ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்ட்ரிப்பிங் ஏஜென்ட் என்றால் என்ன?

அறிமுகம்

மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி மற்றும் துல்லியமான ஒளியியல் ஆகியவற்றில் எப்போதும் உருவாகி வரும் உலகில், ஒளிச்சேர்க்கையின் பயன்பாடு முக்கியமானது. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்முறைகளில் வடிவமைத்தல் நிலைக்குப் பிறகு அந்த ஒளிச்சேர்க்கையை அகற்றுவது சமமாக முக்கியமானது. இது எங்கே photoresist அகற்றும் முகவர்கள் செயல்பாட்டுக்கு வருகின்றன. ஆனால் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் அகற்றும் முகவர் சரியாக என்ன? மேம்பட்ட தொழில்களில் அதன் செயல்திறன் ஏன் மிகவும் முக்கியமானது?

1. போட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்ட்ரிப்பிங் ஏஜென்ட் என்றால் என்ன?

(1) வரையறை மற்றும் முக்கிய செயல்பாடு

ஏ ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்ட்ரிப்பிங் ஏஜென்ட் என்பது வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு வேதியியல் உருவாக்கம் ஆகும் . ஒளிச்சேர்க்கை அடுக்குகளை அகற்றுவதற்காக லித்தோகிராஃபிக் செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு அடி மூலக்கூறுகளிலிருந்து ஒளிக்கடத்திகள் செமிகண்டக்டர் செதில்கள் அல்லது அச்சிடப்பட்ட சர்க்யூட் போர்டுகளில் (பிசிபிகள்) வடிவமைக்கப்பட்ட பூச்சுகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் ஒளி-உணர்திறன் பொருட்கள். அவற்றின் வேலை முடிந்ததும் - பொறித்தல் அல்லது பொருத்துதலின் போது சில பகுதிகளைப் பாதுகாத்தல் - அவை முற்றிலும் அகற்றப்பட வேண்டும். அடிப்படை கட்டமைப்புகளை சேதப்படுத்தாமல்

ஸ்டிரிப்பிங் ஏஜெண்டுகள் இந்தப் பிலிம்களை திறம்பட கரைத்து அல்லது அகற்றி, அடி மூலக்கூறை சுத்தம் செய்து மீண்டும் பயன்படுத்த அல்லது அடுத்த உற்பத்திப் படிக்கு முன்னேற அனுமதிக்கிறது.

2. எஃபெக்டிவ் ஸ்டிரிப்பிங் ஏன் மிகவும் முக்கியமானது?

(1) அடி மூலக்கூறு சேதத்தைத் தடுத்தல்

ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் அகற்றுவதில் உள்ள மிகப்பெரிய சவால்களில் ஒன்று அடி மூலக்கூறின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாப்பதாகும் . நுட்பமான சிலிக்கான் செதில்கள் அல்லது சிக்கலான பல அடுக்கு PCB களைக் கையாள்வது, ஏதேனும் எச்சம் அல்லது இரசாயன ஆக்கிரமிப்பு விலையுயர்ந்த குறைபாடுகள் அல்லது செயல்முறை தோல்விகளை விளைவிக்கும் . உயர்தர அகற்றும் முகவர் அரிப்பு அல்லது மேற்பரப்பு கடினப்படுத்துதல் இல்லாமல் முழு அகற்றுதலை உறுதி செய்கிறது.

(2) துல்லியமான உற்பத்தியை செயல்படுத்துதல்

செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (MEMS) போன்ற தொழில்களில், நானோமீட்டர் அளவிலான துல்லியம் அடிக்கடி தேவைப்படுகிறது. மேற்பரப்பில் எஞ்சியிருக்கும் ஒளிச்சேர்க்கையின் சுவடு அளவு கூட மின்னணு செயல்திறன் அல்லது சாதன விளைச்சலை மாற்றும். ஒரு உகந்த அகற்றும் முகவர் உற்பத்தியாளர்களுக்கு அடைய உதவுகிறது சிறந்த செயல்முறை நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை .

3. ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்ட்ரிப்பிங் ஏஜெண்டுகளின் வகைகள்

(1) கரைப்பான் அடிப்படையிலான அகற்றும் முகவர்கள்

இவை நம்பியுள்ளன . கரிம கரைப்பான்களை N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP), Dimethyl sulfoxide (DMSO) அல்லது பிற கிளைகோல் ஈதர்கள் போன்ற கரைப்பான் அடிப்படையிலான முகவர்கள் பயனுள்ள மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் போது, ​​அவை பெரும்பாலும் நச்சுத்தன்மை கவலைகள் , எரியக்கூடிய அபாயங்கள் மற்றும் கடுமையான அகற்றல் விதிமுறைகளுடன் வருகின்றன..

(2) நீர் அடிப்படையிலான அகற்றும் முகவர்கள்

சுற்றுச்சூழல் மற்றும் பாதுகாப்புக் கவலைகளுக்கு விடையிறுக்கும் வகையில், நீர் அடிப்படையிலான அல்லது அரை-அக்வஸ் ஸ்ட்ரிப்பர்கள் பிரபலமடைந்துள்ளன. இந்த முகவர்கள் சர்பாக்டான்ட்கள், செலேட்டிங் ஏஜெண்டுகள் மற்றும் அரிப்பை தடுப்பான்கள் ஆகியவற்றை இணைத்து சூழல் நட்பு தீர்வுகளை வழங்குகின்றன . யுவானன் உலகளாவிய நிலைத்தன்மை தரநிலைகளை சந்திக்கும் போது கரைப்பான் அடிப்படையிலான செயல்திறனுடன் பொருந்தக்கூடிய சூத்திரங்களை உருவாக்கியுள்ளார்.

(3) பிளாஸ்மா ஆஷிங் (வேதியியல் அல்லாத மாற்று)

ஒரு இரசாயன முகவர் இல்லை என்றாலும், பிளாஸ்மா சாம்பல் என்பது ஒரு உலர் நுட்பமாகும், இது ஒளிச்சேர்க்கையை எரிக்க எதிர்வினை அயனிகளைப் பயன்படுத்துகிறது . இருப்பினும், இது பெரும்பாலும் பல்துறை திறன்களைக் கொண்டிருக்கவில்லை மற்றும் வெப்பநிலை உணர்திறன் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு ஏற்றது அல்ல.

4. யுவானனின் மேம்பட்ட போட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்ட்ரிப்பிங் ஏஜென்ட் தீர்வுகள்

யுவானனில், அனைத்து ஒளிச்சேர்க்கைகளும் சமமாக உருவாக்கப்படவில்லை என்பதை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம் . எனவே, எங்கள் தயாரிப்பு மேம்பாடு தையல்காரர்களை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது அகற்றும் முகவர்கள் . வெவ்வேறு எதிர்ப்பு இரசாயனங்கள் மற்றும் அடி மூலக்கூறு வகைகளுக்கான

(1) யுவானனின் ஸ்டிரிப்பிங் ஃபார்முலாக்களின் முக்கிய அம்சங்கள்

• அலுமினியம், தாமிரம், டங்ஸ்டன் போன்ற உலோகங்களை அரிக்காது

• பாசிட்டிவ் மற்றும் நெகட்டிவ் டோன்களுக்கு வேகமாக அகற்றும் செயல்திறன் எதிர்ப்பு

• சிலிக்கான், கண்ணாடி மற்றும் கலவை குறைக்கடத்திகள் உட்பட பல்வேறு அடி மூலக்கூறுகளுடன் இணக்கமானது

• சுற்றுச்சூழல் பொறுப்பு, VOCகள் மற்றும் நச்சு எச்சங்களைக் குறைத்தல்

• நானோ ஃபேப்ரிகேஷனில் முக்கியமான சுத்தம் செய்வதற்கான குறைந்த எச்சம்

(2) விண்ணப்பப் பகுதிகள்

• குறைக்கடத்தி செதில் சுத்தம்

• LCD மற்றும் OLED காட்சி உற்பத்தி

• MEMS சாதனம் உருவாக்கம்

• அச்சிடப்பட்ட சர்க்யூட் போர்டு (பிசிபி) சுத்தம்

• ஹார்ட் டிஸ்க் மீடியா மற்றும் ஆப்டிகல் லென்ஸ் செயலாக்கம்

5. போட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்டிரிப்பிங்கில் உள்ள சவால்கள்

