Įvadas Nuolat besivystančiame mikroelektronikos, puslaidininkių gamybos ir tiksliosios optikos pasaulyje fotorezisto naudojimas yra labai svarbus fotolitografijos procesuose. Lygiai taip pat svarbu pašalinti fotorezistą po modeliavimo etapo.
Skaityti Daugiau