Okirikiri semiconductor zuru ụwa ọnụ na-enwe mgbanwe a na-enwetụbeghị ụdị ya, kpalitere site n'ịchọ ngwa ngwa eletrọnịkị dị nta, ngwa ngwa na ike karịa. Site na kọmpụta arụmọrụ dị elu (HPC) na akụrụngwa ọgụgụ isi (AI) gaa na ngwa elektrọnịkị ụgbọ ala dị elu na netwọkụ 5G, ụlọ ọrụ ahụ lekwasịrị anya n'ihe dị mgbagwoju anya, ihe ndị dị oke mkpa ma belata nha njirimara. Evolushọn a na-etinye nnukwu nrụgide n'ọkwa ọ bụla nke usoro nrụpụta, ọkachasị wafer dicing na slicing, ebe a na-atụle nkenke na microns yana iguzosi ike n'ezi ihe ihe kacha mkpa.
Mmiri mmiri ọdịnaala, nke na-enwekarị kemịkalụ siri ike ma ọ bụ enweghị ezigbo ọkụ na mmanu mmanu, ezukwaghị maka ihe ndị a na-achọsi ike. Ha na-etinye ihe ize ndụ mmebi ihe dị oke egwu, mfu kerf na-abawanye, na mmetọ siri ike, na-atụgharị ozugbo na mbelata mkpụrụ osisi yana ọnụ ahịa ọrụ na-arị elu. Ịkwado ihe ịma aka a dị mkpa chọrọ ngwọta kemịkalụ pụrụ iche emebere ya kpọmkwem maka ihe achọrọ nke ngwa wafer ọgbara ọhụrụ. Mmiri mmiri anyị nke na-adịghị emebi emebi na-anọchi anya ọkpụkpụ azụ kemịkalụ dị mkpa maka ị nweta ngwọta dicing wafer dị elu nke ụlọ ọrụ chọrọ ugbu a. Akwụkwọ a na-enyocha ihe ndị dị oke mkpa na-eme ka nnabata nke kemịkalụ pụrụ iche na-adịghị emebi emebi ma kọwaa uru dị iche iche nke usoro anyị na-enye ndị na-emepụta semiconductor buru ibu na ndị na-emepụta akụrụngwa.
Paradigm ọhụrụ dị na nhazi Wafer: nkenke na ịdị ọcha maka ihe na-esote-Gen
Akọwapụtara ọnọdụ teknụzụ nke ugbu a nke teknụzụ semiconductor site na isi ihe abụọ: geometry na-ebelata nke silicon (Si) wafers na ngwa ahịa ngwa ngwa nke Wide Bandgap (WBG) dị ka Silicon Carbide (SiC) na Gallium Nitride (GaN). Ihe ndị a dị oké mkpa maka ngwa ike dị elu ma dị elu, mana isi ike ha, mgbakasị ahụ, na nghọta ha na-eme ka nhazi ọrụ ha bụrụ ihe ịma aka pụrụ iche.
Ịgagharị ihe ịma aka nke Ngwakọta Bandgap (WBG).
SiC na GaN wafers siri ike nke ukwuu karịa silicon ọdịnala, na-achọ ka mbelata oke ike na-ebunye ibu ọkụ dị elu. Mmiri mmiri a na-egbutukarị anaghị enye mmanye oke oke n'okpuru oke nrụgide ndị a, ọnọdụ okpomọkụ dị elu, na-eduga n'eyi oke ngwá ọrụ na ọdịda ihe dị egwu, dị ka nnukwu mgbawa na mgbawa ihu.
A na-eji teknụzụ dị elu nke semiconductor coolant rụpụtara ya nke ọma nke na-abanye na interface abrasive nke ọma. Nke a na-eme ka ọ dị mma na-ebufe ọkụ site n'okporo ụzọ dicing, na-ebelata ujo ọkụ-ihe bụ isi na-akpata ntụpọ dị na ngwa WBG na-emebi emebi. Ọzọkwa, mmiri mmiri ahụ na-ejigide ike ihe nkiri pụrụ iche, na-ebelata ọnụ ọgụgụ esemokwu dị n'etiti agụba diamond na mkpụrụ ahụ, si otú ahụ na-eme ka ọ dị ọcha, na-egbutu ihe dị nro site na ọbụna ụlọ kristal kacha sie ike. Nke a na-enye ndị na-emepụta ohere ịbawanye mmepụta ma na-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe ndị a dị oke ọnụ ahịa, bụ isi ihe na-eme ka arụmọrụ nke silicon carbide wafer na-arụ ọrụ zuru oke..
