Johdanto Jatkuvasti kehittyvässä mikroelektroniikan, puolijohteiden valmistuksen ja tarkkuusoptiikan maailmassa fotoresistin käyttö on ratkaisevan tärkeää valolitografiaprosesseissa. Yhtä kriittinen on fotoresistin poistaminen kuviointivaiheen jälkeen.
Lue lisää