாக இருந்தது, இதனால் அவற்றின் ஒளியியல் பிசின்களின் வெளிப்படைத்தன்மை காலப்போக்கில் சிதைவடைகிறது.
60 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் 1812-3D ஐப் பயன்படுத்தி மாறுவதன் மூலம் அல்ட்ராசோனிக் டிக்ரீசிங் செயல்முறைக்கு , அவை இரண்டு முக்கியமான விளைவுகளை அடைந்தன:
மகசூல் அதிகரிப்பு : நடுநிலை pH அமைப்பு பிசின் வீக்கத்தை நீக்கி, நிராகரிப்பு விகிதத்தை 0.5%க்கும் கீழ் கொண்டு வந்தது.
செயல்முறை திறன் : பிணைப்பு மெழுகு விரைவாகக் கரைவதால், ஒரு தொகுதிக்கு 4 நிமிடங்கள் சுத்தப்படுத்தும் சுழற்சியைக் குறைத்தது, புதிய உபகரணங்களைச் சேர்க்காமல் தினசரி செயல்திறனை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது.
தொழில்நுட்ப கேள்விகள்: உங்கள் துல்லியமான துப்புரவு தடைகளைத் தீர்ப்பது
Q1: ஒரு துப்புரவு முகவர் பிபிபி-நிலை உலோக அயன் கட்டுப்பாட்டை எவ்வாறு அடைகிறது?
ப: அடைவதற்கு செமிகண்டக்டர் தர பிபிபி அளவிலான தூய்மையை உயர்-தூய்மை வடிகட்டுதல் செயல்முறை மற்றும் கடுமையான வடிகட்டுதல் தேவைப்படுகிறது. 1812-3D போன்ற தயாரிப்புகள் ஐசிபி-எம்எஸ் மூலம் Na, K மற்றும் Ca போன்ற அயனிகள் 10 ppb க்கும் குறைவாக இருப்பதை உறுதிசெய்து, உணர்திறன் கூறுகளில் மின் செயலிழப்பை ஏற்படுத்தக்கூடிய அயனி மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது.
Q2: பாலிமைடு (PI) மற்றும் அக்ரிலேட் பூச்சுகளில் 1812-3D பயன்படுத்துவது பாதுகாப்பானதா?
ப: ஆம். இந்த முக்கிய பலங்களில் ஒன்று குறைந்த உலோக அயனி எச்சத்தை சுத்தம் செய்யும் முகவரின் அதன் உயர் பொருள் பொருந்தக்கூடிய தன்மை ஆகும். மீது உரிக்கப்படுதல், வீக்கம் அல்லது விரிசல் ஏற்படாது என்பதை உறுதிப்படுத்த இது குறிப்பாகச் சோதிக்கப்பட்டது பாலிமைடு (PI) அல்லது குணப்படுத்தப்பட்ட எபோக்சி (EMI3048 போன்றவை) , இது சிக்கலான பல-பொருள் கூட்டங்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
Q3: நிலையான மீயொலி சுத்தம் செய்யும் இயந்திரங்களில் 1812-3D பயன்படுத்த முடியுமா?
ப: முற்றிலும். இது செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது இரட்டை தொட்டி அல்லது பல தொட்டி மீயொலி சுத்தம் . உகந்த முடிவுகளுக்கு செதில்-நிலை துல்லியமான டி-வாக்சிங்கின் , 45-60 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலை வரம்பையும், 5-10 நிமிடங்கள் சுத்தம் செய்யும் நேரத்தையும் பரிந்துரைக்கிறோம்.
Q4: இந்த வகை துல்லியமான கிளீனருக்கான சேமிப்பகத் தேவைகள் என்ன?
ப: இது அதிக ஃபிளாஷ் பாயிண்ட் (> 73°C) கொண்ட அபாயகரமான தொழில்துறை சுத்தம் செய்யும் கரைப்பான் என்பதால் , இது பொது சரக்காக கொண்டு செல்லப்பட்டு சேமிக்கப்படும். இது அபாயகரமான இரசாயனத் தளவாடங்களுடன் தொடர்புடைய அதிகச் செலவுகளைத் தவிர்க்கும் அதே வேளையில், சீல் செய்யப்பட்ட நிலையில் 12 மாத கால ஆயுளைப் பராமரிக்கிறது.
Q5: 1812-3D இறுதிக் கழுவலுக்குப் பிறகு ஒரு ஆர்கானிக் படத்தை விட்டுவிடுமா?
ப: இல்லை. சூத்திரம் 'சுலபமான இடப்பெயர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.' UPW (Ultra-Pure Water) துவைக்கும் போது, கரைப்பான் முழுவதுமாக அகற்றப்பட்டு, எச்சம் இல்லாத ஒளியியல் சுத்திகரிப்பு முடிவை உறுதிசெய்து, உயர் துல்லியமான உற்பத்தியின் அடுத்த கட்டத்திற்கு தயாராக உள்ளது.
செமிகண்டக்டர்களுக்கான முகவர்களின் உற்பத்தி மற்றும் மின்னணு இரசாயனங்களின் உற்பத்தி மற்றும் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு ஆகியவற்றில் இது கவனம் செலுத்துகிறது.
