នៅក្នុងពិភពនៃការវេចខ្ចប់អុបតូអេឡិចត្រូនិច និងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់ 'ស្អាត' លែងជាគុណនាមទៀតហើយ - វាគឺជាកម្រិតបច្ចេកទេសដែលអាចវាស់វែងបាន។ នៅពេលដែលសមាសធាតុរួមតូច និងប្រេកង់កើនឡើង សូម្បីតែដានមីក្រូទស្សន៍នៃអ៊ីយ៉ុងដែក ឬការហើមបន្តិចនៃស្រទាប់ខាងក្រោមជ័រអាចនាំឱ្យបាត់បង់ទិន្នផលមហន្តរាយ។
ឧបសគ្គមួយក្នុងចំណោមឧបសគ្គដែលជាប់រហូតបំផុតក្នុងដំណើរដ៏ជាក់លាក់នេះគឺ ការដកក្រមួនចេញ ។ ថាតើវាជាការភ្ជាប់បណ្តោះអាសន្នសម្រាប់ការស្តើង wafer ឬស្ថេរភាពនៃប្លុក fiber optic កំឡុងពេលកិន wax ត្រូវតែត្រូវបានយកចេញទាំងស្រុង។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ភ្នាក់ងារសម្អាតបែបបុរាណជាច្រើនបង្ខំឱ្យមានការសម្របសម្រួលរវាង 'ថាមពលរំលាយ' និង 'សុវត្ថិភាពសម្ភារៈ' ។
ការគំរាមកំហែងដែលមើលមិនឃើញ៖ ហេតុអ្វីបានជាសារធាតុរំលាយស្តង់ដារបរាជ័យ
ផ្ទៃ Wafer-Level Precision De-Waxing Wafer ជាមួយនឹងសំណល់ wax បណ្តោះអាសន្ន មុនពេលសម្អាត។
សម្រាប់វិស្វករដែលគ្រប់គ្រង ភាពស្អាតនៃការវេចខ្ចប់ semiconductor សត្រូវដ៏ធំបំផុតគឺមើលមិនឃើញធូលីដី។ វាជា ការបំពុលអ៊ីយ៉ុង ។ ប្រសិនបើសារធាតុលាងសម្អាតមានផ្ទុកនូវជាតិសូដ្យូម ប៉ូតាស្យូម ឬអ៊ីយ៉ុងដែកខ្ពស់ សារធាតុទាំងនេះអាចផ្លាស់ទីទៅក្នុងស្រទាប់រសើប ដែលបណ្តាលឱ្យមានចរន្តលេចធ្លាយ ឬបញ្ហាភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង។
ឧបករណ៍ degreasers ស្តង់ដារឧស្សាហកម្មតែងតែខ្វះការចម្រាញ់ដែលត្រូវការសម្រាប់ ការគ្រប់គ្រងអ៊ីយ៉ុងដែកកម្រិត ppb ។ នៅពេលដំណើរការ ភាពជាក់លាក់កម្រិត wafer de-waxing គោលដៅគឺដើម្បីសម្រេចបាននូវផ្ទៃដ៏បរិសុទ្ធបំផុត ដែលភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហធាតុត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្រោម 10 ppb ដោយធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវនៃតម្រូវការសវនកម្មថ្នាក់ ICP-MS ។
តុល្យភាពល្បឿននៃការរំលាយ និងសុចរិតភាពនៃសម្ភារៈ
ចំណុចឈឺចាប់ទូទៅមួយនៅក្នុង ការដកក្រមួន FBA (Fiber Optic Block Assembly) គឺជាភាពងាយរងគ្រោះនៃថ្នាំកូតឯកទេស។ សមាសធាតុនៃភាពជាក់លាក់ជារឿយៗពាក់ព័ន្ធនឹងការលាយបញ្ចូលគ្នាដ៏ស្មុគស្មាញនៃសម្ភារៈ៖
