Ọjọ iwaju ti iṣelọpọ Semiconductor: Iṣeyọri pipe-aiṣedeede odo pẹlu Awọn omi Ige Ilọsiwaju ti ko ni ibajẹ

Ilẹ-ilẹ semikondokito agbaye n gba iyipada ti a ko ri tẹlẹ, ti a tan nipasẹ ibeere ailopin fun kere, yiyara, ati awọn ẹrọ itanna ti o lagbara diẹ sii. Lati iṣiro iṣẹ-giga (HPC) ati awọn amayederun oye atọwọda (AI) si ẹrọ itanna eleto to ti ni ilọsiwaju ati awọn nẹtiwọọki 5G, idojukọ ile-iṣẹ ti yipada si awọn ohun elo eka, awọn sobusitireti tinrin, ati dinku awọn iwọn ẹya. Itankalẹ yii n gbe titẹ nla si gbogbo ipele ti ilana iṣelọpọ, pataki dicing wafer ati slicing, nibiti a ti ṣe iwọn deede ni microns ati iduroṣinṣin ohun elo jẹ pataki julọ.

Awọn fifa gige ti aṣa, nigbagbogbo ti o ni awọn kemikali simi tabi aini igbona iṣapeye ati awọn ohun-ini lubrication, ko ṣe deedee fun awọn ibeere gige-eti wọnyi. Wọn ṣe ewu ibajẹ ohun elo to ṣe pataki, pipadanu kerf ti o pọ si, ati ibajẹ ti o lagbara, titumọ taara si ikore ti o dinku ati awọn idiyele iṣẹ ṣiṣe ti ọrun. Ti nkọju si ipenija ipilẹ yii nilo ojutu kemikali amọja ti a ṣe ni pataki fun awọn ibeere deede ti awọn sobusitireti wafer ode oni. Omi gige pipe ti ko ni ibajẹ wa duro fun ẹhin kẹmika ti o ṣe pataki fun iyọrisi awọn solusan dicing wafer-giga ti ile-iṣẹ nilo bayi. Iwe-ipamọ yii ṣawari awọn ifosiwewe to ṣe pataki ti n ṣe ifilọlẹ isọdọmọ ti awọn kemistri amọja ti kii ṣe ibajẹ ati ṣe alaye awọn anfani ọtọtọ ti agbekalẹ wa nfunni si awọn aṣelọpọ semikondokito nla ati awọn aṣelọpọ paati.

Ilana Tuntun ni Ṣiṣeto Wafer: Itọkasi ati Iwa-mimọ fun Awọn ohun elo Next-Gen

Itọpa lọwọlọwọ ti imọ-ẹrọ semikondokito jẹ asọye nipasẹ awọn ifosiwewe pataki meji: jiometirika idinku ti ohun alumọni (Si) wafers ati iṣowo iyara ti awọn ohun elo Wide Bandgap (WBG) bii Silicon Carbide (SiC) ati Gallium Nitride (GaN). Awọn ohun elo wọnyi ṣe pataki fun agbara-giga, awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga, ṣugbọn líle atorunwa wọn, brittleness, ati ifamọ jẹ ki iṣelọpọ ẹrọ wọn jẹ nija pataki.

Lilọ kiri awọn italaya ti Awọn sobusitireti Wide Bandgap (WBG).

SiC ati awọn wafers GaN le ni pataki ju ohun alumọni ibile lọ, nilo iwulo awọn aye gige ibinu diẹ sii ati ṣiṣẹda awọn ẹru igbona giga. Omi gige mora nigbagbogbo kuna lati pese lubrication ala to labẹ titẹ giga wọnyi, awọn ipo iwọn otutu giga, ti o yori si yiya ọpa ti o pọ ju ati ikuna ohun elo ajalu, bii macro-cracking ati chipping eti.

Ilana ti ohun-ini wa ni a ṣe ni pataki pẹlu imọ-ẹrọ itutu semikondokito ti ilọsiwaju ti o wọ inu wiwo abrasive ni imunadoko. Eyi ṣe idaniloju gbigbe igbona to dara julọ kuro ni opopona dicing, idinku mọnamọna gbona — idi pataki ti awọn abawọn ninu awọn ohun elo WBG brittle. Pẹlupẹlu, ito naa ṣetọju agbara fiimu alailẹgbẹ, idinku olùsọdipúpọ frictional laarin abẹfẹlẹ diamond ati sobusitireti, nitorinaa irọrun mimọ, awọn gige didan nipasẹ paapaa awọn ẹya gara lile ti o nira julọ. Eyi ngbanilaaye awọn aṣelọpọ lati mu iṣelọpọ pọ si lakoko mimu iduroṣinṣin ti awọn sobusitireti iye-giga wọnyi, ifosiwewe bọtini ni imudarasi ṣiṣe gbogbogbo ti sisẹ wafer silikoni carbide.

