በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የፎቶሪሲስት ስትሪፕ ኤጀንቶችን ሚና በመቆጣጠር

በማይክሮ ፋብሪካ ውስጥ የማስወገጃ ወኪሎች ወሳኝ ሚና

በሴሚኮንዳክተር እና ኤሌክትሮኒክስ ማምረቻ ዓለም ውስጥ ትክክለኛነት ለድርድር የማይቀርብ ነው። በዚህ የከፍተኛ ደረጃ ሂደት ውስጥ ካሉት በጣም ውስብስብ እርምጃዎች አንዱ ፎቶሊቶግራፊ ነው፣ ይህም በሲሊኮን ዋይፈር ላይ በአጉሊ መነጽር የሚታይ የወረዳ ንድፎችን ለመወሰን የፎቶሪሲስትን መተግበርን ያካትታል። ነገር ግን ኤቲች ወይም ion ተከላው ከተሰራ በኋላ ቀሪው የፎቶ ተከላካይ ሙሉ በሙሉ መወገድ አለበት. ይህ የት ነው የፎቶ ተከላካይ ገላጭ ወኪሎች በጣም አስፈላጊ ይሆናሉ።

ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የፎቶሪሲስት እርቃን ኤጀንት ንፁህ ንጣፎችን ያረጋግጣል፣ ብክለትን ይከላከላል እና የዋፈር ንጣፎችን ትክክለኛነት ይከላከላል። ውጤታማ የመንጠቅ መፍትሄ ከሌለ ጉድለቶች እና ቅሪቶች የመጨረሻውን ምርት ተግባር በተለይም በላቁ የመስቀለኛ ክፍል ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂዎች ላይ አደጋ ሊያደርሱ ይችላሉ።

ከዘመናዊ የማራገፍ ወኪሎች ጀርባ ቅንብር እና ኬሚስትሪ

ለተለያዩ መስፈርቶች የተበጁ ቀመሮች

ሁሉም የፎቶግራፍ መከላከያ ቁሳቁሶች የተፈጠሩት እኩል አይደሉም - እንዲሁም የማስወገጃ ወኪሎች አይደሉም። የተራቀቁ ቀመሮች አሚኖችን፣ ሃይድሮክሳይላይንን፣ መሟሟትን፣ ኬላቲንግ ኤጀንቶችን እና ዝገትን አጋቾችን ጨምሮ የተለያዩ ንቁ ኬሚካሎችን በማጣመር አፈፃፀሙን ከንዑስ ስትሬት ደህንነት ጋር ለማመጣጠን። የዩአናን የባለቤትነት መግፈፍ ወኪሎች፣ ለምሳሌ፣ የተፈጠሩት ለ፡-

• የተጠናከረ ወይም የተሻገሩ ተቃዋሚዎችን መፍታት ፣

• በአሉሚኒየም፣ በመዳብ እና በወርቅ ንብርብሮች ላይ የብረት ዝገትን ይቀንሱ፣

• እንደ ዝቅተኛ-ኬ ፊልሞች ካሉ ስሜታዊ ዳይኤሌክትሪክ ቁሳቁሶች ጋር ተኳሃኝነትን ያረጋግጡ።

አንዳንድ የማስወገጃ ወኪሎች በውሃ ላይ የተመሰረቱ ናቸው ፣ ሌሎች ደግሞ በሟሟ-ከባድ ቀመሮች ላይ ይተማመናሉ ፣ እንደ ተከላካይ ዓይነት እና እንደ መሰረታዊ ቁሳቁሶች። ብልሃቱ ምንም አይነት ionክ ወይም የብረት ቅሪት ሳይተው ሙሉ ለሙሉ የሚራገፍ ምርትን በማዘጋጀት ላይ ነው።

