N'ime ụwa nke microelectronics na-agbanwe agbanwe mgbe niile, nrụpụta semiconductor na ngwa anya nkenke, iji fotoresis dị oke mkpa na usoro fotolithography. Ihe dịkwa oke egwu bụ mwepụ nke photoresisist mgbe usoro nhazi ahụ gasịrị. Nke a bụ ebe ndị na-eyipụ ihe na-ese foto na-abata. Mana kedu ihe bụ kpọmkwem onye na-apụnara mmadụ ihe? Gịnị mere arụmọrụ ya ji dị mkpa na ụlọ ọrụ ndị dị elu?
1. Gịnị bụ onye na-akpachapụ anya nke Photoresist?
(1) Nkọwa na Ọrụ Isi
A onye na-ewepụ fotoresist bụ usoro kemịkalụ emebere ka ọ wepụ ọkwa fotoresist na mkpụrụ mgbe usoro lithographic gachara. Ndị na-ese foto bụ ihe ndị na-enwe mmetụta ọkụ na-eji na-emepụta ihe mkpuchi ihe na semiconductor wafers ma ọ bụ mbadamba sekit (PCBs). Mgbe arụchara ọrụ ha - ichebe akụkụ ụfọdụ n'oge etching ma ọ bụ ịkụnye - ha kwesịrị iwepụ ya kpamkpam n'emebighị ihe ndị dị n'okpuru.
Ihe ndị na-apụ apụ na-agbaze ma ọ bụ bulite ihe nkiri ndị a nke ọma, na-enye ohere ka ihicha ma jirikwa ya mee ihe ma ọ bụ nwee ọganihu na usoro mmepụta ọzọ.
2. Gịnị Mere Ịwepụ nke Ọma Ji Dị Mkpa?
(1) Mgbochi mmebi nke mkpụrụ osisi
Otu n'ime ihe ịma aka kasịnụ na ịpụpụ fotoresisist bụ ichekwa iguzosi ike n'ezi ihe nke mkpụrụ . Ma ị na-emekọ ihe na-esi ísì ụtọ silicon ma ọ bụ PCB multilayer dị mgbagwoju anya, ihe ọ bụla fọdụrụnụ ma ọ bụ mmegide kemịkalụ nwere ike ịkpata ntụpọ dị oke ọnụ ma ọ bụ ọdịda usoro . Onye na-ewepụ ihe dị elu na-eme ka mwepụ zuru oke na-enweghị corrosion ma ọ bụ n'elu.
(2) Na-enyere aka nrụpụta nkenke
N'ime ụlọ ọrụ dịka semiconductor na sistemụ microelectromechanical (MEMS), nhazi ọkwa nanometer . a na-achọkarị Ọbụna ọnụọgụ fotoresisist hapụrụ n'elu nwere ike gbanwee arụmọrụ eletrọnịkị ma ọ bụ mkpụrụ ngwaọrụ. Onye na-ebupụ ihe kachasị mma na-enyere ndị na-emepụta aka nweta ntụkwasị obi na ntinye usoro dị elu.
3. Ụdị nke Photoresist Stripping Agents
(1) Ihe mgbaze dabere na ihe mgbaze
Ndị a na-adabere na ihe mgbaze organic dị ka N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP), Dimethyl sulfoxide (DMSO), ma ọ bụ glycol ethers ndị ọzọ. Ọ bụ ezie na ihe mgbaze na-arụ ọrụ nke ọma ma na-ejikarị ya eme ihe, ha na-enwekarị nchegbu toxicity , ihe egwu ọkụ, na ụkpụrụ mkpofu siri ike..
(2) Ndị na-eme ihe na-ekpochapụ mmiri
Na nzaghachi maka nchegbu gburugburu ebe obibi na nchekwa, ndị na-agbapụta mmiri na-adabere na mmiri ma ọ bụ ọkara-mmiri enwetawo ewu ewu. Ndị ọrụ ndị a na-ejikọta surfactants, ndị na-emepụta chelating, na ndị na-egbochi corrosion iji nye ngwọta enyi na enyi . Yuanan ewepụtala usoro dabara na arụmọrụ dabere na mgbaze ka ọ na-ezute ụkpụrụ nkwado zuru ụwa ọnụ.
