ការប្រឌិត semiconductor ទំនើបប្រឈមមុខនឹងការកើនឡើងនៃតម្រូវការកម្ដៅដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមក។ ដំណាក់កាលចេញភ្លាមៗនៃវត្ថុរាវត្រជាក់ដែលមានកេរ្តិ៍ដំណែលរំខានដល់ដំណើរការផលិតដែលបានបង្កើតឡើងនៅទូទាំងពិភពលោក។ គ្រឿងបរិក្ខារត្រូវតែកំណត់យ៉ាងឆាប់រហ័សនូវការជំនួសដែលអាចសម្រេចបាន ដើម្បីទ្រទ្រង់ខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម។ ការកើនឡើងនៃលំហូរកំដៅនៅក្នុងដំណើរការ wafer កម្រិតខ្ពស់ជំរុញការគ្រប់គ្រងកម្ដៅបែបប្រពៃណីដល់ដែនកំណត់ដាច់ខាតរបស់វា។ មជ្ឈមណ្ឌលទិន្នន័យ AI ក៏ត្រូវការការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពផ្នែករឹងដែលអាចទុកចិត្តបានផងដែរ។ វិស្វករទាមទារដំណោះស្រាយដ៏រឹងមាំដែលធានានូវពេលវេលាមិនដំណើរការនៃបរិក្ខារ និងគ្មានការចម្លងរោគ wafer ឡើយ។ ការបរាជ័យក្នុងការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពយ៉ាងជាក់លាក់នាំទៅរកការបរាជ័យផលិតកម្មដ៏មហន្តរាយ។
អ្នកនឹងរកឃើញថាហេតុអ្វីបានជា A អង្គធាតុរាវ fluorinated អេឡិកត្រូនិក បម្រើជាជម្រើសដ៏ច្បាស់លាស់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងកម្ដៅដែលសំខាន់ក្នុងបេសកកម្ម។ យើងនឹងស្វែងយល់ពីក្របខណ្ឌការវាយតម្លៃយ៉ាងម៉ត់ចត់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់វិស្វករគ្រឿងបរិក្ខារ។ តាមរយៈការគូសផែនទីចំនុចពុះកញ្ជ្រោលទៅកាន់ដំណើរការជាក់លាក់ អ្នកអាចរុករកដំណាក់កាលចាស់ដោយទំនុកចិត្ត។ អ្នកនឹងធានាបាននូវស្ថេរភាពប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែង និងការពារគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចដែលងាយរងគ្រោះ។
គន្លឹះយក
វត្ថុរាវដែលមានជាតិ fluorinated អេឡិចត្រូនិចផ្តល់នូវភាពអសកម្មគីមីដែលមិនអាចផ្គូផ្គងបាន និងកម្លាំង dielectric ការពារការបាត់បង់ទិន្នផលមហន្តរាយដែលទាក់ទងនឹងជម្រើសដែលមិនមែនជា fluorinated ។
ការជ្រើសរើសពឹងផ្អែកយ៉ាងខ្លាំងទៅលើការតម្រឹមចំណុចរំពុះរបស់អង្គធាតុរាវ (ចាប់ពី 50°C ដល់ 200°C+) ជាមួយនឹងកម្មវិធីពិសេសជាក់លាក់ ចាប់ពីអង្គធាតុត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពស្ងួត (TCUs) រហូតដល់ចំហាយទឹក-ដំណាក់កាល Reflow (VPR)។
ការរុករកដំណាក់កាលបន្តបន្ទាប់គ្នាទាមទារឱ្យយល់អំពីភាពខុសគ្នានៃសារធាតុគីមីរវាង PFCs និង HFEs ដោយផ្តល់អាទិភាពទាំងដំណើរការកម្ដៅ និងការវិវត្តន៍នៃការអនុលោមតាម GWP/ODP ។
ការចំណាយសរុបនៃកម្មសិទ្ធិ (TCO) នៅក្នុងហ៊ីងម៉ាស៊ីនត្រជាក់ semiconductor មិនត្រឹមតែលើថ្លៃដើមប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែនៅលើអត្រាហួត ការងើបឡើងវិញនៃសារធាតុរាវ និងភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈ។