Dinku Ipadanu Kerf ati Ibajẹ Ilẹ-Ida-ilẹ (SSD)

Ni iṣelọpọ iwọn-giga, ṣiṣeeṣe eto-aje ti ilana kan nigbagbogbo ni ipinnu nipasẹ idinku kerf (ohun elo ti a yọ kuro nipasẹ gige) ati imukuro ti ibajẹ abẹ-ilẹ (SSD). SSD, eyiti o pẹlu awọn dojuijako-kekere ati awọn idalọwọduro latintice ohun elo labẹ dada ti o han, le ni ipa lori iṣẹ ṣiṣe itanna ati agbara ẹrọ ti abajade ti o ku.

Imudara ti ito wa wa ni rirẹ fafa ati awọn agbara idadoro patiku. Nipa didasilẹ ẹdọfu dada ni agbara, omi naa ṣe idaniloju olubasọrọ pipe kọja oju gige, ni iyara ṣan kuro ni ohun elo abrasive (awọn itanran ohun alumọni, idoti) lati agbegbe olubasọrọ. Yiyọ idoti ti o yara ati lilo daradara ṣe idilọwọ awọn patikulu ti o fa fifalẹ elekeji ati pe o pọ si wahala lori ohun elo wafer, taara ti o yori si SSD. Abajade jẹ idinku pataki iṣiro ni iwọn kerf mejeeji ati ijinle ibaje, ti o yori si ku ti o ga julọ fun wafer ati ikore ti o pọju. Fun awọn oye imọ-ẹrọ diẹ sii lori idinku ibajẹ, jọwọ tọka si itọsọna iyasọtọ wa loriSemikondokito Dicing imuposi.

Ilọkuro Ibajẹ: Pataki fun Awọn Sobusitireti Iye-giga

Iyatọ ti o ga julọ ati ẹya pataki ti ọja wa- mimọ giga-mimọ ti kii-ibajẹ omi dicing — koju apaniyan ipalọlọ ni iṣelọpọ semikondokito: ipata kemikali ati idoti. Awọn wafer ti ode oni ni awọn ẹya ti o ni ilopọ pupọ sii, pẹlu awọn fẹlẹfẹlẹ irin ti o ni itara pupọ (fun apẹẹrẹ, aluminiomu, bàbà) ati awọn oxides idabobo. Ifihan si awọn fifa pẹlu awọn ipele pH ti ko tọ tabi awọn contaminants ionic ti o ku le etch awọn ipele wọnyi, ti o yori si ikuna ẹrọ, awọn iyika kukuru, tabi awọn ọran igbẹkẹle ti o farahan lẹhin apejọ nikan.

Idaabobo Awọn Layer Metallization Sensitive

Lakoko ti iṣe adaṣe ti gige jẹ pataki, agbegbe kemikali lakoko ati lẹsẹkẹsẹ lẹhin ilana naa jẹ pataki kanna. Ilana wa ti wa ni itọju ni lile ni pH aitọ-isunmọ (paapaa pH 6, iṣapeye fun ailewu wafer), ṣe iṣeduro ibamu pipe pẹlu gbogbo awọn fẹlẹfẹlẹ metallization ti o wọpọ ati awọn ohun elo resisist. Ko dabi ipilẹ kekere tabi awọn itutu ele ekikan, eyiti o le kọlu awọn paadi mnu tabi irẹwẹsi awọn ipele idabobo ni akoko pupọ, omi wa ṣe itọju iduroṣinṣin kemikali ti gbogbo dada wafer. Kemistri ti kii ṣe ibinu yii ṣe pataki fun slicing ultra-precision ti awọn sobusitireti to ti ni ilọsiwaju , nibiti paapaa ibaraenisepo kemikali pọọku le ba ẹrọ naa jẹ.

