Ọrụ dị oke egwu nke ndị na-ewepụ ihe na Microfabrication
N'ime ụwa nke semiconductor na ngwá electronic, nkenke bụ nke enweghị nkwekọrịta. Otu n'ime usoro dị mgbagwoju anya na usoro a dị elu bụ fotolithography, nke gụnyere itinye fotoresisist iji kọwaa ụkpụrụ sekit microscopic na wafer silicon. Mana ozugbo etinyere etching ma ọ bụ ion ion, a ga-ewepụrịrị fotoresist fọdụrụnụ kpamkpam. Nke a bụ ebe ihe ndị na-eyipụ ihe na-ese foto na-aghọ ihe dị mkpa.
Ihe na-arụ ọrụ dị elu nke na-ewepụ fotoresist na-eme ka ebe dị ọcha dị ọcha, na-egbochi mmetọ, ma na-echekwa iguzosi ike n'ezi ihe nke mkpụrụ wafer. Na-enweghị ngwọta nbipu dị irè, ntụpọ na ihe fọdụrụ nwere ike imebi arụ ọrụ ngwaahịa ikpeazụ, ọkachasị na teknụzụ ọnụ ọnụ semiconductor dị elu.
Ihe mejupụtara na kemistri dị n'azụ ndị nnọchi anya mgbapụ ọgbara ọhụrụ
Nhazi ahaziri maka ihe achọrọ dị iche iche
Ọ bụghị ihe niile photoresist ka ekepụtara nhata - ma ọ bụ ndị na-ewepụ ihe. Usoro dị elu na-ejikọta kemịkalụ dị iche iche na-arụ ọrụ gụnyere amines, hydroxylamine, ihe mgbaze, ihe ndị na-emepụta ihe, na ihe mgbochi corrosion iji dozie arụmọrụ yana nchekwa mkpụrụ. Ndị na-apụnara mmadụ ihe nke Yuanan, dịka ọmụmaatụ, ka emebere ka ha:
Gbanyụọ ihe mgbochi siri ike ma ọ bụ jikọtara ya,
Wedata corrosion metal na aluminom, ọla kọpa na akwa ọla edo,
Gbaa mbọ hụ na ndakọrịta na ihe dielectric nwere mmetụta dị ka ihe nkiri obere k.
Ụfọdụ ihe na-eyipụ ihe na-adabere na mmiri mmiri, ebe ndị ọzọ na-adabere na usoro mgbaze dị arọ, dabere na ụdị mgbochi na ihe ndị dị n'okpuru. Aghụghọ a dị n'ịmepụta ngwaahịa ga-akpụcha kpamkpam ebe ọ na-ahapụ enweghị ionic ma ọ bụ nke dara ọla n'azụ.
Ihe mere ị ga-eji họrọ onye na-agbapụ ihe ziri ezi ji dị mkpa
Ndakọrịta usoro bụ igodo
Nkwụsị iwepụ fotoresisist na-ezighi ezi nwere ike ibute mfu mkpụrụ dị egwu. Ya mere, ndakọrịta na usoro etch akọwapụtara, usoro ntinye, ma ọ bụ ihe ndị dị ala dị oke mkpa. A na-anwale ngwọta nke Yuanan nke ukwuu maka ndakọrịta n'ofe usoro nrụpụta wafer dị iche iche - site na ahịrị CMOS ọdịnala ruo na njedebe EUV lithography.
Mwepụ arụmọrụ : Epeepe ọbụna siri ike siri ike na-eguzogide ngwa ngwa.
Nhọrọ ihe onwunwe : na-ahapụ ihe nkiri ndị dị n'okpuru ka emebibeghị.
Ịdị ọcha nke dị n'elu : na-egbochi nrụgharị igwe na nhazi ihe fọdụrụ.
Thermal kwụsie ike : Na-eme na usoro okpomọkụ dị iche iche.
Nrube isi na gburugburu ebe obibi : VOC dị ala na usoro nwere ike imebi ihe mgbe enwere ike.