ករណីធុរកិច្ច៖ ហេតុអ្វីបានជា Semiconductor Fabs ទាមទារសារធាតុរាវ Fluorinated
ក្របខ័ណ្ឌហានិភ័យនៃការចម្លងរោគ
វត្ថុរាវកម្ដៅបែបប្រពៃណីបរាជ័យទាំងស្រុងនៅក្នុងបរិយាកាសប្រឌិតទំនើប។ អ៊ីដ្រូកាបូនសំយោគជារឿយៗទុកចោលនូវសំណល់ដែលមិនចង់បាននៅពេលហួត។ ប្រេងស៊ីលីកូនធ្វើចំណាកស្រុកយ៉ាងងាយស្រួលនៅទូទាំងបរិស្ថានបន្ទប់ស្អាត។ ល្បាយទឹក និង glycol បង្ហាញពីហានិភ័យនៃចរន្តខ្លីធ្ងន់ធ្ងរ។ ការលេចធ្លាយខ្នាតតូចកើតឡើងដោយជៀសមិនរួចនៅក្នុងស្ថាបត្យកម្មបូមស្មុគស្មាញ។ ប្រសិនបើប្រេងស៊ីលីកុនលេចធ្លាយចូលទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះដំណើរការ វាគ្របដណ្តប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុបទិកដែលងាយរងគ្រោះ។ នេះបំផ្លាញទិន្នផល wafer ជាអចិន្ត្រៃយ៍។ Fabs ត្រូវតែលុបចោលទាំងស្រុងនូវឧបករណ៍កខ្វក់។ នេះបង្កើតការផ្អាកប្រតិបត្តិការដែលមិនអាចទទួលយកបាន។ វិស្វករជៀសវាងវត្ថុរាវទាំងនេះដើម្បីការពារប្រាក់រាប់ពាន់លានដុល្លារក្នុងការផលិតសកម្ម។
អត្ថប្រយោជន៍ម៉ូលេគុល
អ្វីដែលធ្វើឱ្យ a សារធាតុរាវ fluorinated ខុសគ្នាជាមូលដ្ឋាន? អាថ៌កំបាំងស្ថិតនៅក្នុងវិទ្យាសាស្ត្រម៉ូលេគុលមូលដ្ឋាន។ ចំណងកាបូន-ហ្វ្លុយអូរីន (CF) ផ្តល់នូវកម្លាំងខ្លាំង។ វាទប់ទល់នឹងការបំបែកគីមីនៅក្រោមភាពតានតឹងកម្ដៅខ្លាំង។ ចំណងដ៏រឹងមាំនេះធានាបាននូវស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធពិសេសតាមពេលវេលា។ វត្ថុរាវនៅតែមិនឆេះទាំងស្រុង។ វាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងអាស៊ីត បាស ឬឧស្ម័នប្រតិកម្មទេ។ វាក៏មានដង់ស៊ីតេរាវខ្ពស់មិនធម្មតាផងដែរ។ លក្ខណៈទាំងនេះធានានូវដំណើរការមានស្ថេរភាពនៅក្នុងរង្វង់ផលិតកម្មជាបន្តបន្ទាប់។
ភាពឯកោអគ្គិសនី
ភាពឯកោអគ្គិសនីនៅតែសំខាន់ក្នុងការផលិតមីក្រូឈីប។ ការផលិត wafer ពឹងផ្អែកយ៉ាងខ្លាំងលើសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពរសើបខ្លាំង។ ចង្កឹះអេឡិចត្រូស្ទិចត្រូវការការត្រួតពិនិត្យវ៉ុលច្បាស់លាស់ដើម្បីទប់ wafers រាបស្មើ។ ស្តង់ដារមួយ។ វត្ថុរាវត្រជាក់ ត្រូវតែផ្តល់នូវភាពធន់នៃបរិមាណខ្ពស់ខ្លាំង។ ពួកគេត្រូវការលើសពី 10^6 Ω-cm ដែលអាចទុកចិត្តបាន។ ពួកគេក៏ត្រូវការថេរ dielectric ទាបនៅក្រោម 2.0 ។ លក្ខណៈសម្បត្តិជាក់លាក់ទាំងនេះការពារសៀគ្វីខ្លីមហន្តរាយ។ ពួកគេអនុញ្ញាតឱ្យមានការទាញយកកម្ដៅដោយទំនាក់ទំនងផ្ទាល់ដោយសុវត្ថិភាពពីសមាសធាតុបន្តផ្ទាល់។
លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យវាយតម្លៃស្នូលសម្រាប់វត្ថុរាវផ្ទេរកំដៅ
ដំណើរការកំដៅ និងថាមវន្តនៃសារធាតុរាវ