ប៉ូលីម័ររសើប ៖ ប៉ូលីអ៊ីមអ៊ីត (ភីអាយ) ឬថ្នាំកូតអាគ្រីលីត។
សារធាតុស្អិតតាមរចនាសម្ព័នៈ អេផូស៊ីសដែលបានព្យាបាលដូចជា EMI3048។
លោហធាតុដ៏មានតម្លៃ : លោហធាតុស្ពាន់ ឬផ្លាកមាស។
សារធាតុរំលាយដ៏រឹងមាំបែបប្រពៃណីអាចរំលាយក្រមួន ដូចជា C.S.Wax A ដែលរឹងរូស ប៉ុន្តែជារឿយៗពួកវាបណ្តាលឱ្យជ័រជុំវិញហើម ប្រេះ ឬបាត់បង់តម្លាភាព។ ឧបករណ៍ សម្អាតភាពជាក់លាក់ pH អព្យាក្រឹត ជាមួយនឹងភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈខ្ពស់គឺលែងជាប្រណីតទៀតហើយ។ វាចាំបាច់ណាស់ក្នុងការទប់ស្កាត់ 'ចំណុចពណ៌ស' ឬស្នាមប្រេះតូចៗក្នុងអំឡុងពេល ដំណើរការសម្អាត ultrasonic សម្រាប់ផ្នែកជាក់លាក់។.
ការណែនាំអំពីស្តង់ដារថ្មី៖ វិធីសាស្រ្ត 1812-3D
1812-3D High-Purity Semi-Aqueous Wax Remover ការគ្រប់គ្រងអ៊ីយ៉ុងដែកកម្រិត ppb រាវ
ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមទាំងនេះ ឧស្សាហកម្មនេះបានផ្លាស់ប្តូរឆ្ពោះទៅរកការបង្កើតឯកទេសដូចជា 1812-3D High-Precision Wax Remover ។ ដំណោះស្រាយនេះត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីភ្ជាប់គម្លាតរវាងការរលាយក្នុងល្បឿនលឿន និងសុវត្ថិភាពលើផ្ទៃខ្លាំង។
1. អំណាចនៃការរំលាយការជ្រើសរើស
1812-3D ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងជាពិសេសសម្រាប់ ការរំលាយ CSWax A ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ។ មិនដូចឧបករណ៍សម្អាតពហុគោលបំណងដែលប្រើវិធីសាស្រ្ត 'ទំហំមួយសមនឹងទាំងអស់' រចនាសម្ព័ន្ធម៉ូលេគុលរបស់វាត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីជ្រាបចូល និងលើកក្រមួនដែលព្យាបាលដោយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដោយមិនប៉ះពាល់ដល់ចំណងគីមីនៃស្រទាប់អេផូស៊ីសដែលបានព្យាបាល ឬស្រទាប់ប៉ូលីអ៊ីមីត។
2. ការសម្រេចបាន 'Zero Residue' តាមរយៈការជំនួស UPW
ជំហានដ៏សំខាន់មួយក្នុង ការយកចេញនូវសារធាតុ adhesive មីក្រូអេឡិចត្រូនិច គឺជាការលាងចុងក្រោយ។ ឆ្នាំ 1812-3D មានលក្ខណៈពិសេសប្រព័ន្ធរំលាយកម្រិតខ្ពស់ដែលអាចច្របូកច្របល់បានយ៉ាងខ្លាំងជាមួយ ទឹកបរិសុទ្ធជ្រុល (UPW) ។ នេះធានាថានៅពេលដែលផ្នែកផ្លាស់ទីពីធុងគីមីទៅធុងលាង ភ្នាក់ងារសម្អាតត្រូវបានផ្លាស់ទីលំនៅទាំងស្រុង ដោយមិនបន្សល់ទុកនូវខ្សែភាពយន្តសរីរាង្គដែលអាចរំខានដល់ដំណើរការភ្ជាប់ ឬថ្នាំកូតជាបន្តបន្ទាប់។