Mbelata mfu Kerf na mmebi dị n'okpuru ala (SSD)
N'ichepụta oke dị elu, a na-ekpebikarị ike akụ na ụba nke usoro site na mbelata kerf (ihe a na-ewepụ site na ịkpụ) na mkpochapụ nke mmebi sub-surface (SSD). SSD, nke gụnyere micro-cracks na ihe mgbochi lattice ihe dị n'okpuru elu a na-ahụ anya, nwere ike imetụta arụmọrụ eletrik na ike arụ ọrụ nke ọnwụ na-akpata.
Ịdị irè nke mmiri mmiri anyị dabeere na ya ọkaibe wetting na urughuru ike nkwusioru. Site n'ibelata esemokwu elu, mmiri ahụ na-eme ka kọntaktị zuru oke n'ofe ihu, na-ewepụ ngwa ngwa abrasive ihe (nri silicon, irighiri ihe) site na mpaghara kọntaktị. Mwepụ ihe mkpofu a dị ngwa na nke ọma na-egbochi “ntụgharịghachi ọnyà” nke ụmụ irighiri ihe na-eme ka mkpụkọ nke abụọ na-abawanye nrụgide na ihe wafer, na-eduga ozugbo na SSD. Nsonaazụ bụ mbelata dị ịrịba ama na ma obosara kerf na omimi mmebi, na-eduga na ọnwụ dị elu n'otu wafer na oke mkpụrụ. Maka nghọta teknụzụ ndị ọzọ gbasara ibelata mmebi, biko rụtụ aka na ntuziaka raara onwe anyị nye naUsoro Dicing Semiconductor.
Mbelata nrụrụ: Ihe dị mkpa maka ihe ndị dị oke ọnụ ahịa
Akụkụ kachasị dị egwu na nke dị oke egwu nke ngwaahịa anyị - mmiri dị ọcha na-adịghị emebi emebi - na-agwa onye na-egbu mmadụ nkịtị na nrụpụta semiconductor: corrosion kemịkalụ na mmetọ. Wafer nke oge a nwere ihe owuwu nwere ọtụtụ akwa dị mgbagwoju anya na-agbagwojuru anya, gụnyere ọkwa nchara nchara nke ukwuu (dịka ọmụmaatụ, aluminom, ọla kọpa) na oxides na-ekpuchi. Ngosipụta na mmiri nwere ọkwa pH na-ezighi ezi ma ọ bụ ihe mmetọ ionic fọdụrụnụ nwere ike ihichapụ ọkwa ndị a, na-eduga na ọdịda ngwaọrụ, obere sekit, ma ọ bụ okwu ntụkwasị obi nke na-apụta naanị mgbe mgbakọ gasịrị.
Na-echebe N'ígwé Ọkpụkpọ Metallization Sensitive
Ọ bụ ezie na ọrụ nke ịkpụcha ihe dị oké mkpa, gburugburu kemịkalụ n'oge na ozugbo usoro ahụ gasịrị dịkwa mkpa. A na-edobe usoro anyị nke ọma na pH na-anọpụ iche (nke a na-emekarị pH 6, nke kachasị maka nchekwa wafer), na-ekwe nkwa ndakọrịta zuru oke na ọkwa metallization niile na ihe ndị na-ese foto. N'adịghị ka obere alkaline ma ọ bụ ntụ oyi acid, nke nwere ike ịwakpo paịlị njikọ ma ọ bụ mee ka ihe mkpuchi kpuchie ka oge na-aga, mmiri mmiri anyị na-echekwa iguzosi ike n'ezi ihe nke elu wafer dum. Kemịl a na-adịghị eme ihe ike dị mkpa maka ịkpụcha ihe dị elu nke ọma , ebe ọbụlagodi obere mmekọrịta kemịkalụ nwere ike imebi ngwaọrụ ahụ.
Ịkwado ịdị ọcha mgbe emechara ya na ihu ndị na-enweghị ihe fọdụrụ
Otu n'ime isi isi ọwụwa maka ndị injinia usoro bụ ijikwa ihe fọdụrụ. Ịcha mmiri mmiri na-ahapụ n'azụ ihe nkiri organic, ionic residues, ma ọ bụ nkwụnye ego nnyapade chọrọ usoro nhicha dị ukwuu, dị oke ọnụ, na na-ewe oge mgbe emechara nri. Nhicha ezughị ezu nwere ike imebi usoro ndị na-esote, dị ka njikọ waya ma ọ bụ nkwakọ ngwaahịa.