វិស្វករត្រូវតែវាយតម្លៃកត្តាថាមវន្តជាច្រើនមុនពេលដាក់ពង្រាយ។ ជួរសីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការកំណត់ការប្រើប្រាស់ប្រចាំថ្ងៃនៅក្នុង fab ។ viscosity Kinematic មានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់សម្រាប់ការដឹកជញ្ជូនសារធាតុរាវ។ យើងត្រូវតែធានាបាននូវការបូមដែលអាចទុកចិត្តបាននៅកម្រិតទាបបំផុតដូចជា -60 ° C ។ អង្គធាតុរាវក្រាស់បំផ្លាញបំពង់បូម និងលំហូរកម្ដៅ។ សមត្ថភាពកំដៅជាក់លាក់កំណត់ការស្រូបយកថាមពលឆៅ។ កំដៅមិនទាន់ឃើញច្បាស់នៃចំហាយទឹកបង្ហាញថាមានសារៈសំខាន់ដូចគ្នា។ វាបំបែកលំហូរតែមួយដំណាក់កាលពីពីរដំណាក់កាល នៃការត្រជាក់ semiconductor ។ ប្រសិទ្ធភាព កំដៅមិនទាន់ឃើញច្បាស់ខ្ពស់មានន័យថា អង្គធាតុរាវស្រូបថាមពលដ៏ច្រើនកំឡុងពេលពុះ។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស និងសុវត្ថិភាពអគ្គិសនី
កម្លាំងបំបែក Dielectric បម្រើជារង្វាស់សុវត្ថិភាពដ៏សំខាន់។ ដែលអាចទុកចិត្តបាន។ សារធាតុរាវផ្ទេរកំដៅ ជាធម្មតាផ្តល់ 30-50 KV ។ ការវាយតម្លៃតង់ស្យុងខ្ពស់នេះអនុញ្ញាតឱ្យពន្លិចទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់។ ចំណុចពន្លឺកំណត់សុវត្ថិភាពអគ្គីភ័យជាមូលដ្ឋាននៅទូទាំងកន្លែង។ រុក្ខជាតិ semiconductor កំណត់យ៉ាងតឹងរ៉ឹងនូវលក្ខណៈសម្បត្តិដែលមិនងាយឆេះ។ អ្នកមិនអាចប្រថុយនឹងចំហាយដែលងាយឆេះនៅជិតឧបករណ៍ប្លាស្មាថាមពលខ្ពស់បានទេ។ រឹមសុវត្ថិភាពច្បាស់លាស់ការពារទាំងកម្លាំងពលកម្ម និងម៉ាស៊ីនស្វ័យប្រវត្តិ។
ការពិតអំពីបរិស្ថាន និងអនុលោមភាព
បទប្បញ្ញត្តិបរិស្ថានសកលមានការវិវត្តយ៉ាងឆាប់រហ័សនាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ។ អ្នកត្រូវតែវាយតម្លៃសក្តានុពលនៃការថយចុះអូហ្សូន (ODP) ប្រកបដោយតម្លាភាព។ ម៉ែត្រ ODP ត្រូវតែនៅសូន្យយ៉ាងតឹងរឹង។ រង្វាស់សក្តានុពលនៃការឡើងកំដៅផែនដី (GWP) មានភាពខុសប្លែកគ្នាយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងចំណោមគ្រួសារសារធាតុរាវ។ សម្ពាធបទប្បញ្ញត្តិតែងតែជំរុញឧស្សាហកម្មទៅមុខ។ កន្លែងផលិតកំពុងផ្លាស់ប្តូរឆ្ពោះទៅរកមនុស្សជំនាន់ក្រោយប្រកបដោយនិរន្តរភាព សារធាតុគីមី semiconductor ។ ក្រុមលទ្ធកម្មប្រឈមមុខនឹងអាណត្តិដ៏តឹងរ៉ឹងដើម្បីលុបចោលវត្ថុរាវដែលមានកេរ្តិ៍ដំណែល GWP ខ្ពស់ និងចាស់។
លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យនៃការវាយតម្លៃ សេចក្តីយោងម៉ាទ្រីស
| ការវាយតម្លៃប្រភេទ |
គន្លឹះ មេត្រិក |
តម្លៃគោលដៅ ផល |
ប៉ះពាល់ប្រតិបត្តិការ |
| ថាមវន្តកម្ដៅ |
Kinematic viscosity |
< 5 cSt នៅ -50 ° C |
ធានានូវលទ្ធភាពនៃការបូមទឹកនៅក្នុងដំណើរការ etching ត្រជាក់ជ្រៅ។ |
| សុវត្ថិភាពអគ្គិសនី |
កម្លាំង Dielectric |
> 35 KV |
ការពារការកកិតកំឡុងពេលពន្លិចទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់។ |