3. សុវត្ថិភាពប្រតិបត្តិការ និងការអនុលោមតាមច្បាប់
នៅក្នុងមជ្ឈមណ្ឌលផលិតកម្មទំនើបចាប់ពីអាស៊ីបូព៌ាទៅអាមេរិកខាងជើង ការផ្លាស់ប្តូរឆ្ពោះទៅរក សារធាតុរំលាយសម្រាប់សម្អាតឧស្សាហកម្មដែលមិនមានគ្រោះថ្នាក់ កំពុងបង្កើនល្បឿន។ ចាប់តាំងពីឆ្នាំ 1812-3D មានចំណុចពន្លឺលើសពី 73°C វាជួយសម្រួលដល់ការដឹកជញ្ជូនរបស់រោងចក្រយ៉ាងសំខាន់។ វាមិនតម្រូវឱ្យមានកន្លែងផ្ទុកការពារការផ្ទុះពិសេសទេ ដោយកាត់បន្ថយ 'ការចំណាយលាក់' នៃការគ្រប់គ្រងសុវត្ថិភាព និងការធានារ៉ាប់រងសម្រាប់សិក្ខាសាលាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្នាតមធ្យម។
Field Insight: រឿងរ៉ាវជោគជ័យនៅក្នុង Precision Optics
ផ្ទៃ wafer បន្ទាប់ពី de-waxing ជាមួយ 1812-3D សម្រេចបាននូវភាពស្អាតកម្រិត ppb កម្រិត semi-conductor
នៅក្នុងមជ្ឈមណ្ឌលផលិតអេឡិចត្រូនិកដ៏សំខាន់មួយ ក្រុមហ៊ុនដែលមានឯកទេសក្នុង ម៉ូឌុលឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាភាពជាក់លាក់ បានប្រឈមនឹងអត្រាបដិសេធ 15% ដោយសារតែ 'សំណល់ខ្សែភាពយន្ត' បន្ទាប់ពីការដកក្រមួនចេញ។ សារធាតុរំលាយដែលមានស្រាប់របស់ពួកគេគឺឈ្លានពានខ្លាំងពេក ដែលបណ្តាលឱ្យតម្លាភាពនៃជ័រអុបទិករបស់ពួកគេធ្លាក់ចុះតាមពេលវេលា។
ដោយការផ្លាស់ប្តូរទៅ ដំណើរការ degreasing ultrasonic ដោយប្រើ 1812-3D នៅ 60 ° C ពួកគេសម្រេចបានលទ្ធផលសំខាន់ពីរ:
ការកើនឡើងទិន្នផល ៖ ប្រព័ន្ធ pH អព្យាក្រឹតបានលុបបំបាត់ការហើមជ័រ ដែលនាំឱ្យអត្រានៃការបដិសេធធ្លាក់ចុះក្រោម 0.5% ។
ប្រសិទ្ធភាពនៃដំណើរការ ៖ ការរំលាយយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃសារធាតុស្អិតបានកាត់បន្ថយវដ្តនៃការសម្អាតរបស់ពួកគេត្រឹម 4 នាទីក្នុងមួយបាច់ ដែលបង្កើនបរិមាណប្រចាំថ្ងៃយ៉ាងច្រើនដោយមិនបន្ថែមឧបករណ៍ថ្មី។
សំណួរគេសួរញឹកញាប់ផ្នែកបច្ចេកទេស៖ ការដោះស្រាយឧបសគ្គក្នុងការសម្អាតភាពជាក់លាក់របស់អ្នក។
សំណួរទី 1: តើភ្នាក់ងារសម្អាតសម្រេចបានការគ្រប់គ្រងអ៊ីយ៉ុងដែកកម្រិត ppb យ៉ាងដូចម្តេច?