Emebere mmiri mmiri anyị na-adịghị emebi emebi maka ịrụ ọrụ oyi na-ekpo ọkụ dị obere . Ihe mejupụtara ya na-adabere na ịdị ọcha dị elu, ngwa ngwa soluble ihe ndị dị n'ime ya na-eguzosi ike na ndị na-abụghị ihe nkiri. Sistemụ surfactant pụrụ iche na-eme ka mmiri dị oke mma mana emebere ya ka ọ bụrụ nke a na-asachapụ kpamkpam na ngwa ngwa site na ịsacha mmiri deionized (DI), na-ebelata mkpa maka nhichapụ ihe mgbaze na-eme ihe ike na-ebelata ma belata akara ukwu kemịkalụ nke ahịrị imepụta. Usoro ihicha nke a na-edobe anya na-azọpụta oge, na-ebelata oriri kemịkal, na, nke kachasị mkpa, na-ewepụ ihe ize ndụ nke ntụpọ ndị fọdụrụnụ na-akpata nke nwere ike iwetu ngwaahịa ikpeazụ n'ụzọ dị egwu.
Ịkwọ ụgbọ ala Ọkachamma na nrụpụta na-adịgide adịgide
Na gburugburu ụlọ ọrụ mmepụta ihe nke ukwuu asọmpi taa, nhọrọ nke ịcha mmiri na-agbatị karịa arụmọrụ teknụzụ; ọ bụ mkpebi akụ na ụba na gburugburu ebe obibi. Ndị na-emepụta ihe na-achọ ihe ngwọta na-ebelata mkpokọta ọnụ ahịa nke nwe (TCO) ka ha na-adaba na iwu gburugburu ụwa na-esiwanye ike.
Ịkwalite ndụ Ngwá Ọrụ na ibelata oge nkwụsị
Mpempe mgbawa diamond na nkwọ waya na-anọchite anya nnukwu ego ego na ndochi ha bụ nnukwu ego eji arụ ọrụ. Ogologo oge nke ngwaọrụ ndị a na-ejikọta ya na arụmọrụ nke mmiri ịkpụ. mmanu mmanu na njikwa okpomọkụ nke mmiri mmiri anyị na-enye na-ebelata ozugbo ikpo ọkụ na mgbakasị ahụ nke ngwaọrụ ịkpụ ahụ nwetara.
Site n'ịkwado mmetụta ahụ nke ọma na ikpochapụ ọkụ ngwa ngwa, mmiri ọkụ anyị na-egbu egbu maka silicon wafers na-agbatị ndụ ọrụ nke eriri diamond dị oke ọnụ na waya, mgbe ụfọdụ ihe ruru 20% ma e jiri ya tụnyere kemịkalụ ọdịnala. Ndụ ngwa ọrụ dị ogologo pụtara mgbanwe na-adị obere oge, obere oge nhazigharị, mbelata ọnụ ahịa ngwa ngwa, yana n'ụzọ siri ike, mmụba igwe na oge nrụpụta. Nke a na-elekwasị anya na ịbawanye arụmọrụ akụrụngwa bụ isi ọkwọ ụgbọ ala maka ndị isi ahịa na-achọ ndị a pụrụ ịdabere na ya na ọnụ ahịa na-ebuli mkpụrụ nke semiconductor na kemịkalụ pụrụ iche..
Uru nke Eco-Enyi na Enyi, Nhazi Mmebi
Usoro ụlọ ọrụ, ọkachasị na Europe na Eshia, nyere iwu ka eji kemịkalụ na-ebelata mmetụta gburugburu ebe obibi. Igwe oyi oyi ọdịnala nwere ike ibute nnukwu ihe ịma aka mkpofu n'ihi ntinye nke ihe ndị dị ize ndụ. Mmiri mmiri anyị na-akwado ihe ọgbara ọhụrụ a chọrọ site n'ịbụ mmiri na-edozi wafer nke na-adị ngwa ngwa.
Nkwenye a na kemistri akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ pụtara na mmiri a na-emefu, ozugbo ehichapụchara iwu silicon ndị a kwụsịtụrụ, na-adị mfe ma dị ọnụ ala karịa ịgwọ ma tụfuo ya, na-eme ka usoro nchịkwa mkpofu dị mfe. Nkwenye a abụghị naanị na-eme ka nrube isi na ụkpụrụ gburugburu ebe obibi, ahụike, na nchekwa (EHS) kamakwa na-akwalite profaịlụ ọrụ ụlọ ọrụ nke ndị ahịa anyị, na-enye uru asọmpi a na-ahụ anya na ahịa gburugburu ebe obibi. Maka nkọwa gbasara data nchekwa anyị yana asambodo akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ, biko gaa na nke anyịOgige Ozi Nkwado.