(1) மாறுபடும் எதிர்ப்பு சூத்திரங்கள்

ஒளிச்சேர்க்கைகள் வேதியியல் ரீதியாக மிகவும் சிக்கலானதாக இருப்பதால்-குறிப்பாக ஆழமான UV அல்லது EUV லித்தோகிராஃபியில் -இன் தேர்வு அகற்றும் முகவர் உருவாக வேண்டும். சில மேம்பட்ட ஃபோட்டோரெசிஸ்டுகள் பாரம்பரிய கரைப்பான்களுக்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கின்றன, புதிய இரசாயன தீர்வுகளை வலுவான, அதே சமயம் பாதுகாப்பான, அகற்றும் வழிமுறைகள் தேவைப்படுகின்றன.

(2) சுற்றுச்சூழல் மற்றும் ஒழுங்குமுறை இணக்கம்

நவீன உற்பத்தியாளர்கள் அதிகரித்து வரும் அழுத்தத்தை எதிர்கொள்கின்றனர் . நச்சு உமிழ்வைக் குறைக்கவும் கழிவுகளைக் குறைக்கவும் ஆதரவாக கரைப்பான்-கடுமையான முகவர்கள் படிப்படியாக அகற்றப்படுகின்றன பசுமையான மாற்றுகளுக்கு . பூர்த்தி செய்யும் முழு இணக்கமான தயாரிப்புகளுடன் யுவானன் இதை நிவர்த்தி செய்கிறது . ரோஹெச்எஸ், ரீச் மற்றும் உள்ளூர் கழிவுநீர் வெளியேற்ற விதிமுறைகளை

6. சரியான போட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்டிரிப்பிங் ஏஜெண்டைத் தேர்ந்தெடுப்பது

சரியான அகற்றும் முகவரைத் தேர்ந்தெடுப்பது பல தொழில்நுட்ப காரணிகளைப் பொறுத்தது:

• ஒளிச்சேர்க்கை வகை (நேர்மறை எதிர் எதிர்மறை தொனி)

• அடி மூலக்கூறு பொருள் மற்றும் அரிப்புக்கு அதன் உணர்திறன்

• சுத்தம் செய்யும் முறை (தெளிப்பு, ஊறவைத்தல் அல்லது மீயொலி)

• தேவையான செயல்திறன் மற்றும் சுழற்சி நேரம்

• கழிவு சிகிச்சை பரிசீலனைகள்

அதிகபட்ச மகசூல் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்காக வாடிக்கையாளர்களின் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறைகளை மேம்படுத்த உதவும் வகையில் யுவானன் முழு தொழில்நுட்ப ஆதரவையும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளையும் வழங்குகிறது.

---

முடிவுரை

இது photoresist அகற்றும் முகவர் ஒரு துணைப் பொருள் மட்டுமல்ல - முக்கியமான இயக்குநராகும் . துல்லியமான உற்பத்தியில் இது ஒரு திறமையான மற்றும் பாதுகாப்பான எதிர்ப்பு நீக்கம் இல்லாமல், முழு உற்பத்தி வரிசையும் மாசுபடுதல், மகசூல் இழப்பு அல்லது உபகரணங்கள் சேதத்தை எதிர்கொள்ளலாம்.

யுவானனின் அதிநவீன அகற்றும் தீர்வுகள் செயல்திறன், பாதுகாப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மையை மனதில் கொண்டு வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. நடந்துகொண்டிருக்கும் R&D மற்றும் மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் தேவைகள் பற்றிய ஆழமான புரிதலுடன், மூலம் தொழில்களை மேம்படுத்தி வருகிறோம் . நம்பகமான, சுத்தமான மற்றும் சுற்றுச்சூழலுக்கு ஏற்ற எதிர்ப்பு அகற்றும் தொழில்நுட்பங்கள்

நீங்கள் ஒரு சிப்மேக்கராக இருந்தாலும், டிஸ்ப்ளே பேனல் தயாரிப்பாளராக இருந்தாலும் அல்லது PCB தயாரிப்பாளராக இருந்தாலும், வேதியியலின் ஒவ்வொரு துளியிலும் சிறந்து விளங்க யுவானனை நம்புங்கள்.