Жоғары сапалы оптоэлектроника және жартылай өткізгіш орау әлемінде 'таза' енді сын есім емес - бұл өлшенетін техникалық шек. Құрамдас бөліктер кішірейіп, жиіліктер жоғарылағанда, тіпті металл иондарының микроскопиялық ізі немесе шайыр субстратының аздап ісінуі шығымдылықтың апатты төмендеуіне әкелуі мүмкін.
Бұл дәлдіктегі ең тұрақты кедергілердің бірі - балауызды жою . Бұл вафлиді жұқартуға арналған уақытша байланыстыру немесе ұнтақтау кезінде талшықты-оптикалық блоктарды тұрақтандыру болсын, балауызды толығымен алып тастау керек. Дегенмен, көптеген дәстүрлі тазалау құралдары 'еріткіш қуат' мен 'материал қауіпсіздігі' арасында ымыраға келуге мәжбүр етеді.
Көрінбейтін қауіп: неге стандартты еріткіштер істен шығады?
басқаратын инженерлер үшін Жартылай өткізгішті қаптаманың тазалығын ең үлкен жау көрінетін шаң емес; бұл иондық ластану . Тазартқыш құрамында натрий, калий немесе темір иондарының жоғары деңгейі болса, олар сезімтал қабаттарға ауысып, ағып кету ағындарын немесе ұзақ мерзімді сенімділік мәселелерін тудыруы мүмкін.
Стандартты өнеркәсіптік майсыздандыру құрылғыларында үшін қажетті тазарту жиі болмайды ppb деңгейіндегі металл иондарын бақылау . өңдеу кезінде Вафли деңгейіндегі дәлме-дәл балауызсыздандыруды мақсат - 10 ppb- ден төмен болатын ультра таза беттерге қол жеткізу.ICP-MS аудитінің талаптарының тұтастығын қамтамасыз ете отырып, металл қоспалары
