Lilo ọtun gige epo fun wiwa waya diamond - ati lilo rẹ daradara - ṣe iyatọ laarin didara wafer ti o ni ibamu ati akoko idaduro idiyele. Fun awọn oniṣẹ ti n ṣiṣẹ pẹlu oniyebiye, SiC, tabi GaN, yiyan omi ati awọn ọna ohun elo taara ni ipa lori igbesi aye waya, ipari dada, ati igbejade lapapọ. Ni Shenzhen Yuanan Technology Co., Ltd., a ti lo diẹ sii ju ọdun mẹwa to sese awọn solusan kemikali konge fun sisẹ semikondokito, ati pe a loye pe gige epo kii ṣe ohun elo nikan, ṣugbọn oluṣe ilana. Nkan yii n pese itọnisọna to wulo lori iṣeto, iṣiṣẹ ojoojumọ, laasigbotitusita, ati itọju ki o le dinku awọn ikuna waya, mu awọn eso pọ si, ati fa igbesi aye ti idoko-owo wiwa waya rẹ pọ si.
Iṣeto iṣaaju-ṣiṣe: eto ito, sisẹ ati ọna kikọ sii
Ṣaaju ki gige akọkọ bẹrẹ, ọna ti o ṣeto eto ito ṣe ipinnu bi o ṣe munadoko ti epo gige fun wiwa waya diamond yoo ṣiṣẹ. Ọna ifunni ti o tọ, apẹrẹ sisẹ, ati iṣakoso idojukọ ṣẹda awọn ipo iduroṣinṣin ti o daabobo mejeeji okun waya ati ohun elo naa.
Yiyan ọna kikọ sii: sokiri taara vs. capillary, owusuwusu, tabi recirculation
Awọn ọna ifunni oriṣiriṣi ni ipa lori bi epo ṣe ṣe omi okun waya ati gbigbe awọn eerun kuro lati kerf.
Sokiri taara n pese lubrication deede ati itutu agbaiye ṣugbọn o le jẹ epo diẹ sii. Nigbagbogbo a lo ni iṣelọpọ iwọn-giga nibiti awọn ọrọ igba pipẹ ṣe pataki ju lilo omi lọ.
Ifunni capillary tabi sokiri elekitirosita le ṣaṣeyọri ohun elo kongẹ pẹlu egbin omi ti o dinku, ṣugbọn wọn nilo iṣeto iṣọra diẹ sii ati pe o le ma tọju pẹlu awọn ẹru idoti ti o wuwo.
Awọn ọna ṣiṣe atunṣe eto-aje ṣe ilọsiwaju ati pe a lo ni lilo pupọ ni bibẹ awọn semikondokito. Bibẹẹkọ, laisi isọdi to dara, wọn ṣe eewu ṣiṣatunṣe awọn patikulu abrasive ti o ba okun waya jẹ.
Yiyan ọna ti o tọ da lori iwọntunwọnsi laarin iye owo ohun elo, awọn ibeere igbejade, ati apẹrẹ ẹrọ.
Sisẹ ati iṣakoso patiku
Gbogbo micron ṣe pataki nigbati o ba ge oniyebiye tabi SiC. Awọn patikulu abrasive ti o ku ninu omi le ṣe Dimegilio awọn wafers tabi irẹwẹsi okun waya. Awọn asẹ yẹ ki o yan pẹlu awọn iwọn pore ti o dara to lati de awọn idoti laisi ihamọ sisan - deede laarin awọn microns 1-10 da lori ohun elo naa. Eto itọju jẹ pataki: rọpo awọn asẹ lojoojumọ ni awọn laini iwọn giga tabi osẹ-sẹsẹ ni awọn ile itaja iṣẹ-fẹẹrẹfẹ. Awọn sọwedowo titẹ iyatọ deede ṣe iranlọwọ fun awọn oniṣẹ lati mọ nigbati awọn asẹ ti kun ati ninu eewu ti fori awọn idoti.
Idapọ ati iṣakoso idojukọ
Fun awọn epo ti o nilo fomipo tabi idapọmọra, dapọ gbọdọ jẹ idiwọn. Fi epo kun nigbagbogbo si omi ipilẹ (kii ṣe iyipada), ki o tan kaakiri ni pipẹ to lati ṣaṣeyọri iṣọkan. Ṣayẹwo ifọkansi pẹlu awọn refractometers tabi awọn mita iwuwo ṣaaju ṣiṣe kọọkan, ati awọn abajade iwe. Ipalara lati inu omi, epo tramp, tabi eruku ile itaja le ṣe aiṣedeede adalu ati ki o ba lubrication jẹ. Awọn sọwedowo igbagbogbo ṣe idiwọ awọn ikuna lojiji ati alokuirin iye owo.