Aridaju Iwa mimọ lẹhin-Processing ati Awọn oju-ọfẹ Ọfẹ

Ọkan ninu awọn efori pataki fun awọn onimọ-ẹrọ ilana jẹ ṣiṣakoso iyokù. Gige awọn fifa ti o fi sile awọn fiimu Organic, awọn iṣẹku ionic, tabi awọn ohun idogo alalepo nilo awọn igbesẹ mimọ lẹhin-dicing. Isọdi ti ko pe le ba awọn ilana ti o tẹle, gẹgẹbi isopọpọ waya tabi apoti.

Omi ailabajẹ wa jẹ apẹrẹ fun iṣẹ ṣiṣe itutu-iyẹfun bibẹ ti o ku kekere . Ipilẹṣẹ rẹ da lori mimọ-giga, awọn paati ti o ni irọrun tiotuka ti o jẹ iduroṣinṣin ti ara ati ti kii ṣe fiimu. Eto Surfactant alailẹgbẹ ṣe idaniloju rirọ ti o dara julọ ṣugbọn o tun ṣe apẹrẹ lati wa ni irọrun ati ni irọrun kuro pẹlu awọn iwẹ omi deionized boṣewa (DI), idinku iwulo fun isọdọmọ ti o da lori agbara ibinu ati idinku ifẹsẹtẹ kemikali gbogbogbo ti laini iṣelọpọ. Ilana isọdọtun yii n ṣafipamọ akoko, dinku agbara kemikali, ati, pataki julọ, imukuro eewu ti awọn abawọn ti o fa aloku ti o le dinku ikore ọja ikẹhin ni iyalẹnu.

Iwakọ Iwakọ Ilọsiwaju ati iṣelọpọ Alagbero

Ni oni ga ifigagbaga ile ise ayika, awọn wun ti gige ito pan kọja lasan imọ iṣẹ; o jẹ ipinnu ọrọ-aje ati ayika. Awọn olupilẹṣẹ n wa awọn ojutu ti o dinku idiyele lapapọ ti nini (TCO) lakoko ti o ni ibamu pẹlu awọn ilana ayika ti o muna pupọ si.

Igbesi aye Ọpa Imudara ati Dinku Downtime

Awọn abẹfẹlẹ dicing Diamond ati awọn ayùn waya ṣe aṣoju idoko-owo olu pataki ati rirọpo wọn jẹ inawo iṣẹ ṣiṣe akude. Gigun gigun ti awọn irinṣẹ wọnyi jẹ ibatan taara si iṣẹ ṣiṣe ti omi gige. Lubricity ti o ga julọ ati iṣakoso igbona ti a pese nipasẹ ito wa taara dinku alapapo agbegbe ati yiya frictional ti o ni iriri nipasẹ ohun elo gige.

Nipa imunadoko ipa naa ni imunadoko ati itusilẹ ooru ni iyara, ito gige lubricating wa fun awọn wafers ohun alumọni fa igbesi aye iṣẹ ṣiṣe ti awọn abẹfẹlẹ diamond gbowolori ati awọn onirin, nigbakan nipasẹ bii 20% ni akawe si awọn kemistri ti aṣa. Igbesi aye ọpa gigun tumọ si awọn iyipada loorekoore ti o dinku, akoko isọdọtun, dinku awọn idiyele akojo ohun elo, ati ni itara, pọsi akoko ẹrọ ati iṣelọpọ. Idojukọ yii lori jijẹ ṣiṣe ohun elo jẹ awakọ akọkọ fun awọn alabara pataki ti n wa igbẹkẹle ati iye owo-doko mimu iṣelọpọ iṣelọpọ semikondokito pẹlu awọn kemikali pataki..

Anfani ti Eco-Friendly, Biodegradable Formulations

Awọn aṣa ile-iṣẹ, ni pataki ni Yuroopu ati Esia, paṣẹ fun lilo awọn kemikali ti o dinku ipa ayika. Awọn itutu ibilẹ le ṣe awọn italaya isọnu pataki nitori ifisi awọn paati eewu. Awọn aṣaju omi wa ṣe atilẹyin ibeere ode oni nipa jijẹ ito mimu wafer ore-aye ti o jẹ ibajẹ ni imurasilẹ.

Ifaramo yii si kemistri alawọ ewe tumọ si pe omi ti o lo, ni kete ti awọn itanran ohun alumọni ti daduro ti daduro jade, rọrun ati pe ko gbowolori lati tọju ati sisọnu, irọrun ni pataki awọn ilana iṣakoso egbin. Ifaramo yii kii ṣe idaniloju ibamu pẹlu awọn iṣedede ayika, ilera, ati ailewu (EHS) ṣugbọn tun mu profaili ojuṣe ti awọn alabara pọ si, pese anfani ifigagbaga ojulowo ni awọn ọja mimọ ayika. Fun awọn alaye lori data ailewu wa ati awọn iwe-ẹri alawọ ewe, jọwọ ṣabẹwo si waIle-iṣẹ Alaye Iduroṣinṣin.