| បទប្បញ្ញត្តិ |
ការថយចុះអូហ្សូន (ODP) |
យ៉ាងតឹងរ៉ឹង ០ |
ធានាបាននូវការអនុលោមពេញលេញជាមួយនឹងសន្ធិសញ្ញាបរិស្ថានអន្តរជាតិ។ |
| សុវត្ថិភាពឧបករណ៍ |
ចំណុចពន្លឺ |
គ្មាន |
លុបបំបាត់ហានិភ័យនៃការឆេះនៅជិតប្រភពកំដៅដែលមានថាមពលខ្ពស់។ |
ផែនទីកម្មវិធី៖ តម្រឹមចំណុចពុះជាមួយដំណើរការ Fab
ការគូសផែនទីចំណុចក្តៅទៅនឹងផ្នែករឹងជាក់លាក់ធានានូវប្រសិទ្ធភាពអតិបរមា។ ដំណាក់កាលផ្សេងគ្នានៃការបង្កើត microchip បង្កើតបន្ទុកកំដៅខុសៗគ្នាយ៉ាងច្រើន។ អនុញ្ញាតឱ្យយើងរុករកកម្រិតសីតុណ្ហភាពបឋមជាប្រព័ន្ធ។
កម្រិត 50°C ដល់ 90°C (ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ និងម៉ាស៊ីនត្រជាក់ដំណាក់កាលតែមួយ)
ជួរសីតុណ្ហភាពមធ្យមនេះផ្តល់ថាមពលដល់ហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធ fab សំខាន់ៗ។ យើងប្រើវត្ថុរាវទាំងនេះនៅខាងក្នុងអង្គភាពត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាព (TCUs)។ ម៉ាស៊ីនសម្ងួត etching ពឹងផ្អែកយ៉ាងខ្លាំងលើចរាចរ TCU ស្ថិរភាព។ ឧបករណ៍បំរែបំរួលជាតិគីមីដែលបង្កើនប្លាស្មា (PECVD) ត្រូវការស្ថេរភាពស្រដៀងគ្នា។ ម៉ាស៊ីនផ្សាំអ៊ីយ៉ុងក៏ប្រើកម្រិតនេះសម្រាប់ការដកកំដៅជាបន្តបន្ទាប់។ លើសពីនេះ ជួរនេះសមនឹងស្ថាបត្យកម្មការជ្រមុជដោយផ្ទាល់ទៅបន្ទះឈីបយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ។ ម៉ាស៊ីនមេ AI ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ប្រើការបំភាយសារធាតុរាវសម្រាប់ការយកចេញកំដៅយ៉ាងឆាប់រហ័ស។ អង្គធាតុរាវស្រូបកំដៅម៉ាស៊ីនមេ ហើយពុះបន្តិចម្តងៗ។
កម្រិត 100°C ដល់ 160°C (ការធ្វើតេស្តភាពជឿជាក់)
ការធានាគុណភាព និងការធ្វើតេស្តភាពអាចជឿជាក់បានទាមទារលក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅជាក់លាក់។ ឧបករណ៍ធ្វើតេស្តស្វ័យប្រវត្តិ (ATE) ប្រើប្រាស់កម្រិតមធ្យមនេះយ៉ាងទូលំទូលាយ។ ការធ្វើតេស្តអនុលោមតាម MIL-STD-883 ថ្នាក់យោធាទាមទារស្ថេរភាពកម្ដៅដាច់ខាត។ យើងធ្វើការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយសរុបនៅក្នុងតង្កៀបសីតុណ្ហភាពនេះ។ វិស្វករបានជ្រមុជកញ្ចប់បិទជិត hermetically ចូលទៅក្នុងអាងងូតទឹកក្តៅ។ ពួកគេស្វែងរកពពុះឧស្ម័នដែលពង្រីកតូចៗដែលបង្ហាញពីការបរាជ័យនៃការបិទត្រា។ ការធ្វើតេស្តឆក់កម្ដៅក៏ពឹងផ្អែកលើកម្រិតនេះដែរ។ សមាសធាតុឆ្លងកាត់ការជិះកង់ងូតទឹកក្តៅ និងត្រជាក់យ៉ាងលឿន ដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពធន់។
200 ° C + កម្រិត (ការផលិតកំដៅខ្ពស់)
