Фоторезист хуулалт гэж юу вэ?

Танилцуулга

Микроэлектроник, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, нарийн оптикийн байнга хөгжиж буй ертөнцөд фоторезистийг ашиглах нь фотолитографийн процесст маш чухал юм. Загварын үе шат дууссаны дараа фоторезистийг арилгах нь бас чухал юм. Энэ бол хаана байна фоторезист хөрс хуулалтын бодисууд ажилд ордог. Гэхдээ фоторезист хөрс хуулалт гэж юу вэ? Дэвшилтэт үйлдвэрүүдэд түүний гүйцэтгэл яагаад тийм их чухал байдаг вэ?

1. Фоторезист хуулалт гэж юу вэ?

(1) Тодорхойлолт ба үндсэн функц

А Фоторезист хөрс хуулалт нь зориулагдсан химийн найрлага юм . фоторезист давхаргыг арилгахад литографийн процессын дараа субстратын Фоторезистүүд нь хагас дамжуулагч хавтан эсвэл хэвлэмэл хэлхээний самбар (ПХБ) дээр хэв маягийн бүрээс үүсгэхэд ашигладаг гэрэлд мэдрэмтгий материал юм. Тэдний ажил дууссаны дараа - сийлбэр эсвэл суулгацын үед тодорхой хэсгийг хамгаалах - тэдгээрийг бүрэн арилгах шаардлагатай. үндсэн бүтцийг гэмтээхгүйгээр

Хөрс хуулалт нь эдгээр хальсыг үр дүнтэй уусгаж эсвэл буулгаж, субстратыг цэвэрлэж, дахин ашиглах эсвэл дараагийн үйлдвэрлэлийн алхам руу шилжүүлэх боломжийг олгодог.

2. Үр дүнтэй тайлах нь яагаад ийм чухал вэ?

(1) Субстратын гэмтлээс урьдчилан сэргийлэх

Фоторезистийн хөрс хуулалтын хамгийн том бэрхшээлүүдийн нэг бол субстратын бүрэн бүтэн байдлыг хадгалах явдал юм . Нарийхан цахиур хавтан эсвэл нарийн төвөгтэй олон давхаргат ПХБ-тай харьцах эсэхээс үл хамааран аливаа үлдэгдэл эсвэл химийн түрэмгийлэл нь хүргэж болзошгүй юм өндөр өртөгтэй согог эсвэл процессын доголдолд . Өндөр чанартай хөрс хуулалтын бодис нь зэврэлт, гадаргуугийн барзгаржилтгүйгээр бүрэн арилгана.

(2) Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийг идэвхжүүлэх

Хагас дамжуулагч, микро цахилгаан механик систем (MEMS) зэрэг салбарт нанометрийн түвшний нарийвчлал ихэвчлэн шаардлагатай байдаг. Гадаргуу дээр үлдсэн бага хэмжээний фоторезист ч гэсэн электрон гүйцэтгэл эсвэл төхөөрөмжийн гарцыг өөрчилдөг. Оновчтой хөрс хуулалт нь үйлдвэрлэгчдэд процессын найдвартай байдал, дамжуулах чадварыг дээд зэргээр хангах боломжийг олгодог.

3. Фоторезист хөрс хуулалтын бодисын төрөл

(1) Уусгагч дээр суурилсан хөрс хуулалт

Эдгээр нь тулгуурладаг . органик уусгагчд N-Метил-2-пирролидон (NMP), Диметил сульфоксид (DMSO) эсвэл бусад гликолын эфир зэрэг Уусгагч дээр суурилсан бодисууд үр дүнтэй бөгөөд өргөн хэрэглэгддэг боловч тэдгээр нь ихэвчлэн хоруу чанар , шатамхай байдлын эрсдэл, устгах хатуу дүрэм журамтай байдаг..

(2) Усан дээр суурилсан хөрс хуулалт

Хүрээлэн буй орчин, аюулгүй байдлын үүднээс усан суурьтай эсвэл хагас усан тайчигч нь алдартай болсон. Эдгээр бодисууд нь гадаргуугийн идэвхт бодис, хелат бодис, зэврэлтийг дарангуйлагч бодисуудыг хослуулан байгальд ээлтэй шийдлүүдийг санал болгодог . Юаньан нь дэлхийн тогтвортой байдлын стандартыг хангасан уусгагч дээр суурилсан гүйцэтгэлд тохирсон найрлага боловсруулсан.

(3) Плазмын үнслэг (Химийн бус хувилбар)

Хэдийгээр химийн бодис биш ч плазмын үнсжилт нь реактив ионуудыг ашиглан фоторезистийг шатаах хуурай арга юм . Гэсэн хэдий ч энэ нь ихэвчлэн олон талт шинж чанартай байдаггүй бөгөөд температурт мэдрэмтгий субстратуудад тохиромжгүй байдаг.

