Микроэлектроника, жартылай өткізгіштер өндірісі және дәлдік оптикасының үнемі дамып келе жатқан әлемінде фоторезисттті қолдану фотолитография процестерінде өте маңызды. Үлгілеу кезеңінен кейін фоторезисттің жойылуы бірдей маңызды. Бұл жерде фоторезисттік аршу агенттері іске қосылады. Бірақ фоторезисттік аршу агенті дегеніміз не? Неліктен оның өнімділігі дамыған салаларда соншалықты маңызды?
1. Фоторезисттік аршу агенті дегеніміз не?
(1) Анықтама және негізгі функция
А фоторезисттік тазартқыш агент - бұл үшін арнайы жасалған химиялық құрам . фоторезисттік қабаттарды жою литографиялық процестерден кейін субстраттардағы Фоторезистенттер – жартылай өткізгіш пластиналар немесе баспа платаларында (ПХД) өрнекті жабындарды қалыптастыру үшін қолданылатын жарыққа сезімтал материалдар. Олардың жұмысы аяқталғаннан кейін - ою немесе имплантация кезінде белгілі бір аймақтарды қорғау - толығымен алып тастау керек. астындағы құрылымдарға зақым келтірместен оларды
Аршу агенттері бұл пленкаларды тиімді түрде ерітеді немесе алып тастайды, бұл субстратты тазалауға және қайта пайдалануға немесе келесі өндіріс сатысына өтуге мүмкіндік береді.
2. Неліктен тиімді аршу соншалықты маңызды?
(1) Субстраттың зақымдалуын болдырмау
Фоторезисттік аршу кезіндегі ең үлкен қиындықтардың бірі - субстраттың тұтастығын сақтау . Нәзік кремний пластиналарымен немесе күрделі көп қабатты ПХД-мен жұмыс істеуге қарамастан, кез келген қалдық немесе химиялық агрессия қымбат ақауларға немесе технологиялық ақауларға әкелуі мүмкін . Жоғары сапалы аршу агенті коррозиясыз немесе бетінің кедір-бұдырынсыз толық кетіруді қамтамасыз етеді.
(2) Дәлдік өндірісті қосу
Жартылай өткізгіштер және микроэлектромеханикалық жүйелер (MEMS) сияқты салаларда нанометр деңгейіндегі дәлдік жиі талап етіледі. Тіпті бетінде қалдырылған фоторезисттің аз мөлшері электронды өнімділікті немесе құрылғының өнімділігін өзгертуі мүмкін. Оңтайландырылған аршу агенті өндірушілерге жоғары технологиялық сенімділік пен өнімділікке қол жеткізуге мүмкіндік береді.
3. Фоторезисттік аршу агенттерінің түрлері
(1) Еріткіш негізіндегі аршу агенттері
Олар сүйенеді . органикалық еріткіштерге N-метил-2-пирролидон (NMP), диметил сульфоксиді (DMSO) немесе басқа гликоль эфирлері сияқты Еріткіш негізіндегі агенттер тиімді және кеңінен қолданылғанымен, олар көбінесе уыттылық , тұтанғыштық қаупі және кәдеге жаратудың қатаң ережелерімен келеді..
(2) Су негізіндегі аршу агенттері
Қоршаған орта мен қауіпсіздік мәселелеріне жауап ретінде су негізіндегі немесе жартылай сулы тазартқыштар танымал болды. Бұл агенттер ұсыну үшін беттік-белсенді заттарды, хелат агенттерін және коррозия ингибиторларын біріктіреді экологиялық таза шешімдерді . Юанан жаһандық тұрақтылық стандарттарына сәйкес келетін еріткіш негізіндегі өнімділікке сәйкес келетін формулаларды әзірледі.
(3) Плазма күлі (химиялық емес балама)
Өздігінен химиялық агент болмаса да, плазма күлі фоторезисті күйдіру үшін реактивті иондарды қолданатын құрғақ әдіс болып табылады . Дегенмен, ол жиі әмбебаптылыққа ие емес және температураға сезімтал субстраттарға жарамайды.