ការផលិតកំដៅខ្ពស់ខ្លាំង ប្រើប្រាស់វត្ថុរាវដែលមានកំដៅខ្ពស់ និងកម្រិតខ្ពស់ទាំងនេះ។ ចំហាយទឹក-ដំណាក់កាល Reflow (VPR) soldering ដើរតួនាទីជាកម្មវិធីចម្បង។ VPR ប្រើប្រាស់ចំណុចក្តៅដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ច្បាស់លាស់។ វារលាយ solder គ្មានសំណស្មុគស្មាញទាំងស្រុងនិងស្មើភាពគ្នា។ វាការពារការខូចខាតកម្ដៅដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មទៅនឹងសមាសធាតុមីក្រូដែលផុយស្រួយ។ ភួយចំហាយមិនរាប់បញ្ចូលអុកស៊ីហ៊្សែនទាំងស្រុងក្នុងដំណាក់កាលផ្សារ។ នេះលុបបំបាត់ពិការភាពអុកស៊ីតកម្មនៅលើបន្ទះសៀគ្វីដែលបានបញ្ចប់។
ការគូសផែនទីកម្មវិធីសង្ខេប គំនូសតាង
| ចំណុចរំពុះ លំដាប់ថ្នាក់ |
បឋមសិក្សា Fab |
ឥរិយាបថដំណាក់កាល |
| 50 ° C - 90 ° C |
ម៉ាស៊ីនត្រជាក់, TCUs, AI Server Immersion |
ការពុះតែមួយដំណាក់កាល និងពីរដំណាក់កាល |
| 100 ° C - 160 ° C |
ការធ្វើតេស្ត MIL-STD ការរកឃើញការលេចធ្លាយសរុប |
ងូតទឹករាវដែលមានស្ថេរភាព |
| 200°C+ |
ការបញ្ចូលចំហាយទឹកឡើងវិញដំណាក់កាល (VPR) |
ភួយចំហាយដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ |
ការរុករកដំណាក់កាលបន្តបន្ទាប់បន្សំ៖ ការវាយតម្លៃការជំនួសការធ្លាក់ចូល
បរិបទទីផ្សារ
ទីផ្សារសម្ភារៈសកលបច្ចុប្បន្នប្រឈមមុខនឹងការផ្លាស់ប្តូរការផ្គត់ផ្គង់ដ៏ធំ។ ម៉ាកល្បី ៗ បានបញ្ចប់ជាផ្លូវការនូវដំណាក់កាលផលិតកម្មដែលបានគ្រោងទុក។ Fabs ជួបប្រទះនូវតម្រូវការបន្ទាន់សម្រាប់ជម្រើសដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់ពេញលេញ។ ការកំណត់ការជំនួសការធ្លាក់ចុះឥឡូវនេះជាអាទិភាពនៃកន្លែងសំខាន់។ បើគ្មានខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបាន ខ្សែផលិតកម្មដែលមានស្រាប់ប្រឈមនឹងការរំខានយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ។ វិស្វករមិនអាចគ្រាន់តែចាក់សារធាតុគីមីដែលមិនបានផ្ទៀងផ្ទាត់ទៅក្នុងម៉ាស៊ីនត្រជាក់ម៉ាស៊ីនតម្លៃរាប់លានដុល្លារនោះទេ។
ទម្រង់ PFC ទល់នឹង HFE
អ្នកត្រូវយល់ពីភាពខុសគ្នាខាងគីមីខុសគ្នារវាងជំនាន់វត្ថុរាវ។ Perfluorocarbons (PFCs) ផ្តល់នូវកម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ និងភាពអសកម្មគីមី។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ពួកវាមានរង្វាស់សក្តានុពលនៃការឡើងកំដៅផែនដីខ្ពស់ជាងយ៉ាងខ្លាំង។ Hydrofluoroethers (HFEs) ផ្តល់នូវជម្រើសដ៏ទំនើប និងមានតុល្យភាព។ ពួកគេមានពិន្ទុ GWP ទាប និងរក្សា ODP សូន្យ។ អ្នកត្រូវតែថ្លឹងថ្លែងពីដំណើរការកម្ដៅឆៅប្រឆាំងនឹងការអនុលោមតាមបរិស្ថានយ៉ាងតឹងរឹង។ គ្រឿងបរិក្ខារជាញឹកញាប់ផ្លាស់ប្តូរទៅ HFEs ដើម្បីបំពេញតាមគោលដៅនិរន្តរភាពដែលឈ្លានពាន។
ពិធីការសុពលភាព
ពិធីសារដែលមានសុពលភាពតម្រូវឱ្យមានការប្រកាន់ខ្ជាប់យ៉ាងម៉ត់ចត់ មុនពេលការអនុម័តចុងក្រោយ។ តើអ្នកមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់សម្រាប់វត្ថុរាវកម្ដៅម៉ាកថ្មីដោយសុវត្ថិភាពដោយរបៀបណា?
