Ipa pataki ti Awọn aṣoju yiyọ kuro ni Microfabrication
Ni agbaye ti semikondokito ati iṣelọpọ ẹrọ itanna, konge jẹ kii ṣe idunadura. Ọkan ninu awọn igbesẹ ti o ni inira julọ ninu ilana ti o ga julọ ni fọtolithography, eyiti o pẹlu lilo photoresist lati ṣalaye awọn ilana iyika airi lori wafer ohun alumọni. Sugbon ni kete ti awọn etching tabi ion gbingbin ti wa ni ṣe, awọn iyokù photoresist gbọdọ wa ni kuro patapata. Eyi ni ibi photoresist yiyọ òjíṣẹ di indispensable.
Aṣoju yiyọ photoresist ti o ga julọ ṣe idaniloju awọn aaye mimọ, ṣe idiwọ ibajẹ, ati aabo fun iduroṣinṣin ti awọn sobusitireti wafer. Laisi ojuutu yiyọ ti o munadoko, awọn abawọn ati awọn iṣẹku le ba iṣẹ ṣiṣe ọja ikẹhin jẹ, pataki ni awọn imọ-ẹrọ semikondokito ipade ti ilọsiwaju.
Tiwqn ati Kemistri Lẹhin Awọn aṣoju idinku ode oni
Awọn agbekalẹ ti a ṣe deede fun Awọn ibeere Oniruuru
Kii ṣe gbogbo awọn ohun elo photoresist ni a ṣẹda dogba - tabi awọn aṣoju yiyọ kuro. Awọn agbekalẹ to ti ni ilọsiwaju darapọ awọn oriṣiriṣi awọn kemikali ti nṣiṣe lọwọ pẹlu amines, hydroxylamine, awọn olomi, awọn aṣoju chelating, ati awọn inhibitors ipata lati ṣe iwọntunwọnsi iṣẹ ṣiṣe pẹlu aabo sobusitireti. Awọn aṣoju yiyọ ohun-ini Yuanan, fun apẹẹrẹ, jẹ iṣẹ-ṣiṣe si:
Tu awọn atako lile tabi ti o sopọ mọ agbelebu,
Dinku ipata irin lori aluminiomu, bàbà, ati awọn fẹlẹfẹlẹ goolu,
Rii daju ibamu pẹlu awọn ohun elo dielectric ifura bii awọn fiimu kekere-k.
Diẹ ninu awọn aṣoju yiyọ jẹ orisun omi, lakoko ti awọn miiran gbarale awọn agbekalẹ ti o wuwo, ti o da lori iru koju ati awọn ohun elo ti o wa labẹ. Ẹtan naa wa ni ṣiṣe agbekalẹ ọja kan ti o ya ni kikun lakoko ti o ko fi ionic tabi awọn iṣẹku ti irin sile.
Kini idi ti Yiyan Aṣoju yiyọ Ọtun ṣe pataki
Ibamu ilana Se Key
Igbesẹ yiyọ photoresist ti ko tọ le ja si ipadanu ikore ajalu. Nitorinaa, ibamu pẹlu awọn ilana etch kan pato, awọn igbesẹ gbin, tabi awọn ohun elo kekere-k jẹ pataki. Awọn ojutu Yuanan jẹ idanwo lọpọlọpọ fun ibaramu kọja ọpọlọpọ awọn igbesẹ iṣelọpọ wafer – lati awọn laini CMOS ibile si gige-eti EUV lithography.
Imudara Yiyọ : Awọn ila paapaa lile lile koju ni iyara.
Yiyan ohun elo : Fi awọn fiimu ti o wa labe silẹ ni mimule.
Iwa mimọ dada : Ṣe idilọwọ atunkọ irin ati idasile iṣẹku.
Iduroṣinṣin Gbona : Ṣiṣẹ ni awọn iwọn otutu ilana ti o yatọ.
Ibamu Ayika : Awọn VOC kekere ati awọn agbekalẹ biodegradable nigbati o ṣee ṣe.
Awọn ohun elo bọtini Kọja Ile-iṣẹ Semikondokito
Lati awọn eerun ọgbọn ati awọn ẹrọ iranti si MEMS ati awọn semikondokito agbo, awọn aṣoju yiyọ photoresist sin awọn ipa pataki. Lilo wọn ko ni ihamọ si ipele lithography kan. Wọn ti lo lẹhin:
Gbigbe ion (nibiti koju di carbonized ga julọ),
Plasma etching (eyiti o le ja si lile odi ẹgbẹ),
Awọn ilana damascene meji (to nilo yiyọ kuro laisi awọn akopọ dielectric idamu).