Юананда біз барлық фоторезистенттер бірдей жасалмағанын түсінеміз . Осылайша, біздің өнімді әзірлеуіміз арнайы жасалған бұйымдарды жасауға бағытталған аршу агенттері .әртүрлі резистенттік химиялық және субстрат түрлеріне арналған
(1) Юананның аршу формулаларының негізгі ерекшеліктері
Алюминий, мыс және вольфрам сияқты металдар үшін коррозияға ұшырамайды
Оң және теріс тонға төзімділік үшін жылдам тазарту өнімділігі
Кремний, шыны және құрама жартылай өткізгіштерді қоса алғанда, әртүрлі субстраттармен үйлесімді
Экологиялық жауапты, VOC және улы қалдықтарды азайтады
Нанофабрикадағы сыни тазалау үшін төмен қалдық
(2) Қолдану аймақтары
Жартылай өткізгіш пластинаны тазалау
СКД және OLED дисплей өндірісі
MEMS құрылғысын жасау
Баспа схемасын (ПХД) тазалау
Қатты дискілер мен оптикалық линзаларды өңдеу
5. Фоторезисті кесу кезіндегі қиындықтар
(1) Түрлі қарсылық құрамдары
Фоторезисттердің химиялық құрамы күрделене түскен сайын, әсіресе терең ультракүлгін немесе EUV литографиясында - таңдау аршу агенті дамуы керек. Кейбір жетілдірілген фоторезистенттер дәстүрлі еріткіштерге төзімді, бұл күшті, бірақ қауіпсіз жою механизмдері бар жаңа химиялық ерітінділерді қажет етеді.
(2) Қоршаған орта және нормативтік талаптарға сәйкестік
Заманауи өндірушілер улы шығарындыларды азайту және қалдықтарды азайту үшін жоғары қысымға тап болады. Еріткіші ауыр агенттер пайдасына біртіндеп жойылуда жасыл баламалардың . Юанан мұны сәйкес келетін толық сәйкес өнімдермен шешеді . RoHS, REACH және жергілікті ағынды суларды ағызу ережелеріне
6. Дұрыс фоторезисттік аршу агентін таңдау
Аршу агентін дұрыс таңдау бірнеше техникалық факторларға байланысты:
Фоторезисттің түрі (оң және теріс тон)
Субстрат материалы және оның коррозияға сезімталдығы
Тазалау әдісі (спрей, жібіту немесе ультрадыбыстық)
Қажетті өткізу қабілеті және цикл уақыты
Қалдықтарды өңдеу мәселелері
Юанан клиенттерге максималды кірістілік пен сенімділік үшін тазалау процестерін оңтайландыруға көмектесу үшін толық техникалық қолдау мен теңшелген шешімдерді ұсынады.
Қорытынды
Бұл фоторезисттік тазартқыш агент тек тірек материал ғана емес, ол маңызды мүмкіндік болып табылады. дәл өндірістегі Қарсылықты тиімді және қауіпсіз алып тастамаса, бүкіл өндірістік желі ластануға, өнім жоғалуына немесе жабдықтың зақымдалуына тап болуы мүмкін.
Юананның аршу жұмыстарының озық шешімдері өнімділікті, қауіпсіздікті және тұрақтылықты ескере отырып жасалған. Үздіксіз ҒЗТКЖ және микрофабрика қажеттіліктерін терең түсіну арқылы біз өнеркәсіптерді сенімді, таза және экологиялық таза кедергілерді жою технологияларымен кеңейтуді жалғастырамыз.
Сіз чип жасаушы, дисплей панелінің өндірушісі немесе ПХД өндірушісі болсаңыз да, химияның әрбір тамшысында жақсы нәтиже беретін Юананға сеніңіз.
