Nrụpụta semiconductor ọgbara ọhụrụ na-eche ihu mkpa ọkụ na-arị elu karịa ka ọ dịtụbeghị mbụ. Mwepu na mberede nke mmiri jụrụ oyi na-akpaghasị usoro nrụpụta ewepụtara n'ụwa niile. Ụlọ ọrụ ga-achọpụta ngwa ngwa ngbanwe ndị nwere ike ịkwado ahịrị mmepụta. Mmụba ọkụ ọkụ na nhazi wafer dị elu na-akpali njikwa okpomọkụ ọdịnala ruo oke ya. Ebe data AI na-achọkwa njikwa okpomọkụ ngwaike ntụkwasị obi. Ndị injinia na-achọ ihe ngwọta siri ike na-ekwe nkwa ọdịda akụrụngwa efu na enweghị mmetọ wafer. Ọdịda ịchịkwa okpomọkụ na-eduga kpọmkwem na ọdịda nrụpụta dị egwu.
Ị ga-achọpụta ihe kpatara ya mmiri mmiri fluorinated eletrọnịkị na-eje ozi dị ka nhọrọ doro anya maka njikwa okpomọkụ dị oke mkpa. Anyị ga-enyocha usoro nyocha siri ike emebere maka ndị injinia akụrụngwa. Site n'ịdepụta isi ihe na-esi na usoro fab a kapịrị ọnụ, ị nwere ike iji obi ike mee njem n'oge nketa. Ị ga-ahụ na nkwụsi ike na-arụ ọrụ ogologo oge ma chebe ngwá electronic nwere mmetụta.
Isi ihe eji eme ihe
Mmiri mmiri eletrọnịkị fluorinated na-enye kemịkalụ kemịkalụ na-enweghị atụ na ike dielectric, na-egbochi mfu mkpụrụ ọdachi na-ejikọta ya na ihe ndị ọzọ na-abụghị fluorinated.
Nhọrọ nke ukwuu na-adabere n'ikwado ebe mmiri na-esi esi (site na 50C ruo 200°C+) na ngwa fab akọwapụtara, site na Ngalaba Na-ahụ Maka Ọnọdụ okpomọkụ (TCUs) ruo Vapor-Phase Reflow (VPR).
Ịgagharị usoro ihe nketa chọrọ ịghọta kemịkalụ kemịkalụ dị n'etiti PFC na HFE, na-ebute ụzọ ma arụmọrụ ọkụ yana nkwalite nnabata GWP/ODP.
Mkpokọta ọnụ ahịa nke onye nwe (TCO) na semiconductor jụrụ oyi na-adabere ọ bụghị naanị na ọnụ ahịa dị n'ihu, kama na ọnụego evaporation, mgbake mmiri, na ndakọrịta ihe.
Ikpe Azụmahịa: Ihe kpatara Semiconductor Fabs ji achọ mmiri mmiri nwere Fluorinated
Usoro ihe egwu mmetọ ahụ
Mmiri okpomọkụ ọdịnala na-ada kpamkpam na gburugburu ebe a na-emepụta ọgbara ọhụrụ. Hydrocarbons sịntetik na-ahapụkarị ihe ndị na-adịghị mma mgbe ikuku na-ekupụ. Mmanụ silicone na-akwaga n'ụzọ dị mfe gafee gburugburu ụlọ dị ọcha. Ngwakọta mmiri na glycol na-ebute nnukwu ihe egwu dị mkpirikpi. Obere ntapu na-eme n'ụzọ a na-apụghị izere ezere n'ime ụlọ ịgba mmiri dị mgbagwoju anya. Ọ bụrụ na mmanụ silicone na-adaba n'ime ụlọ usoro, ọ na-ekpuchi sensọ anya anya. Nke a na-emebi mkpụrụ wafer kpamkpam. Akpụkpọ anụ ga-ekpochapụ ngwa ndị emetọọ kpamkpam. Nke a na-emepụta oge ọrụ na-adịghị anakwere. Ndị injinia na-ezere mmiri ndị a iji chebe ọtụtụ ijeri dollar na nrụpụta ọrụ.
Uru Molecular
Gịnị na-eme a fluorine mmiri mmiri fundamentally dị iche iche? Ihe nzuzo dị na sayensị ụmụ irighiri ihe. Njikọ carbon-fluorine (CF) na-enye oke ike. Ọ na-eguzogide ndakpọ kemịkalụ n'okpuru nrụgide okpomọkụ siri ike. Nkekọ siri ike a na-eme ka nkwụsi ike n'ụdị pụrụiche ka oge na-aga. Mmiri ahụ na-anọgide na-enweghị ọkụ. Ọ naghị emeghachi omume na acid, bases, ma ọ bụ gas na-emeghachi omume. Ọ nwekwara njupụta mmiri dị elu na-enweghị atụ. Àgwà ndị a na-ekwe nkwa ịrụ ọrụ kwụsiri ike n'ime loops nrụpụta na-aga n'ihu.
