នៅក្នុងពិភពនៃការវេចខ្ចប់អុបតូអេឡិចត្រូនិច និងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់ 'ស្អាត' មិនមែនជាគុណនាមទេ វាជាកម្រិតបច្ចេកទេសដែលអាចវាស់វែងបាន។ នៅពេលដែលសមាសធាតុរួមតូច និងប្រេកង់កើនឡើង សូម្បីតែដានមីក្រូទស្សន៍នៃអ៊ីយ៉ុងដែក ឬការហើមបន្តិចនៃស្រទាប់ខាងក្រោមជ័រអាចនាំឱ្យបាត់បង់ទិន្នផលមហន្តរាយ។
ឧបសគ្គមួយក្នុងចំណោមឧបសគ្គដែលជាប់រហូតបំផុតក្នុងដំណើរដ៏ជាក់លាក់នេះគឺ ការដកក្រមួនចេញ ។ ថាតើវាជាការភ្ជាប់បណ្តោះអាសន្នសម្រាប់ការស្តើង wafer ឬស្ថេរភាពនៃប្លុក fiber optic កំឡុងពេលកិន wax ត្រូវតែត្រូវបានយកចេញទាំងស្រុង។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ភ្នាក់ងារសម្អាតបែបបុរាណជាច្រើនបង្ខំឱ្យមានការសម្របសម្រួលរវាង 'ថាមពលរំលាយ' និង 'សុវត្ថិភាពសម្ភារៈ' ។
ការគំរាមកំហែងដែលមើលមិនឃើញ៖ ហេតុអ្វីបានជាសារធាតុរំលាយស្តង់ដារបរាជ័យ
សម្រាប់វិស្វករដែលគ្រប់គ្រង ភាពស្អាតនៃការវេចខ្ចប់ semiconductor សត្រូវដ៏ធំបំផុតគឺមើលមិនឃើញធូលីដី។ វាជា ការបំពុលអ៊ីយ៉ុង ។ ប្រសិនបើភ្នាក់ងារសម្អាតមានផ្ទុកនូវកម្រិតសូដ្យូម ប៉ូតាស្យូម ឬអ៊ីយ៉ុងដែកខ្ពស់ សារធាតុទាំងនេះអាចធ្វើចំណាកស្រុកទៅក្នុងស្រទាប់រសើប ដែលបណ្តាលឱ្យមានចរន្តលេចធ្លាយ ឬបញ្ហាភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង។
ឧបករណ៍ degreasers ស្តង់ដារឧស្សាហកម្មតែងតែខ្វះការចម្រាញ់ដែលត្រូវការសម្រាប់ ការគ្រប់គ្រងអ៊ីយ៉ុងដែកកម្រិត ppb ។ នៅពេលដំណើរការ ភាពជាក់លាក់កម្រិត wafer de-waxing គោលដៅគឺដើម្បីសម្រេចបាននូវផ្ទៃដ៏បរិសុទ្ធបំផុត ដែលភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហធាតុត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្រោម 10 ppb ដោយធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃតម្រូវការសវនកម្មថ្នាក់ ICP-MS ។