Iṣẹ ojoojumọ: awọn eto ati ibojuwo fun awọn abajade to dara julọ
Ni kete ti laini n ṣiṣẹ, awọn atunṣe kekere ni sisan, iyara, ati ẹdọfu taara ni ipa ikore ati gigun gigun waya. Gige epo fun wiwọn okun waya diamond jẹ imunadoko julọ nigbati a ba lo ni deede pẹlu awọn aye to pe.
Oṣuwọn ṣiṣan, igun olubasọrọ ati akoko ohun elo
Epo gbọdọ tutu okun waya boṣeyẹ laisi ebi tabi fifọ agbegbe gige. Ṣiṣan kekere diẹ ṣe ewu awọn aaye gbigbẹ, lakoko ti o pọ julọ n fọ abrasives lairotẹlẹ kọja kerf. Sisan yẹ ki o tunse ki okun waya han ni iṣọkan ti a bo sibẹ ti ko ni rọ lọpọlọpọ. Awọn oniṣẹ le ṣe iwọn nipasẹ gbigba ṣiṣan iṣelọpọ fun aarin akoko ati afiwera si awọn pato ẹrọ. Awọn idanwo igun olubasọrọ lori awọn wafers ayẹwo tun jẹrisi pe epo n tan kaakiri daradara.
Waya ẹdọfu ati iyara ibaraenisepo pẹlu ito iṣẹ
Iṣẹ ṣiṣe lubrication yipada pẹlu iyara waya ati ẹdọfu. Iyara giga pẹlu lubrication kekere ṣe iyara yiya, lakoko ti iyara kekere pẹlu epo pupọ le ṣe ina waviness. Ti awọn aami waya ba han, awọn oniṣẹ yẹ ki o ṣayẹwo lẹsẹkẹsẹ mejeeji ẹdọfu ati awọn ipele lubrication. Matrix laasigbotitusita ti o wulo ni lati dinku iyara diẹ, jẹrisi iwọn sisan, ati iwọntunwọnsi iwọntunwọnsi titi awọn ami okun waya yoo lọ silẹ.
Awọn afihan akoko gidi lati wo
Awọn oniṣẹ ko yẹ ki o gbẹkẹle awọn abajade ipari-ipin nikan. Awọn ifẹnukonu wiwo ati akositiki pese awọn ikilọ lẹsẹkẹsẹ:
Lapapọ iyatọ sisanra (TTV) nyara aarin-ṣiṣe tọkasi itutu agbaiye tabi lubrication.
Dinku oṣuwọn gige ni imọran awọn nozzles ti o diwọn tabi sisan ti ko to.
Ariwo ti o ga julọ nigbagbogbo n ṣe ifihan okun waya labẹ wahala lati lubrication ti ko dara.
Chip awọ titan dudu le tọkasi igbona.
Kikọsilẹ awọn akiyesi wọnyi ninu atokọ ayẹwo oniṣẹ ṣe idaniloju awọn iṣoro ti wa ni idojukọ ṣaaju ki awọn okun to ya.
Laasigbotitusita wọpọ isoro
Paapaa pẹlu igbaradi iṣọra, awọn ọran le dide. Loye bi gige epo fun okun waya diamond ṣe n ṣepọ pẹlu awọn oniyipada ilana ṣe iranlọwọ sọtọ ati yanju wọn ni iyara.
Waya tọpasẹ tabi dada scratches
Scratches nigbagbogbo tumọ si awọn patikulu abrasive ko ni gbe lọ daradara. Awọn okunfa pẹlu isọ ti ko dara, ṣiṣan epo ti ko to, tabi awọn ohun-ini ito ti bajẹ. Atunṣe naa: rọpo tabi nu awọn asẹ, mu iwọn sisan pọ si, ati epo sọtun ti iki ba ti yipada.
Alekun TTV tabi warp wafer
Isanra aiṣedeede nigbagbogbo n bẹrẹ lati aiṣedeede gbona tabi ifijiṣẹ ito aisedede. Awọn oniṣẹ yẹ ki o jẹrisi pe awọn nozzles ṣiṣan ko ni didi ati pe iwọn otutu epo jẹ iduroṣinṣin. Isọdiwọn ẹrọ yẹ ki o tun rii daju, ṣugbọn iduroṣinṣin omi nigbagbogbo jẹ ayẹwo akọkọ.
Ipata ati ipata ni awọn paati ẹrọ
Botilẹjẹpe ọpọlọpọ awọn epo gige n pese awọn inhibitors ipata, ingress omi tabi itọju ojò ti ko dara le fa ibajẹ. Awọn atunṣe lẹsẹkẹsẹ pẹlu sisọ epo ti o ti doti ati gbigbe awọn paati gbigbẹ daradara. Idena igba pipẹ nilo awọn ayewo ojò deede, awọn inhibitors to dara, ati fifin eto eto.
