Жоғары сапалы оптоэлектроника және жартылай өткізгіш қаптамалар әлемінде 'таза' енді сын есім емес - бұл өлшенетін техникалық шек. Құрамдас бөліктер кішірейіп, жиіліктер жоғарылағанда, тіпті металл иондарының микроскопиялық ізі немесе шайырлы субстраттың аздап ісінуі шығымдылықтың апатты төмендеуіне әкелуі мүмкін.
Бұл дәлдіктегі ең тұрақты кедергілердің бірі - балауызды жою . Бұл вафлиді жұқартуға арналған уақытша байланыстыру немесе ұнтақтау кезінде талшықты-оптикалық блоктарды тұрақтандыру болсын, балауызды толығымен алып тастау керек. Дегенмен, көптеген дәстүрлі тазалау құралдары 'еріткіш қуат' мен 'материал қауіпсіздігі' арасында ымыраға келуге мәжбүр етеді.
Вафли деңгейіндегі дәлме-дәл балауызды тазарту Тазалау алдында уақытша байланыстыратын балауыз қалдықтары бар вафли беті.
басқаратын инженерлер үшін Жартылай өткізгішті қаптаманың тазалығын ең үлкен жау көрінетін шаң емес; бұл иондық ластану . Тазартқыш құрамында натрий, калий немесе темір иондарының жоғары деңгейі болса, олар сезімтал қабаттарға ауысып, ағып кету ағындарын немесе ұзақ мерзімді сенімділік мәселелерін тудыруы мүмкін.
Стандартты өнеркәсіптік майсыздандыру құрылғыларында үшін қажетті тазарту жиі болмайды ppb деңгейіндегі металл иондарын бақылау . өңдеу кезінде Вафли деңгейіндегі дәлме-дәл балауызсыздандыруды мақсат - 10 ppb- ден төмен болатын ультра таза беттерге қол жеткізу.ICP-MS аудитінің талаптарының тұтастығын қамтамасыз ете отырып, металл қоспалары
Еріту жылдамдығы мен материалдың тұтастығын теңестіру
кезіндегі жиі кездесетін ауырсыну нүктесі FBA (талшықты-оптикалық блоктар жинағы) балауызын кетіру арнайы жабындардың осалдығы болып табылады. Дәл компоненттер жиі материалдардың күрделі қоспасын қамтиды:
Сезімтал полимерлер : полиимид (PI) немесе акрилат жабындары.
Құрылымдық желімдер : EMI3048 сияқты өңделген эпоксидтер.
Асыл металдар : мыс қорытпалары немесе алтын жалату.
Дәстүрлі күшті еріткіштер балауызды ерітуі мүмкін, мысалы, қатты C.S.Wax A , бірақ олар көбінесе айналадағы шайырдың ісінуіне, жарылуына немесе мөлдірлігін жоғалтуына әкеледі. емес ; Материалдық үйлесімділігі жоғары бейтарап рН дәл тазартқыш енді сән-салтанат кезінде 'ақ дақтар' немесе микро-жарықтардың алдын алу қажет. дәл бөлшектерді ультрадыбыстық тазалау процесі .
Жаңа эталонды енгізу: 1812-3D тәсілі
1812-3D жоғары таза жартылай сулы балауызды кетіргіш сұйық ppb деңгейіндегі металл ионын басқару
Осы қиындықтарды шешу үшін сала сияқты мамандандырылған рецептураларға көшті 1812-3D жоғары дәлдіктегі балауызды кетіргіш . Бұл шешім жоғары жылдамдықтағы еріту мен экстремалды бет қауіпсіздігі арасындағы алшақтықты жою үшін жасалған.
1. Таңдамалы еріту күші
1812-3D үшін арнайы оңтайландырылған жоғары тиімді CSWax A ерітуі . 'Бір өлшем бәріне сәйкес келеді' әдісін қабылдайтын көп мақсатты тазалағыштардан айырмашылығы, оның молекулалық құрылымы қатайтылған эпоксидтердің немесе полиимидті қабаттардың химиялық байланыстарына әсер етпей, жоғары температурада өңделген балауыздарға еніп, көтеруге арналған.
2. UPW ауыстыру арқылы 'Нөлдік қалдық' деңгейіне жету
маңызды кезеңі Микроэлектроникадағы желімді кетірудің соңғы шаю болып табылады. 1812-3D жоғары араласатын жетілдірілген еріткіш жүйесімен ерекшеленеді ультра таза сумен (UPW) . Бұл бөлшек химиялық резервуардан шаю ыдысына ауысқанда, тазалау құралының толығымен ығысатынын және одан кейінгі жабысу немесе жабу процестеріне кедергі келтіретін органикалық пленка қалдырмайтынын қамтамасыз етеді.
