Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд фоторезист тайрах бодисын үүргийг эзэмших

Бичил үйлдвэрлэлд хөрс хуулалтын бодисын чухал үүрэг

Хагас дамжуулагч болон электроникийн үйлдвэрлэлийн ертөнцөд нарийвчлалыг тохиролцох боломжгүй юм. Энэхүү өндөр эрсдэлтэй үйл явцын хамгийн нарийн төвөгтэй алхмуудын нэг бол цахиур хавтан дээрх микроскопийн хэлхээний хэв маягийг тодорхойлохын тулд фоторезистийг ашигладаг фотолитографи юм. Гэхдээ сийлбэр эсвэл ион суулгацыг хийсний дараа үлдэгдэл фоторезистийг бүрэн арилгах ёстой. Энэ бол хаана байна Фоторезист хөрс хуулалт нь зайлшгүй шаардлагатай болдог.

Өндөр хүчин чадалтай фоторезист хөрс хуулалт нь гадаргууг цэвэр байлгаж, бохирдлоос сэргийлж, вафель хавтангийн бүрэн бүтэн байдлыг хамгаална. Үр дүнтэй хөрс хуулалтын шийдэлгүй бол согог, үлдэгдэл нь эцсийн бүтээгдэхүүний үйл ажиллагаанд, ялангуяа зангилааны хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт технологид сөргөөр нөлөөлж болзошгүй.

Орчин үеийн хөрс хуулалтын ардын найрлага ба хими

Төрөл бүрийн шаардлагад тохирсон найрлага

Бүх фоторезист материалууд нь адилхан бүтээгдсэн биш бөгөөд хөрс хуулалтын бодисууд ч адил биш юм. Дэвшилтэт найрлага нь субстратын аюулгүй байдлыг тэнцвэржүүлэхийн тулд амин, гидроксиламин, уусгагч, хелат бодис, зэврэлтийг дарангуйлагч зэрэг олон төрлийн идэвхтэй химийн бодисуудыг нэгтгэдэг. Жишээлбэл, Юанань компанийн эзэмшдэг хөрс хуулалтын агентууд нь:

• хатуурсан эсвэл хөндлөн холбосон эсэргүүцлийг уусгах,

• Хөнгөн цагаан, зэс, алтны давхаргад металлын зэврэлтийг багасгах,

• Low-k хальс зэрэг мэдрэмтгий диэлектрик материалтай нийцэж байгаа эсэхийг шалгаарай.

Зарим хөрс хуулалт нь усан суурьтай байдаг бол зарим нь эсэргүүцлийн төрөл болон үндсэн материалаас хамааран уусгагч ихтэй томъёонд тулгуурладаг. Ард нь ямар ч ион болон металлын үлдэгдэл үлдээхгүй, бүрмөсөн хальслах бүтээгдэхүүн гаргахад гол арга байдаг.

Хөрс тайлах бодисыг зөв сонгох нь яагаад чухал вэ?

Процессын нийцтэй байдал нь гол зүйл юм

Буруу тохируулаагүй фоторезистийг арилгах алхам нь ургацын алдагдалд хүргэж болзошгүй юм. Тиймээс сийлбэрийн тодорхой процессууд, суулгацын үе шатууд эсвэл бага k материалтай нийцтэй байх нь чухал юм. Юананы шийдлүүд нь уламжлалт CMOS шугамаас эхлээд хамгийн сүүлийн үеийн EUV литограф хүртэл өргөн цар хүрээтэй хавтанцар үйлдвэрлэх үе шатанд нийцэж байгаа эсэхийг сайтар туршиж үздэг.

Шилдэг байдлыг тодорхойлдог гүйцэтгэлийн хэмжүүрүүд

Хамгийн шилдэг нь Фоторезист хөрс хуулалт нь хэд хэдэн чиглэлээр хүчтэй ажилладаг:

• Арилгах үр ашиг : Гүн хатуурсан тууз нь ч хурдан эсэргүүцдэг.

• Материал сонгох чадвар : Доод талын хальсыг хэвээр үлдээнэ.

• Гадаргуугийн цэвэр байдал : Металл дахин хуримтлагдах, үлдэгдэл үүсэхээс сэргийлнэ.

• Дулааны тогтвортой байдал : Янз бүрийн процессын температурт ажилладаг.

• Байгаль орчны нийцэл : Боломжтой бол VOC бага, биологийн задралд ордог найрлага.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн гол хэрэглээ

Логик чип, санах ойн төхөөрөмжөөс эхлээд MEMS болон нийлмэл хагас дамжуулагч хүртэл, Фоторезист хөрс хуулалт нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Тэдний хэрэглээ нь зөвхөн литографийн үе шатанд хязгаарлагдахгүй. Тэдгээрийг дараах дараа хэрэглэнэ:

• Ион суулгац (эсэргүүцэл нь маш их нүүрстөрөгчжих үед),

• Плазмын сийлбэр (энэ нь хажуугийн ханыг хатууруулахад хүргэдэг),

• Дамаскийн давхар процессууд (диэлектрик яндануудыг хөндөхгүйгээр сонгон зайлуулах шаардлагатай).