Ilọju Imọ-ẹrọ ti Ilana Ohun-ini Wa

Omi gige ti kii-ibajẹ wa, ipari ti awọn ọdun ti imọ-ẹrọ imọ-ẹrọ kemikali, n funni ni suite ti awọn ohun-ini amuṣiṣẹpọ ti o yanju awọn iṣoro pupọ ti iṣelọpọ wafer ode oni. Awọn agbekalẹ jẹ idapọ sintetiki ti o ga julọ, laisi awọn epo ti o wa ni erupe ile, chlorine, ati awọn nitrites, ni idaniloju ailewu ati agbegbe iṣẹ mimọ.

Iṣapejuwe Isakoso Gbona ati Idaduro Awọn itanran

Iṣẹ akọkọ ti itutu agbaiye jẹ itusilẹ ooru. Omi wa n ṣogo ooru kan pato ati profaili ifaramọ iwọn otutu ti iṣapeye fun itutu agbaiye iyara, aridaju iwọn otutu ti agbegbe gige jẹ iduroṣinṣin, eyiti o ṣe pataki fun idilọwọ ibajẹ crystallization ati abuku igbona ti o kọlu awọn wafers-tinrin.

Ni ikọja itutu agbaiye, agbekalẹ naa tayọ ni pipinka patiku. Lilo iṣẹ-giga, ti kii-ionic surfactants, ito n ṣetọju ohun alumọni ati awọn itanran seramiki ni idaduro iduro. Eyi ṣe idilọwọ isọdọtun ati agglomeration laarin eto kaakiri ohun elo, aabo awọn ifasoke ati awọn nozzles lati wọ ati aridaju ṣiṣan omi isokan nigbagbogbo si aaye ti ge. Isọye ati iduroṣinṣin ti ito ti fomi wa ga paapaa labẹ lilo wuwo, ni idaniloju pe omi yiyọ ohun alumọni lulú ninu eto gige wafer nigbagbogbo n ṣiṣẹ ni ṣiṣe to ga julọ. Eyi ṣe iṣeduro pe ilana rẹ wa ni iduroṣinṣin, asọtẹlẹ, ati ikore giga nigbagbogbo.

---

Awọn ibeere ti ile-iṣẹ semikondokito han gbangba: konge giga, awọn abawọn odo, ati awọn iṣẹ alagbero. Iṣeyọri awọn ipilẹ wọnyi nilo gbigbe kọja igba atijọ, awọn itutu agbaiye gbogbogbo ati gbigba amọja, awọn kemistri ti ko ni ibajẹ. Omi Ige Ige Ipese wa ti kii ṣe ibajẹ fun awọn wafers kii ṣe kemikali lasan; o jẹ oluṣe ilana ti a ṣe ni oye, ti a ṣe apẹrẹ lati mu ikore rẹ pọ si, daabobo awọn sobusitireti iye-giga rẹ, ati dinku idiyele lapapọ ti iṣelọpọ ni akoko ti SiC, GaN, ati akopọ 3D. A pese igbẹkẹle ati eti imọ-ẹrọ pataki fun aṣeyọri ilọsiwaju rẹ ni ọja ti nlọsiwaju ni iyara.

Alabaṣepọ pẹlu Wa fun Ilọsiwaju iṣelọpọ

Gẹgẹbi oludari ninu awọn kemikali itanna pataki, a loye pe igbẹkẹle ati aitasera jẹ pataki julọ. A nfunni ni atilẹyin imọ-ẹrọ okeerẹ, itọsọna ohun elo ti a ṣe adani, ati awọn ojutu ipese olopobobo ti a ṣe deede si iwọn awọn iwulo iṣelọpọ rẹ. Gbe dicing rẹ ati ilana slicing rẹ si ipele atẹle ti konge ati ikore.

Lati jiroro lori awọn italaya iṣelọpọ pato rẹ, beere fun apẹẹrẹ, tabi ṣeto ijumọsọrọ imọ-ẹrọ alaye, jọwọ kan si ẹgbẹ tita iyasọtọ wa loni. A ti pinnu lati jẹ alabaṣepọ rẹ ni iyọrisi ilọsiwaju semikondokito.