4. Юананы дэвшилтэт фоторезист тайрах бодисын шийдэл

Юананы хувьд бүх фоторезистүүд ижил тэгш бүтээгдээгүй гэдгийг бид ойлгож байна . Иймээс манай бүтээгдэхүүний хөгжүүлэлт нь захиалгат бүтээгдэхүүнийг бий болгоход чиглэдэг хөрс хуулалтын бодисууд . янз бүрийн химийн бодис, субстратын төрөлд зориулсан

(1) Юананы хөрс хуулалтын томъёоны үндсэн шинж чанарууд

• Хөнгөн цагаан, зэс, вольфрам зэрэг металлыг зэврүүлэхгүй

• Эерэг ба сөрөг өнгө аясыг хурдан арилгах чадвартай

• Цахиур, шил, нийлмэл хагас дамжуулагч зэрэг янз бүрийн субстратуудтай нийцдэг

• Байгаль орчинд ээлтэй, VOC болон хорт үлдэгдлийг бууруулдаг

• Нано үйлдвэрлэлд чухал цэвэрлэгээ хийхэд бага үлдэгдэл

(2) Хэрэглээний талбарууд

• Хагас дамжуулагч хавтанцар цэвэрлэх

• LCD болон OLED дэлгэцийн үйлдвэрлэл

• MEMS төхөөрөмж үйлдвэрлэх

• Хэвлэмэл хэлхээний самбар (ПХБ) цэвэрлэх

• Хатуу дискний зөөвөрлөгч болон оптик линз боловсруулах

5. Фоторезист тайрахад тулгарч буй бэрхшээлүүд

(1) Янз бүрийн эсэргүүцлийн найрлага

Фоторезистүүд химийн хувьд илүү нарийн төвөгтэй болохын хэрээр, ялангуяа гүн хэт ягаан туяа эсвэл EUV литографийн хувьд - сонголт нь хөрс хуулалтын бодис өөрчлөгдөх ёстой. Зарим дэвшилтэт фоторезистүүд нь уламжлалт уусгагчдад тэсвэртэй тул илүү хүчтэй, гэхдээ аюулгүй, зайлуулах механизмтай шинэ химийн уусмалуудыг шаарддаг.

(2) Байгаль орчин, зохицуулалтын нийцэл

Орчин үеийн үйлдвэрлэгчид хорт хий ялгаруулалтыг багасгах , хог хаягдлыг багасгахын тулд нэмэгдэж буй дарамттай тулгарч байна. Уусгагч ихтэй бодисуудыг ногоон хувилбаруудыг ашиглахын тулд аажмаар зогсоож байна . Юаньан үүнийг нийцсэн бүрэн нийцсэн бүтээгдэхүүнээр шийдвэрлэдэг . RoHS, REACH болон орон нутгийн бохир ус зайлуулах журамд

6. Фоторезист тайлах бодисыг зөв сонгох

Зөв хөрс хуулалтын бодисыг сонгох нь хэд хэдэн техникийн хүчин зүйлээс хамаарна.

• Фоторезистийн төрөл (эерэг ба сөрөг ая)

• Субстратын материал ба түүний зэврэлтэнд мэдрэмтгий байдал

• Цэвэрлэх арга (шүрших, нэвт норгох эсвэл хэт авианы)

• Шаардлагатай дамжуулах чадвар ба мөчлөгийн хугацаа

• Хог хаягдлыг боловсруулахад анхаарах зүйлс

Юаньан нь үйлчлүүлэгчдэд хамгийн их ургац, найдвартай байдлыг хангахын тулд цэвэрлэх үйл явцыг оновчтой болгоход туслах техникийн бүрэн дэмжлэг, тусгай шийдлүүдийг санал болгодог.

---

Дүгнэлт

Энэ фоторезист хөрс хуулалт нь зөвхөн туслах материал биш бөгөөд энэ нь чухал түлхэц болдог . нарийн үйлдвэрлэлд Эсэргүүцлийг үр дүнтэй, найдвартай арилгахгүй бол үйлдвэрлэлийн шугам бүхэлдээ бохирдол, ургац алдах, эсвэл тоног төхөөрөмжийн эвдрэлд орж болзошгүй.

Юананы хөрс хуулалтын хамгийн сүүлийн үеийн шийдлүүд нь гүйцэтгэл, аюулгүй байдал, тогтвортой байдлыг харгалзан бүтээгдсэн. Үргэлжилсэн R&D болон бичил үйлдвэрлэлийн хэрэгцээний талаар гүн гүнзгий ойлголттой болсноор бид үйлдвэрүүдийг хүчирхэгжүүлсээр байна найдвартай, цэвэр, байгальд ээлтэй эсэргүүцлийг арилгах технологиор .

Та чип үйлдвэрлэгч, дэлгэцийн самбар үйлдвэрлэгч эсвэл ПХБ үйлдвэрлэгч эсэхээс үл хамааран химийн дусал бүрийг шилдэг бүтээлээр хангахын тулд Юаньанд итгэ.