Дэвшилтэт сав баглаа боодол, ялангуяа сэнстэй вафель түвшний савлагааны (FOWLP) хөрс хуулалтын хими нь хэт нимгэн ялтсууд болон өндөр нягтралтай дахин хуваарилах давхаргыг хамгаалах ёстой. Юанан орчин үеийн эдгээр сорилтод тусгайлан тохируулсан томъёог боловсруулсан.

Фоторезист тайрахад тохиолддог нийтлэг бэрхшээлүүд ба тэдгээрийг хэрхэн даван туулах вэ

Нарийвчилсан зангилаа дахь үлдэгдэлтэй холбоотой асуудлууд

Төхөөрөмжийн геометрийн хэмжээ 5 нм-ээс багасах тусам эсэргүүцэх хальс нь нимгэн боловч химийн хувьд илүү төвөгтэй болж, ихэвчлэн плазмын нөлөөллөөс болж хатуурдаг. Эдгээр өөрчлөлтүүд нь уламжлалт уусгагчийг хангалтгүй ажиллуулахад хүргэдэг. Юананийн өндөр идэвхтэй бодисууд нь эдгээр үлдэгдлийг хавдах, уусгах гэсэн давхар үйлдэлтэй механизмаар чиглүүлж, дараа нь сайтар зайлж угаана.

Зэврэлт ба материалын доройтол

хөрс хуулалт нь зэс, хөнгөн цагаан зэрэг металлыг гэмтээж болно. Түрэмгий амин эсвэл хүчтэй хүчил агуулсан Юананы зэврэлтээс хамгаалсан найрлага нь удаан нэвт норгох нөхцөлд ч эмзэг давхаргыг хадгалж, цахилгааны гүйцэтгэл болон гадаргуугийн тэгш байдлыг хадгалахад тусалдаг.

Дамжуулах чадвар ба зардлын үр ашиг

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд илүү өндөр хүчин чадалтай тул багц болон нэг ширхэгтэй нойтон вандан сандлуудыг оновчтой болгох шаардлагатай. Юананы шийдлүүд нь хурдан арилгах, шингээх хугацааг богиносгож, үйлдвэрүүдэд чанарыг алдагдуулахгүйгээр өндөр эзэлхүүнтэй бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх боломжийг олгодог.

Нойтон хөрс хуулалт, плазмын үнсжилтийн эсрэг: Стратегийн сонголт

Хуурай сийвэнг үнсэх нь арилгахын тулд өөр нэг арга боловч хатуу шатаасан эсвэл суулгацаар хатууруулсан хальсанд хангалтгүй байдаг. Юананы боловсруулсан өндөр хүчин чадалтай бодис ашиглан нойтон химийн хөрс хуулалт нь:

• Зузаан эсвэл хөндлөн холбоос бүхий давхаргын хувьд илүү үр дүнтэй

• Мэдрэмтгий бага-k эсвэл сүвэрхэг субстратыг гэмтээх нь бага

• Өндөр харьцаатай шинж чанаруудын үлдэгдлийг цэвэрлэхэд илүү сайн

Олон үйлдвэрүүд эрлийз аргыг ашигладаг: эхний плазмыг үнсэж, дараа нь нойтон туузаар бүрхэж, материаллаг хохирол багатай бүрэн арилгана.

Дүгнэлт

Хурдтай хөгжиж буй хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд зөвийг сонгох Фоторезист хөрс хуулалт нь зөвхөн техникийн шийдвэр байхаа больсон бөгөөд энэ нь стратегийн чухал шийдвэр юм. Нарийвчлалтай химийн чиглэлээр арав гаруй жилийн туршлагатай, дэлхийн өнцөг булан бүрт байгаа шилдэг инженерүүдтэй нягт хамтран ажилладаг Юанан нь найдвартай, аюулгүй байдал, гүйцэтгэлийг хангадаг.

Та хэт ягаан туяаны гүнд хатуурсан эсэргүүцэлтэй ажиллаж байгаа эсвэл дараагийн үеийн EUV фоторезистийн үлдэгдэлтэй тэмцэж байгаа эсэхээс үл хамааран Юананы дэвшилтэт найрлага нь сорилтыг даван туулахын тулд бүтээгдсэн. Бид таны эсэргүүцлийг арилгах үйл явцыг хэрхэн оновчтой болгож, таны ургац, гүйцэтгэл, байгаль орчны ул мөрийг нэмэгдүүлэх талаар судлахын тулд өнөөдөр холбогдоорой.