Ninu apoti ti ilọsiwaju, ni pataki iṣakojọpọ ipele wafer-jade (FOWLP), kemistri yiyọ kuro gbọdọ daabobo awọn wafers tinrin ati awọn fẹlẹfẹlẹ atunkọ iwuwo giga. Yuanan ti ṣe agbekalẹ awọn agbekalẹ ni aifwy pataki fun awọn italaya ode oni wọnyi.
Awọn italaya ti o wọpọ ni yiyọkuro Photoresist-ati Bi o ṣe le bori Wọn
Awọn iṣoro iyokù ni Awọn apa To ti ni ilọsiwaju
Bi awọn geometries ẹrọ ṣe dinku ni isalẹ 5nm, koju awọn fiimu di tinrin ṣugbọn idiju diẹ sii ni kemistri, nigbagbogbo n gba lile nitori ifihan pilasima. Awọn iyipada wọnyi le fa awọn olomi ibile lati ṣe aiṣedeede. Awọn aṣoju iṣẹ ṣiṣe giga Yuanan ṣe idojukọ awọn iṣẹku wọnyi nipasẹ ọna ṣiṣe meji-wiwu ati itu—atẹle nipasẹ fifi omi ṣan ni kikun.
Ibajẹ ati Ibajẹ Ohun elo
Awọn aṣoju yiyọ kuro ti o ni awọn amines ibinu tabi awọn acids ti o lagbara le ba awọn irin bii Ejò tabi aluminiomu jẹ. Awọn agbekalẹ idinamọ ipata ti Yuanan ṣe itọju awọn ipele ifura, paapaa labẹ awọn ipo rirọ ti o gbooro, ṣe iranlọwọ lati ṣetọju iṣẹ itanna ati ero oju ilẹ.
Gbigbe ati ṣiṣe iye owo
Pẹlu awọn ile-iṣẹ semikondokito ti o ni ero fun iṣelọpọ giga, ipele ati awọn ijoko tutu-wafer ẹyọkan gbọdọ wa ni iṣapeye. Awọn ojutu Yuanan ṣe ẹya awọn akoko yiyọ kuro ni iyara, idinku awọn akoko gigun ati gbigba awọn fabs lati ṣetọju iṣelọpọ iwọn didun giga laisi ibajẹ didara.
Yiyọ tutu la Pilasima Ashing: Aṣayan Ilana kan
Lakoko ti o ti gbẹ pilasima ashing jẹ ọna miiran fun koju yiyọ kuro, o nigbagbogbo ṣubu ni kukuru pẹlu awọn fiimu didin tabi awọn fiimu ti a fi sii. Yiyọ kẹmika tutu ni lilo awọn aṣoju iṣẹ ṣiṣe giga bii awọn ti Yuanan ti dagbasoke ni:
Imudara diẹ sii fun awọn ipele ti o nipọn tabi ti o ni asopọ
Bibajẹ ti o kere si awọn sobusitireti kekere tabi la kọja
Dara julọ ni imukuro awọn iṣẹku ni awọn ẹya ipin ipin giga
Ọpọlọpọ awọn fabs gba ọna arabara kan: ẽru pilasima akọkọ ti o tẹle nipasẹ ṣiṣan tutu, ni idaniloju yiyọkuro lapapọ pẹlu ibajẹ ohun elo to kere.
Ipari
Ninu ile-iṣẹ semikondokito ti nyara ni iyara, yiyan ẹtọ aṣoju yiyọ photoresist kii ṣe ipinnu imọ-ẹrọ kan mọ - o jẹ ilana ilana kan. Pẹlu diẹ ẹ sii ju ọdun mẹwa ti iriri ni kemistri pipe ati ifowosowopo sunmọ pẹlu awọn onimọ-ẹrọ fab ni kariaye, Yuanan n pese igbẹkẹle ti ko baramu, ailewu, ati iṣẹ.
Boya o n mu awọn atako lile UV ti o jinlẹ tabi koju awọn iṣẹku photoresist atẹle-gen EUV, awọn agbekalẹ ilọsiwaju ti Yuanan jẹ itumọ lati koju ipenija naa. De ọdọ loni lati ṣawari bawo ni a ṣe le ṣe imudara ilana yiyọkuro rẹ lodi si - ati gbe ikore rẹ ga, iṣẹ ṣiṣe, ati ifẹsẹtẹ ayika.