A: ការសម្រេចបាននូវ ភាពស្អាតកម្រិត ppb កម្រិត semiconductor តម្រូវឱ្យមានដំណើរការចម្រោះដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងការចម្រោះយ៉ាងតឹងរឹង។ ផលិតផលដូចជា 1812-3D ត្រូវបានត្រួតពិនិត្យតាមរយៈ ICP-MS ដើម្បីធានាថាអ៊ីយ៉ុងដូចជា Na, K និង Ca ស្ថិតនៅខាងក្រោម 10 ppb ការពារការចម្លងរោគអ៊ីយ៉ុងដែលអាចបណ្តាលឱ្យមានចរន្តអគ្គិសនីនៅក្នុងសមាសធាតុរសើប។
សំណួរទី 2: តើវាមានសុវត្ថិភាពក្នុងការប្រើ 1812-3D នៅលើ polyimide (PI) និង acrylate coatings ដែរឬទេ?
A: បាទ។ ចំណុចខ្លាំងស្នូលមួយនៃ ភ្នាក់ងារសម្អាតសំណល់អ៊ីយ៉ុងដែកទាប នេះ គឺភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈខ្ពស់របស់វា។ វាត្រូវបានធ្វើតេស្តជាពិសេសដើម្បីធានាថាវាមិនបណ្តាលឱ្យរបក ហើម ឬប្រេះនៅលើ ប៉ូលីអ៊ីមអ៊ីត (PI) ឬ អេផូស៊ីដែលបានព្យាបាល (ដូចជា EMI3048) ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការផ្គុំពហុសម្ភារៈស្មុគស្មាញ។
សំណួរទី 3: តើ 1812-3D អាចប្រើក្នុងម៉ាស៊ីនសម្អាត ultrasonic ស្តង់ដារបានទេ?
ចម្លើយ៖ ដាច់ខាត។ វាត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ ការសម្អាត ultrasonic ពីរធុង ឬពហុធុង ។ ដើម្បីទទួលបានលទ្ធផលដ៏ល្អប្រសើរក្នុង កម្រិតភាពជាក់លាក់នៃ wafer de-waxing យើងសូមណែនាំជួរសីតុណ្ហភាព 45-60°C និងពេលសម្អាត 5-10 នាទី។
សំណួរទី 4: តើតម្រូវការផ្ទុកអ្វីខ្លះសម្រាប់ឧបករណ៍សម្អាតភាពជាក់លាក់ប្រភេទនេះ?
ចម្លើយ៖ ដោយសារវាជា សារធាតុរំលាយឧស្សាហកម្មដែលមិនមានគ្រោះថ្នាក់ ដែលមានចំណុចពន្លឺខ្ពស់ (> 73°C) វាអាចត្រូវបានដឹកជញ្ជូន និងរក្សាទុកជាទំនិញទូទៅ។ នេះជៀសវាងការចំណាយខ្ពស់ដែលទាក់ទងនឹងការដឹកជញ្ជូនសារធាតុគីមីដែលមានគ្រោះថ្នាក់ ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវអាយុកាលធ្នើ 12 ខែនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌបិទជិត។
សំណួរទី 5: តើឆ្នាំ 1812-3D នឹងចាកចេញពីខ្សែភាពយន្តសរីរាង្គបន្ទាប់ពីការលាងចុងក្រោយ?
ចម្លើយ៖ ទេ រូបមន្តត្រូវបានវិស្វកម្មសម្រាប់ 'ការផ្លាស់ទីលំនៅដ៏ងាយស្រួល។' នៅពេលបន្តដោយ ការលាងសម្អាត UPW (Ultra-Pure Water) សារធាតុរំលាយត្រូវបានដកចេញទាំងស្រុង ដែលធានាបាននូវ លទ្ធផល សម្អាតអុបទិកគ្មានសំណល់ ដែលត្រៀមរួចជាស្រេចសម្រាប់ដំណាក់កាលបន្ទាប់នៃការផលិតភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