ធ្វើការត្រួតពិនិត្យភាពត្រូវគ្នានៃសម្ភារៈ៖ សាកល្បង elastomers ចម្រុះ ប្លាស្ទិករឹង និងលោហធាតុកម្រនិងអសកម្មយ៉ាងហ្មត់ចត់។
ប្រតិបត្តិទម្រង់កម្ដៅ៖ ប្រៀបធៀបទិន្នន័យថាមវន្តថ្មីប្រឆាំងនឹងទិន្នន័យមូលដ្ឋាននៃកេរ្តិ៍ដំណែលប្រវត្តិសាស្ត្រ។
ម៉ូនីទ័រសម្រាប់ការហើមរបស់ elastomer៖ ចិញ្ចៀន O-rings មួយចំនួនស្រូបយកសារធាតុគីមីដែលមិនឆបគ្នា ពង្រីក ហើយទីបំផុតបរាជ័យ។
ផ្ទៀងផ្ទាត់ដំណើរការបូម៖ ធានាថា viscosity kinematic ថ្មីត្រូវគ្នានឹងខ្សែកោងបូមមេកានិចដែលមានស្រាប់យ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ។
ការផ្សាភ្ជាប់ហើមបណ្តាលឱ្យលេចធ្លាយមីក្រូទស្សន៍ដ៏មហន្តរាយតាមពេលវេលា។ ការធ្វើតេស្តលេងជាកីឡាករបម្រុងឱ្យបានហ្មត់ចត់ ការពារការបរាជ័យផ្នែករឹងដ៏មហន្តរាយនៅពេលក្រោយ។
ការអនុវត្តជាក់ស្តែង
ភាពសុចរិតរបស់ប្រព័ន្ធ និងការបាត់បង់ការហួត
ចូរយើងពិភាក្សាអំពីបញ្ហាប្រឈមនៃការដាក់ពង្រាយរាងកាយនៅក្នុង fabs ទំនើប។ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការផ្ទុកប្រព័ន្ធមានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់ប្រតិបត្តិការប្រចាំថ្ងៃ។ វត្ថុរាវកម្រិតខ្ពស់ទាំងនេះមានភាពតានតឹងលើផ្ទៃទាបបំផុតតាមធម្មជាតិ។ ពួកវាជ្រាបចូលទៅក្នុងចន្លោះមីក្រូទស្សន៍ និងចន្លោះតឹងបានយ៉ាងងាយ។ ទ្រព្យសម្បត្តិជាក់លាក់នេះបង្ហាញថាល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់ការសម្អាតសមាសធាតុច្បាស់លាស់។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ វាត្រូវការការផ្សាភ្ជាប់មេកានិចដែលមានវិស្វកម្មខ្ពស់នៅទូទាំងរង្វិលជុំត្រជាក់។ gaskets កៅស៊ូស្តង់ដារជាញឹកញាប់បរាជ័យក្នុងការផ្ទុកសារធាតុរាវ។ ហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធនៃការផ្សាភ្ជាប់មិនល្អនាំឱ្យបាត់បង់ការហួតយ៉ាងលឿន និងបន្តទៅក្នុងបន្ទប់សម្អាត។
ការដាក់ពង្រាយពីរដំណាក់កាលទល់នឹងដំណាក់កាលតែមួយ
តម្រូវការហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធមានភាពខុសគ្នាយ៉ាងខ្លាំងដោយផ្អែកលើយុទ្ធសាស្ត្រដំណាក់កាលដែលបានជ្រើសរើស។
ការដាក់ឱ្យដំណើរការតែមួយដំណាក់កាល៖ ស្នប់ចរាចរសារធាតុរាវជាបន្តបន្ទាប់ដោយមិនអនុញ្ញាតឱ្យវាឆ្អិន។ វានៅសល់រាវទាំងស្រុង។ ប្រព័ន្ធទាំងនេះគឺសាមញ្ញជាងក្នុងការបញ្ចូលឡើងវិញទៅក្នុង fabs ដែលមានស្រាប់។ ពួកគេប្រើប្រាស់ម៉ាស៊ីនកំដៅស្តង់ដារ ម៉ាស៊ីនបូមស្តង់ដារ និងឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរកំដៅមូលដ្ឋាន។