ትክክለኛውን የማስወገጃ ወኪል መምረጥ ለምን አስፈላጊ ነው።

የሂደቱ ተኳሃኝነት ቁልፍ ነው።

የተሳሳተ የፎቶ ተከላካይ የማስወገጃ እርምጃ ወደ አስከፊ ምርት ማጣት ሊያመራ ይችላል። ስለዚህ, ከተወሰኑ የኢትች ሂደቶች, የመትከል ደረጃዎች ወይም ዝቅተኛ-ኪ ቁሳቁሶች ጋር ተኳሃኝነት ወሳኝ ነው. የዩአናን መፍትሄዎች በተለያዩ ሰፊ የዋፈር ማምረቻ ደረጃዎች ላይ ተኳሃኝነትን ለማግኘት በሰፊው ተፈትነዋል - ከባህላዊ የCMOS መስመሮች እስከ ኢዩቪ ሊቶግራፊ ድረስ።

የላቀነትን የሚወስኑ የአፈጻጸም መለኪያዎች

ምርጥ የፎቶ ተከላካይ ገላጭ ወኪሎች በበርካታ ቦታዎች ላይ በብርቱ ይሰራሉ.

• የማስወገጃ ቅልጥፍና : በጥልቅ የተጠናከረ ጭረቶች በፍጥነት ይቋቋማሉ.

• የቁሳቁስ ምርጫ ፡ ከስር ያሉ ፊልሞችን ሳይበላሹ ያስቀምጣል።

• የገጽታ ንጽህና ፡- የብረት መልሶ መፈጠርን እና ቀሪዎችን መፍጠርን ይከላከላል።

• የሙቀት መረጋጋት : በተለያዩ የሂደት ሙቀቶች ይከናወናል.

• የአካባቢ ተገዢነት ፡ ዝቅተኛ ቪኦሲዎች እና ቢቻል ሊበላሹ የሚችሉ ቀመሮች።

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ያሉ ቁልፍ መተግበሪያዎች

ከሎጂክ ቺፕስ እና የማስታወሻ መሳሪያዎች እስከ MEMS እና ድብልቅ ሴሚኮንዳክተሮች ፣ የፎቶ ተከላካይ ገላጭ ወኪሎች ወሳኝ ሚናዎችን ያገለግላሉ። የእነሱ አጠቃቀም በአንድ የሊቶግራፊ ደረጃ ላይ ብቻ የተገደበ አይደለም. ከሚከተሉት በኋላ ይተገበራሉ፦

• ion መትከል (መቃወም ከፍተኛ ካርቦንዳይዝድ በሚሆንበት ጊዜ)

• የፕላዝማ ማሳከክ (ወደ የጎን ግድግዳ ማጠንከሪያ ሊያመራ ይችላል)

• ድርብ ዴማስሴን ሂደቶች (የዳይኤሌክትሪክ ክምችቶችን ሳያስጨንቁ መራጭ መወገድን ይጠይቃል)።

በላቁ ማሸጊያዎች፣በተለይ የደጋፊ-ውጭ ዋፈር-ደረጃ ማሸጊያ (FOWLP)፣ የራቁት ኬሚስትሪ እጅግ በጣም ቀጫጭን ዋይፋሮችን እና ከፍተኛ-ጥቅጥቅ ያሉ ድጋሚ ማከፋፈያ ንብርብሮችን መጠበቅ አለበት። ዩአን ለእነዚህ ዘመናዊ ተግዳሮቶች በተለይ የተስተካከሉ ቀመሮችን አዘጋጅቷል።

በ Photoresist Stripping ውስጥ ያሉ የተለመዱ ተግዳሮቶች - እና እነሱን እንዴት ማሸነፍ እንደሚቻል

በላቁ ኖዶች ውስጥ ያሉ ቀሪ ችግሮች

የመሳሪያው ጂኦሜትሪ ከ 5nm በታች እየቀነሰ ሲሄድ የሚከላከሉ ፊልሞች ቀጭን ይሆናሉ ነገር ግን በኬሚስትሪ ውስጥ ይበልጥ ውስብስብ ይሆናሉ፣ ብዙ ጊዜ በፕላዝማ መጋለጥ ምክንያት እየጠነከረ ይሄዳል። እነዚህ ለውጦች ተለምዷዊ አሟሚዎች ዝቅተኛ አፈፃፀም እንዲኖራቸው ሊያደርግ ይችላል. የዩአናን ከፍተኛ እንቅስቃሴ ወኪሎች እነዚህን ቅሪቶች ዒላማ የሚያደርጉት ባለሁለት-እርምጃ ዘዴ - ማበጥ እና መሟሟት - ከዚያም በደንብ መታጠብ።