(3) Plasma Ashing (Ọzọ na-abụghị kemikal)
Ọ bụ ezie na ọ bụghị onye na-emepụta kemịkalụ kwa otu, ash plasma bụ usoro akọrọ nke na-eji ion reactive na -agbanyụ photoresisist . Otú ọ dị, ọ na-enwekarị ike ime mgbanwe na ọ dịghị adabara maka ihe ndị nwere mmetụta okpomọkụ.
Na Yuanan, anyị ghọtara na ọ bụghị ndị niile na-ese foto ka ekepụtara nhata . Dị ka nke a, mmepe ngwaahịa anyị na-elekwasị anya n'ịmepụta akwa akwa ndị na-ewepụ ihe dị iche iche na-eguzogide chemistries na ụdị mkpụrụ.
(1) Akụkụ ndị dị mkpa nke usoro ịwepụ nke Yuanan
Ọla anaghị emebi emebi dị ka aluminom, ọla kọpa na tungsten
Ịkwapụ ngwa ngwa maka ụda dị mma na nke na-adịghị mma na-eguzogide
Dakọtara na ụdị dị iche iche, gụnyere silicon, iko, na semiconductor ngwakọta
Na-ahụ maka gburugburu ebe obibi, na-ebelata VOCs na ihe ndị fọdụrụ na-egbu egbu
Ihe fọdụrụ dị ala maka nhicha dị mkpa na nanofabrication
(2) Mpaghara Ngwa
Semiconductor wafer nhicha
LCD na OLED ngosi mmepụta
Mepụta ngwaọrụ MEMS
Ebipụtara bọọdụ sekit (PCB) nhicha
Mgbasa ozi diski ike na nhazi oghere anya
5. Ihe ịma aka na Photoresist Stripping
(1) Ụdị Nguzogide Na-agbanwe agbanwe
Dị ka photoresists na-aghọwanye kemịkalụ siri ike-karịsịa na omimi UV ma ọ bụ EUV lithography - nhọrọ nke onye na-apụnara mmadụ ihe ga-amalite. Ụfọdụ fotoresists dị elu na-eguzogide ọgwụ mgbaze ọdịnala, na-achọ ka ngwọta kemịkal ọhụrụ nwere usoro mwepụ siri ike ma dị nchebe.
(2) Nrube isi na gburugburu ebe obibi na usoro iwu
Ndị na-emepụta ọgbara ọhụrụ na-eche nrụgide na-abawanye ụba iji belata ihe ọkụkụ na-egbu egbu ma belata ihe mkpofu. A na-ewepụ ihe mgbaze-dị arọ maka ihe ndị ọzọ na-acha akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ . Yuanan na-aza nke a site na ngwaahịa na-akwado nke ọma na-ezute RoHS, REACH, na iwu mkpofu mmiri mkpofu mpaghara.
6. Ịhọrọ onye na-akpachapụ anya nke ọma Photoresist
Ịhọrọ onye na-ewepụ ihe ziri ezi na-adabere n'ọtụtụ ihe teknụzụ:
Ụdị fotoresisist (ụda dị mma vs. ụda ọjọọ)
Substrate ihe na uche ya na corrosion
Usoro nhicha (ịgba, sook, ma ọ bụ ultrasonic)
Oge ntinye na okirikiri achọrọ
Atụmatụ ọgwụgwọ mkpofu
Yuanan na-enye nkwado teknụzụ zuru oke yana ngwọta ahaziri iche iji nyere ndị ahịa aka ịkwalite usoro nhicha ha maka mkpụrụ kachasị na ntụkwasị obi.
Mmechi
Ọ onye na-apụnara mmadụ ihe bụghị naanị ihe na-akwado ya - ọ bụ ihe na-enye aka n'ichepụta nkenke. Na-enweghị nkwụsị nke ọma na nchekwa dị mma, ahịrị mmepụta niile nwere ike ihu mmetọ, mfu ma ọ bụ mmebi akụrụngwa.
Emebere ihe ngwọta nkwụsị ọnụ nke Yuanan site na arụmọrụ, nchekwa na nkwado n'uche. Site na R&D na-aga n'ihu na nghọta miri emi nke mkpa microfabrication, anyị na-aga n'ihu na-enye ụlọ ọrụ ike na teknụzụ ndị a pụrụ ịdabere na ya, dị ọcha na gburugburu ebe obibi .
Ma ị bụ onye na-emepụta mgbawa, onye na-emepụta ihe ngosi, ma ọ bụ onye na-emepụta PCB, tụkwasara Yuanan obi ka ọ na-ebuga ọkaibe na kemistri ọ bụla.