ការដាក់ពង្រាយពីរដំណាក់កាល៖ អង្គធាតុរាវផ្ទុះនៅពេលប៉ះជាមួយមីក្រូឈីបក្តៅ។ វាស្រូបយកបន្ទុកកំដៅដ៏ធំតាមរយៈកំដៅមិនទាន់ឃើញច្បាស់នៃចំហាយ មេគុណផ្ទេរកំដៅឡើងដល់ 1.5 W/cm2/℃ ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ពួកគេត្រូវការស្ថាបត្យកម្មស្ថាបត្យកម្មស្មុគ្រស្មាញខ្ពស់ក្នុងការស្តារចំហាយ។ ឧបករណ៏ condensation ពិសេសត្រូវតែចាប់យកចំហាយដែលកើនឡើងយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។
វិស្វករត្រូវតែផ្គូផ្គងយុទ្ធសាស្ត្រដាក់ពង្រាយទៅនឹងដង់ស៊ីតេកំដៅជាក់លាក់។
ការថែរក្សាសារធាតុរាវ និងវដ្តជីវិត
វត្ថុរាវថយចុះបន្តិចម្តងៗក្រោមភាពតានតឹងកម្ដៅខ្លាំងជាបន្តបន្ទាប់។ អ្នកត្រូវតែត្រួតពិនិត្យកម្រិតនៃការបំផ្លិចបំផ្លាញគីមីជាក់លាក់ជានិច្ច។ អនុវត្តប្រព័ន្ធតម្រងក្នុងជួរដែលមិនប្រើដដែលដ៏រឹងមាំភ្លាមៗ។ ភាគល្អិតលោហធាតុពីការពាក់ស្នប់មិនត្រូវចរាចរតាមសន្ទះដែលឆ្ងាញ់នោះទេ។ តម្រងរង micron ចាប់យកសារធាតុកខ្វក់ដែលមានគ្រោះថ្នាក់ទាំងនេះយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ ជាចុងក្រោយ សូមពិចារណាអំពីយុទ្ធសាស្ត្រស្តារឡើងវិញនូវជាតិទឹកក្នុងជីវិតចុងក្រោយ។ សេវាកម្មចម្រោះអាចសម្អាតវត្ថុរាវដែលបានប្រើរួចយ៉ាងសកម្ម។ ការគ្រប់គ្រងវដ្តជីវិតបានត្រឹមត្រូវធានានូវពេលវេលាដំណើរការប្រតិបត្តិការអតិបរមានៅទូទាំងកន្លែង។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ការបញ្ជាក់អង្គធាតុរាវកម្ដៅកម្រិតខ្ពស់ពាក់ព័ន្ធនឹងការធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពនៃអថេរវិស្វកម្មស្មុគស្មាញជាច្រើន។ អ្នកត្រូវតែធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពតម្រូវការកម្ដៅខ្លាំង សុវត្ថិភាពអគ្គិសនីរឹង និងអនុលោមតាមបរិស្ថានដែលកំពុងវិវត្ត។ ការប្រឌិតបែបទំនើបពឹងផ្អែកទាំងស្រុងលើម៉ូលេគុលដែលមានស្ថេរភាព និងមិនងាយឆេះ។ វិធីសាស្រ្តត្រជាក់បែបប្រពៃណីមិនអាចទ្រទ្រង់លំហូរកំដៅដ៏ធំនៃ wafers ជំនាន់ក្រោយបានទេ។
ក្រុមលទ្ធកម្មគួរតែអនុម័តក្របខណ្ឌបញ្ជីសម្រាំងឡូជីខល។ ចាប់ផ្តើមដោយកំណត់ចំណុចរំពុះគោលដៅរបស់អ្នកដោយផ្អែកលើដំណើរការ។ បន្ទាប់មក ផ្ទៀងផ្ទាត់តម្រូវការបំបែក dielectric ពិតប្រាកដសម្រាប់ផ្នែករឹងរបស់អ្នក។ ជាចុងក្រោយ ត្រងបេក្ខជនដែលនៅសល់ដោយកម្រិត GWP តឹងរឹង។ លំដាប់ច្បាស់លាស់នេះលុបបំបាត់ជម្រើសដែលមិនឆបគ្នាភ្លាមៗ។
កុំរង់ចាំការផ្គត់ផ្គង់កេរដំណែលត្រូវរលាយបាត់ទាំងស្រុង។ ស្នើសុំសន្លឹកទិន្នន័យបច្ចេកទេសដែលបានធ្វើបច្ចុប្បន្នភាព (TDS) សម្រាប់ជម្រើសបច្ចុប្បន្ន។ បញ្ជាទិញសំណាកវត្ថុរាវតូចៗសម្រាប់ការធ្វើតេស្តលេងជាកីឡាករបម្រុងភ្លាមៗនៅក្នុងបន្ទប់ពិសោធន៍របស់អ្នក។ រៀបចំការពិគ្រោះយោបល់ផ្នែកស្ថាបត្យកម្មកម្ដៅដ៏ទូលំទូលាយជាមួយក្រុមវិស្វករជំនាញនៅថ្ងៃនេះ។
សំណួរគេសួរញឹកញាប់
សំណួរ៖ តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាងការបញ្ចុះកម្តៅតែមួយដំណាក់កាល និងពីរដំណាក់កាល ជាមួយនឹងវត្ថុរាវ fluorinated?
