Вступ. У світі мікроелектроніки, виробництва напівпровідників і прецизійної оптики, що постійно розвивається, використання фоторезисту має вирішальне значення в процесах фотолітографії. Не менш важливим є видалення цього фоторезисту після етапу формування візерунка.
Детальніше