Ngwa ndị dị mkpa gafere ụlọ ọrụ Semiconductor
Site na mgbanaka mgbanaka na ngwaọrụ ebe nchekwa ruo MEMS na semiconductor mejupụtara, ihe ndị na-eyipụ ihe na-ese foto na-arụ ọrụ dị mkpa. Eji ha eme ihe abụghị naanị otu ọkwa lithography. A na-etinye ha mgbe:
Ntinye ion (ebe mgbochi na-aghọ carbonized nke ukwuu),
Plasma etching (nke nwere ike ime ka mgbidi mgbidi sie ike),
N'ime nkwakọ ngwaahịa dị elu, ọkachasị ngwungwu ọkwa ọkwa fan-out (FOWLP), kemịkalụ na-apụ apụ ga-echeberịrị wafers dị obere na njupụta njupụta dị elu. Yuanan ewepụtala usoro ahaziri ahazi maka ihe ịma aka ọgbara ọhụrụ ndị a.
Ihe ịma aka ndị a na-enwekarị na Mwepu Photoresist — yana otu esi emeri ha
Nsogbu fọdụrụ na Nodes dị elu
Ka geoometries ngwaọrụ na-agbada n'okpuru 5nm, ihe nkiri na-eguzogide na-adị gịrịgịrị mana ọ gbagwojuru anya na kemistri, na-enwekarị ike ike n'ihi mkpughe plasma. Mgbanwe ndị a nwere ike ime ka ihe mgbaze ọdịnala ghara ịrụ ọrụ nke ọma. Ndị ọrụ Yuanan na-arụ ọrụ dị elu na-elekwasị anya n'ihe ndị a fọdụrụ site na usoro omume abụọ - ọzịza na mgbaze - na-esochi ya nke ọma.
Nrụrụ na mmebi ihe
Ihe ndọpụ ihe nwere amines na-eme ihe ike ma ọ bụ acid siri ike nwere ike imebi ọla dị ka ọla kọpa ma ọ bụ aluminom. Usoro mgbochi corrosion nke Yuanan na-echekwa ọkwa dị nro, ọbụlagodi n'okpuru ọnọdụ sọks agbatịkwuru, na-enyere aka ịnọgide na-arụ ọrụ ọkụ eletrik yana atụmatụ elu.
Ntinye na arụmọrụ ọnụ ahịa
Site na akwa semiconductor nke na-achọ ntinye aka dị elu, bench na otu wafer mmiri ga-adịrịrịrịrịrịrị. Ihe ngwọta nke Yuanan na-egosipụta oge mwepụ ngwa ngwa, na-ebelata oge ịcha mmiri na ikwe ka fabs nọgide na-enwe mmepụta olu dị elu na-emebighị àgwà.
Mwepu mmiri megide Plasma Ashing: Nhọrọ dị mkpa
Ọ bụ ezie na ntụ ntụ plasma akọrọ bụ ụzọ ọzọ a na-esi egbochi iwepụ ya, ọ na-adabakarị na fim ndị siri ike sie ma ọ bụ nke etinyere ya. Iwepu kemịkalụ mmiri mmiri site na iji ihe ndị na-arụ ọrụ dị elu dị ka nke Yuanan mepụtara bụ:
Na-arụ ọrụ nke ọma maka akwa akwa ma ọ bụ nke nwere njikọ
Na-emebi obere ihe na obere obere k ma ọ bụ nke nwere oghere
Ọ ka mma na ikpochapụ ihe fọdụrụ na njirimara oke akụkụ dị elu
Ọtụtụ fabs na-agbaso usoro ngwakọ: ntụ ntụ plasma nke mbụ na-esote nkewa mmiri, na-ahụ na mwepụ zuru oke na mmebi ihe dị ntakịrị.
Mmechi
N'ime ụlọ ọrụ semiconductor na-agbanwe ngwa ngwa, ịhọrọ nke ziri ezi onye na-ewepụ fotoresisist abụghịzi naanị mkpebi teknụzụ - ọ bụ atụmatụ dị mkpa. N'ihe karịrị afọ iri nke ahụmịhe na kemịkalụ ziri ezi yana mmekorita ya na ndị injinia fab zuru ụwa ọnụ, Yuanan na-enye ntụkwasị obi, nchekwa na arụmọrụ enweghị atụ.
Ma ị na-ejizi ihe mgbochi siri ike nke UV ma ọ bụ na-eme ihe fọdụrụ na EUV photoresist residues, a na-ewu usoro Yuanan dị elu iji merie ihe ịma aka ahụ. Gaa taa iji chọpụta otu anyị nwere ike isi kwalite usoro iwepụ gị - wee bulie mkpụrụ gị, arụmọrụ gị na akara ukwu gburugburu.