ចម្លើយៈ ភាពត្រជាក់តែមួយដំណាក់កាល ចរាចររាវឥតឈប់ឈរ ដោយមិនឆ្អិនវា។ វាទាមទារម៉ាស៊ីនបូមទឹកធម្មតា និងម៉ាស៊ីនត្រជាក់ស្តង់ដារ។ ការធ្វើឱ្យត្រជាក់ពីរដំណាក់កាលអនុញ្ញាតឱ្យវត្ថុរាវឆ្អិននៅពេលមានទំនាក់ទំនងជាមួយសមាសធាតុក្តៅ។ វាប្រើប្រាស់កំដៅមិនទាន់ឃើញច្បាស់នៃចំហាយទឹក ដើម្បីស្រូបយកថាមពលដ៏ធំ។ ប្រព័ន្ធពីរដំណាក់កាល ត្រូវការធុងបិទជិតដ៏ស្មុគស្មាញ និងរបុំ condensation រួមបញ្ចូលគ្នា ដើម្បីយកចំហាយទឹកមកវិញ។
សំណួរ៖ តើវត្ថុរាវដែលមានជាតិ fluorinated អេឡិចត្រូនិចអាចបំផ្លាញឧបករណ៍ semiconductor fab ដែរឬទេ?
ចម្លើយ៖ ទេ ពួកវាមានភាពអសកម្មគីមីខ្លាំង ហើយមិនមានប្រតិកម្មជាមួយលោហៈ ឬប្លាស្ទិកទេ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ពួកវាអាចបណ្តាលឱ្យ elastomers មិនឆបគ្នាជាក់លាក់ហើម។ អ្នកត្រូវតែប្រើការផ្សាភ្ជាប់ដែលមានវិស្វកម្មខ្ពស់ ដូចជា fluoropolymer ឯកទេស ដើម្បីទប់ស្កាត់ការលេចធ្លាយ។ កៅស៊ូ O-rings ស្តង់ដារជារឿយៗបរាជ័យនៅពេលដែលប៉ះពាល់នឹងវត្ថុរាវដែលមានភាពតានតឹងលើផ្ទៃទាប។
សំណួរ៖ តើវត្ថុរាវទាំងនេះប៉ះពាល់ដល់ការបោះជំហាននៃមជ្ឈមណ្ឌលទិន្នន័យ និងថ្លៃត្រជាក់យ៉ាងដូចម្តេច?
ចម្លើយ៖ ការធ្វើឱ្យត្រជាក់ដោយការពន្លិចដោយផ្ទាល់ លុបបំបាត់តម្រូវការសម្រាប់ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ដ៏ធំ ជាន់ខ្ពស់ និងកង្ហារម៉ាស៊ីនមេដែលមានសំលេងរំខាន។ Racks អាចត្រូវបានខ្ចប់នៅជិតគ្នា។ នេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវដង់ស៊ីតេនៃការគណនាក្នុងមួយហ្វីតការ៉េ។ វាអនុញ្ញាតឱ្យគ្រឿងបរិក្ខារកាត់បន្ថយទំហំជើងទាំងមូលរបស់ពួកគេ ខណៈពេលដែលគ្រប់គ្រងបន្ទុកការងាររបស់ AI កាន់តែខ្ពស់។
សំណួរ៖ តើវត្ថុរាវត្រជាក់ដែលមានហ្វ្លុយអូរីនមានជាតិពុល ឬអាចឆេះបានដែរឬទេ?
ចម្លើយ៖ ពួកវាមិនងាយឆេះ និងមិនមានចំណុចពន្លឺ។ ពួកវាបង្ហាញទម្រង់នៃការពុលទាបបំផុត។ នៅក្រោមនីតិវិធីប្រតិបត្តិការស្តង់ដារ ពួកគេមិនបង្កគ្រោះថ្នាក់ខ្លាំងដល់កម្មករនិយោជិតឡើយ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ គ្រឿងបរិក្ខារត្រូវតែរក្សាខ្យល់ចេញចូលបានត្រឹមត្រូវ ដើម្បីការពារការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់អុកស៊ីសែន ក្នុងករណីមានការធ្លាយប្រេងភ្លាមៗ។