Ọkachamara nka nka nke nhazi ihe onwunwe anyị
Mmiri mmiri anyị na-adịghị emebi emebi, njedebe nke afọ nke ọkachamara injinia kemịkalụ, na-enye otu ụlọ ọrụ mmekọrịta nke na-edozi nsogbu dị iche iche nke nhazi wafer ọgbara ọhụrụ. Usoro a bụ ngwakọta sịntetik na-arụ ọrụ dị elu, enweghị mmanụ ịnweta mmanụ, chlorine, na nitrites, na-eme ka ebe ọrụ dị mma ma dị ọcha.
Njikwa ọkụ kachasị mma yana nkwusioru nra
Ọrụ bụ isi nke coolant bụ mkpofu ọkụ. Mmiri mmiri anyị na-anya isi otu okpomọkụ na profaịlụ conductivity nke dị mma maka oyi ngwa ngwa, na-ahụ na okpomọkụ nke mpaghara ịkpụ ahụ ka kwụsiri ike, nke dị oké mkpa maka igbochi mmebi kristal na nrụrụ ọkụ nke na-emerụ wafers dị nro.
E wezụga nju oyi, nhazi ahụ na-eme nke ọma na mgbasa nke urughuru. N'iji arụ ọrụ dị elu, ndị na-abụghị ionic surfactants, mmiri ahụ na-edobe iwu silicon na seramiiki na nkwusioru kwụsiri ike. Nke a na-egbochi sedimentation na agglomeration n'ime sistemu ikesa akụrụngwa, na-echekwa nfuli na nozzles ka ọ ghara iyi na ịgba mbọ hụ na mmiri na-agakọ ọnụ ruo n'ókè nke ịkpụ. Ido anya na nkwụsi ike nke mmiri a gbazere na-anọgide na-adị elu ọbụna n'okpuru ojiji dị arọ, na-emesi obi ike na mmiri na-ewepụ silicon ntụ ntụ n'ime usoro ịkpụ wafer na-arụ ọrụ mgbe niile na arụmọrụ kacha elu. Nke a na-ekwe nkwa na usoro gị na-anọgide na-akwụsi ike, nke a na-ahụ anya, yana na-arụpụta nnukwu ihe mgbe niile.
Ihe ndị ụlọ ọrụ semiconductor chọrọ doro anya: nkenke dị elu, ntụpọ efu na arụ ọrụ na-adigide. Inweta akara ngosi ndị a chọrọ ịgafe n'ofe oyi, ebumnuche izugbe na ịnakwere kemịkalụ pụrụ iche na-adịghị emebi emebi. Mmiri mmiri anyị na-adịghị emebi emebi maka wafers abụghị naanị kemịkal; ọ bụ ihe eji arụ ọrụ nke ọma, emebere ya iji bulie mkpụrụ gị, chedo ihe ndị dị oke ọnụ ahịa, wee belata ọnụ ahịa nrụpụta gị n'ozuzu ya n'oge SiC, GaN, na 3D stacking. Anyị na-enye ntụkwasị obi na ihu teknụzụ dị mkpa maka ịga n'ihu na-aga n'ihu n'ahịa na-aga n'ihu ngwa ngwa.
Soro anyị na-arụkọ ọrụ maka nrụpụta ọmarịcha
Dị ka onye ndu na kemịkalụ eletrọnịkị pụrụ iche, anyị ghọtara na ntụkwasị obi na ịdịgidesi ike bụ ihe kacha mkpa. Anyị na-enye nkwado teknụzụ zuru oke, ntụzịaka ngwa ahaziri ahazi, yana ngwọta ọkọnọ nke ukwuu ahaziri dabere n'oke mkpa nrụpụta gị. Welie usoro ịkụnye gị na slicing gị gaa n'ọkwa ọzọ nke izi ezi na mkpụrụ.
Iji kwurịta ihe ịma aka n'ichepụta gị kpọmkwem, rịọ maka nlele, ma ọ bụ hazie ndụmọdụ teknụzụ zuru ezu, biko kpọtụrụ ndị otu ahịa anyị raara onwe ha nye taa. Anyị kpebisiri ike ịbụ onye mmekọ gị n'inweta ọmarịcha semiconductor.