Itọju, ailewu ati isọnu
Awọn epo gige jẹ awọn kemikali ilana ti o beere itọju eleto fun iṣẹ mejeeji ati ailewu.
Kalẹnda itọju ti o jẹ baraku
Lojoojumọ: Ṣayẹwo ṣiṣan, iwọn ifọkansi, awọn asẹ mimọ ti titẹ ba dide.
Ni osẹ-ọsẹ: Rọpo awọn asẹ, idanwo fun idagbasoke microbial ti omi ba wa, igbasilẹ ipo ojò.
Oṣooṣu: Sisan ati ṣayẹwo awọn tanki, rii daju iṣẹ fifa, ati atunyẹwo awọn titẹ sii log itọju.
Nipa titẹle kalẹnda kan, awọn oniṣẹ yago fun awọn iyanilẹnu ti o yori si awọn fifọ waya.
Awọn iwe data aabo, PPE ati mimu ayika
Gbogbo olupese yẹ ki o pese Awọn iwe data Abo (SDS) ti o ṣe ilana awọn eewu ati ohun elo aabo. Awọn oniṣẹ gbọdọ lo awọn ibọwọ ati aabo oju nigba mimu epo mu, ati rii daju isunmi to dara. Isọnu gbọdọ tẹle awọn ilana ayika agbegbe - boya nipasẹ awọn atunlo ti a fọwọsi tabi awọn ṣiṣan egbin ti iṣakoso.
Nigbati lati ifẹhinti awọn tanki ati nu eto
Paapa awọn ṣiṣan ti o ni itọju ti o dara julọ dinku lori akoko. Awọn tanki yẹ ki o ti fẹyìntì ti ko ba le ṣakoso idoti tabi ti epo ba ti fọ ni kemikali. Mimọ ninu ailewu jẹ ṣiṣan omi, fi omi ṣan pẹlu awọn ohun mimu ti a fọwọsi, gbigbẹ, ati ni awọn igba miiran passivation lati dena abawọn tabi embrittlement. Ṣiṣe mimọ to dara ṣe idaniloju idiyele tuntun ti epo bẹrẹ alabapade laisi jogun awọn iṣoro atijọ.
Nigbawo lati yipada awọn fifa ati bii o ṣe le ṣiṣe iyipada iṣakoso
Ma ilana nilo outgrow awọn ti isiyi Ige epo. Mọ igba lati yipada ati bi o ṣe le ṣe o dinku idalọwọduro.
Awọn metiriki okunfa ti o tọkasi a nilo iyipada
Ti igbesi aye waya ba lọ silẹ ni isalẹ awọn ipele ibi-afẹde, oṣuwọn ajẹkù ga ni imurasilẹ, tabi awọn iṣoro ipata pọsi laibikita itọju to dara, o le jẹ akoko lati yipada. Tọpinpin awọn KPI lori ọpọlọpọ awọn ṣiṣe lati jẹrisi aṣa ṣaaju ṣiṣe ipinnu.
Eto iyipada apẹẹrẹ
Ṣeto window iṣelọpọ iwọn kekere kan.
Sisan epo lọwọlọwọ ki o fọ eto naa pẹlu omi didoju.
Ṣatunkun pẹlu epo gige tuntun fun wiwa waya diamond, aridaju awọn asẹ ati awọn tanki jẹ mimọ.
Ṣiṣe awọn ipele awaoko ni ẹgbẹ nipasẹ ẹgbẹ pẹlu data atijọ fun lafiwe taara.
Awọn iyipada iwe ni igbesi aye waya, TTV, ati oṣuwọn alokuirin.
Ọna iṣeto yii ṣe idilọwọ iṣẹ amoro ati pese ẹri ilọsiwaju.
Ipari
Lilo igbagbogbo ti gige epo fun wiwa waya diamond, ni idapo pẹlu iṣeto to dara, ibojuwo, ati itọju, jẹ ọna ti o yara ju si awọn fifọ waya diẹ, TTV kekere, ati idinku idiyele-fun-wafer. Shenzhen Yuanan Technology Co., Ltd ti ni amọja pipẹ ni idagbasoke awọn solusan kemikali ilọsiwaju fun sisẹ semikondokito, ṣe iranlọwọ fun awọn alabara lati ṣaṣeyọri iṣẹ iduroṣinṣin ni awọn ohun elo ibeere. Lati ni imọ siwaju sii nipa bii awọn epo gige wa ṣe le mu ilana rẹ pọ si ati fa igbesi aye okun waya rẹ pọ si, kan si wa loni.
