Ներածություն Միկրոէլեկտրոնիկայի, կիսահաղորդիչների արտադրության և ճշգրիտ օպտիկայի անընդհատ զարգացող աշխարհում ֆոտոռեսիստների օգտագործումը կարևոր նշանակություն ունի ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացներում: Նույնքան կարևոր է այդ ֆոտոռեզիստորի հեռացումը նախշավորման փուլից հետո:
Կարդալ ավելին