ዝገት እና የቁሳቁስ መበስበስ

የማስወገጃ ወኪሎች እንደ መዳብ ወይም አሉሚኒየም ያሉ ብረቶችን ሊጎዱ ይችላሉ። ኃይለኛ አሚኖች ወይም ጠንካራ አሲዶች የያዙ የዩዋንን ዝገት-የተከለከሉ ቀመሮች የኤሌክትሪክ አፈጻጸምን እና የገጽታ እቅድን ለመጠበቅ የሚረዱ በተራዘሙ የሶክ ሁኔታዎች ውስጥ እንኳን ሚስጥራዊነት ያላቸውን ንብርብሮች ይጠብቃሉ።

የፍጆታ እና ወጪ ቆጣቢነት

ሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች ከፍ ያለ ግብአት ለማግኘት በማለም፣ ባች እና ነጠላ-wafer እርጥብ ወንበሮች ማመቻቸት አለባቸው። የዩአናን መፍትሔዎች ፈጣን የማስወገጃ ጊዜዎችን ያሳያሉ፣ የሶክ ቆይታዎችን ይቀንሳሉ እና ፋብሶች ጥራቱን ሳይጎዳ ከፍተኛ መጠን ያለው ምርት እንዲጠብቁ ያስችላቸዋል።

እርጥብ ማራገፍ ከፕላዝማ አመድ ጋር፡ ስልታዊ ምርጫ

ደረቅ ፕላዝማ አመድ ማስወገድን ለመቋቋም የሚረዳ ሌላ ዘዴ ቢሆንም, ብዙውን ጊዜ በጠንካራ የተጋገሩ ወይም በተተከሉ ጠንካራ ፊልሞች ይወድቃል. ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን ወኪሎች በመጠቀም እርጥብ ኬሚካላዊ ማራገፍ በ Yuanan የተሰራ ነው፡-

• ለወፍራም ወይም ለተሻገሩ ንብርብሮች የበለጠ ቀልጣፋ

• በዝቅተኛ-k ወይም ባለ ቀዳዳ ንጣፎች ላይ ያነሰ ጉዳት

• በከፍተኛ ምጥጥነ ገፅታዎች ውስጥ ቅሪቶችን በማጽዳት የተሻለ

ብዙ ፋብሎች ድቅልቅ ዘዴን ይቀበላሉ፡ የመጀመርያው የፕላዝማ አመድ አመድ ተከትሎ እርጥብ ስትሪፕ ሲሆን ይህም በትንሹ የቁስ ጉዳት አጠቃላይ መወገድን ያረጋግጣል።

ማጠቃለያ

በፍጥነት በማደግ ላይ ባለው ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ትክክለኛውን መምረጥ የፎቶ ተከላካይ ገላጭ ወኪል ቴክኒካዊ ውሳኔ ብቻ አይደለም - ስልታዊ ነው። ከአስር አመታት በላይ በትክክለኛ ኬሚስትሪ ልምድ ያለው እና በአለም ዙሪያ ካሉ ከፋብ መሐንዲሶች ጋር በቅርበት በመተባበር ዩዋንን ወደር የለሽ አስተማማኝነት፣ ደህንነት እና አፈጻጸም ያቀርባል።

ጥልቅ የአልትራቫዮሌት ጠንከር ያሉ ተከላካይዎችን እየተያያዙም ይሁኑ የቀጣይ-gen EUV photoresist ተረፈዎችን እየታገሉ የዩአናን የላቁ ቀመሮች ተግዳሮቱን ለመቋቋም የተገነቡ ናቸው። የእርስዎን የመቋቋም የማስወገድ ሂደት እንዴት እንደምናሻሽል ለመዳሰስ ዛሬ ያግኙ - እና ምርትዎን፣ አፈጻጸምዎን እና የአካባቢ አሻራዎን ከፍ ማድረግ።