3. Пайдалану қауіпсіздігі және сәйкестік
Шығыс Азиядан Солтүстік Америкаға дейінгі заманауи өндіріс тораптарында көшу қауіпті емес өнеркәсіптік тазартқыш еріткіштерге жылдамдауда. 1812-3D тұтану температурасы 73°C жоғары болғандықтан , ол зауыттық логистиканы айтарлықтай жеңілдетеді. Ол жарылыстан қорғалған мамандандырылған сақтауды қажет етпейді, дәлдігі орташа цехтар үшін қауіпсіздікті басқару мен сақтандырудың 'жасырын шығындарын' азайтады.
Field Insight: Дәлдік оптикадағы жетістік тарихы
1812-3D жартылай өткізгішті ppb деңгейіндегі тазалыққа қол жеткізетін балауыздан тазартудан кейінгі вафли беті
Электрондық өндірістің ірі хабында дәлдік сенсор модульдеріне маманданған компания балауызды алып тастағаннан кейін 'пленка қалдықтары' салдарынан 15% бас тарту деңгейіне тап болды. Олардың бар еріткіші тым агрессивті болды, бұл олардың оптикалық шайырларының мөлдірлігінің уақыт өте нашарлауына әкелді.
60°C температурада 1812-3D көмегімен көшу арқылы ультрадыбыстық майсыздандыру процесіне олар екі маңызды нәтижеге қол жеткізді:
Шығымды арттыру : бейтарап рН жүйесі шайырдың ісінуін жойып, бас тарту жылдамдығын 0,5%-дан төмен түсірді.
Процестің тиімділігі : Байланыстырушы балауыздың жылдам еруі олардың тазалау циклін партияға 4 минутқа қысқартып, жаңа жабдықты қоспай-ақ күнделікті өткізуді айтарлықтай арттырды.
Техникалық жиі қойылатын сұрақтар: дәл тазалау кедергілерін шешу
1-сұрақ: Тазалау агенті ppb деңгейіндегі металл иондарын бақылауға қалай қол жеткізеді?
A: қол жеткізу үшін Жартылай өткізгішті ppb деңгейіндегі тазалыққа жоғары тазалықтағы айдау процесі және қатаң сүзгілеу қажет. 1812-3D сияқты өнімдер Na, K және Ca сияқты иондардың 10 ppb төмен болуын қамтамасыз ету үшін ICP-MS арқылы бақыланады, бұл сезімтал компоненттерде электр тогының бұзылуына әкелуі мүмкін иондық ластануды болдырмайды.
2-сұрақ: 1812-3D полиимидті (PI) және акрилат жабындарында пайдалану қауіпсіз бе?
A: Иә. Бұл негізгі күшті жақтарының бірі төмен металл ионының қалдықтарын тазартатын агенттің оның жоғары материалмен үйлесімділігі болып табылады. Ол қабыршақтануды, ісінуді немесе крекингті тудырмайтындығына көз жеткізу үшін арнайы сыналған полиимидте (PI) немесе өңделген эпоксидте (мысалы, EMI3048) , бұл оны күрделі көп материалды жинақтар үшін өте қолайлы етеді.
3-сұрақ: 1812-3D стандартты ультрадыбыстық тазалау машиналарында қолданылуы мүмкін бе?
A: Мүлдем. Ол арналған қос резервуарлы немесе көп резервуарлы ультрадыбыстық тазалауға . оңтайлы нәтижелерге қол жеткізу үшін Вафли деңгейіндегі дәл балауызсыздандыруда 45-60°C температура диапазоны мен 5-10 минут тазалау уақытын ұсынамыз.
4-сұрақ: Дәл тазартқыштың осы түріне сақтау талаптары қандай?
A: Бұл болғандықтан , оны жалпы жүк ретінде тасымалдауға және сақтауға болады. қауіпті емес өндірістік тазартқыш еріткіш тұтану температурасы жоғары (> 73°C) Бұл жабық жағдайда 12 айлық сақтау мерзімін сақтай отырып, қауіпті химиялық логистикаға байланысты жоғары шығындарды болдырмайды.
5-сұрақ: 1812-3D соңғы шаюдан кейін органикалық пленка қалдыра ма?
A: Жоқ. Формула 'жеңіл ауыстыру' үшін әзірленген. UPW (ультра таза су) шаюынан кейін еріткіш толығымен жойылып, оптиканы қалдықсыз тазалау нәтижесін қамтамасыз етеді. жоғары дәлдіктегі өндірістің келесі кезеңіне дайын