Mwepu eletriki
Mwepu ọkụ eletrik ka bụ ihe kacha mkpa na mmepụta microchip. Ịmepụta wafer na-adabere kpamkpam na ngwa eletrọnịkị nwere mmetụta siri ike. Igwe ọkụ electrostatic chọrọ njikwa voltaji ziri ezi iji jide wafer dị larịị. Ụkpụrụ mmiri jụrụ oyi ga-enye oke oke resistivity. Ha kwesịrị ịfefe 10^6 Ω-cm ntụkwasị obi. Ha na-achọkwa obere dielectric mgbe niile n'okpuru 2.0. Njirimara ndị a akọwapụtara na-egbochi sekit mkpụmkpụ dị mkpụmkpụ. Ha na-ekwe ka mmịpụta okpomọkụ dị mma, kọntaktị kpọmkwem site na ihe ndị dị ndụ.
Isi Ntụle Nlebanya maka Fluid mbufe ọkụ
Arụmọrụ thermal & Fluid Dynamics
Ndị injinia ga-enyocharịrị ọtụtụ ihe dị ike tupu ebuga ya. Oke okpomọkụ na-arụ ọrụ na-ekpebi ojiji a na-eme kwa ụbọchị na fab. Kinematic viscosity dị mkpa maka mbufe mmiri. Anyị kwesịrị ịgba mbọ hụ na mgbapụta a pụrụ ịdabere na ya na oke ala dị ka -60 Celsius. Mmiri mmiri dị arọ na-ebibi ihe mgbapụta mgbapụta na ikpo ọkụ ọkụ. Ikike okpomọkụ a kapịrị ọnụ na-ekpebi nnabata ike raw. Okpomọkụ nzuzo nke vaporization na-egosikwa oke mkpa. Ọ na-ekewapu otu usoro nrịba na nkeji abụọ semiconductor jụrụ arụmọrụ. Okpomọkụ dị elu pụtara na mmiri na-amịkọrọ nnukwu ike n'oge esi.
Nkọwapụta eletriki & nchekwa
Ike ndakpọ dielectric na-eje ozi dị ka metric nchekwa dị oke mkpa. A pụrụ ịdabere na ya Mmiri na-ebufe okpomọkụ na-enyekarị 30-50 KV. Ogo voltaji a dị elu na-enye ohere imikpu na kọntaktị ozugbo. Ebe Flash na-ekpebi nchekwa nchekwa ọkụ n'ofe ụlọ ọrụ ahụ. Osisi Semiconductor nyere iwu ka akụrụngwa anaghị ere ọkụ. Ị nweghị ike itinye vapors ọkụ n'akụkụ ngwaọrụ plasma nwere ike dị elu. Oke nchekwa doro anya na-echebe ma ndị ọrụ na igwe akpaghị aka.
Ihe gbasara gburugburu ebe obibi & nnabata
Iwu gburugburu ụwa na-etolite ngwa ngwa taa. Ị ga-enyocharịrị Ozone Depletion Potential (ODP) nke ọma. Metiriki ODP ga-anọrịrịrịrị efu. Metrik nwere ike ime okpomoku zuru ụwa ọnụ (GWP) dịgasị iche iche n'etiti ezinaụlọ ndị nwere mmiri mmiri. Nrụgide usoro iwu na-eme ka ụlọ ọrụ na-aga n'ihu mgbe niile. Saịtị nrụpụta na-atụgharị gaa n'ọgbọ na-adigide semiconductor chemicals . Ndị otu na-azụ ahịa na-eche iwu siri ike wepụta mmiri mmiri ochie nke GWP dị elu.
Ntụle aka nrụbama nrụbama Matrix Udi
| Igodo |
Metric |
Ideal Target Bara uru |
Mmetụta arụmọrụ |
| Thermal Dynamics |
Kinematic viscosity |
<5 cSt na -50°C |
Na-eme ka mgbapụta mmiri dị n'ime usoro etching miri emi. |
| Nchekwa eletriki |
Ike Dielectric |
> 35 KV |
Na-egbochi ịgba ọkụ n'oge imikpu ozugbo. |
| Nhazi |
Mbelata ozone (ODP) |
Kpamkpam 0 |
Na-eme ka nrubeisi zuru oke na nkwekọrịta gburugburu ebe obibi nke mba ụwa. |
| Nchekwa akụrụngwa |
Ebe mgbari |
Ọ dịghị |
Na-ewepụ ihe egwu ọkụ n'akụkụ isi iyi ọkụ dị elu. |
Nkewa ngwa: Na-ejikọta isi ihe na-esi esi na usoro Fab
Ịdepụta isi ihe na-esi na ngwaike akọwapụtara na-eme ka ọ dị oke mma. Usoro dị iche iche nke imepụta microchip na-emepụta ibu ọkụ dị iche iche. Ka anyị nyochaa usoro okpomọkụ nke mbụ.
Ọkwa 50°C ruo 90°C (Chillers & Ịjụ oyi otu nkeji)
Oke okpomọkụ a na-agafeghị oke na-enye akụrụngwa akụrụngwa dị mkpa. Anyị na-eji mmiri ndị a n'ime nkeji njikwa okpomọkụ (TCUs). Igwe ọkụ na-ekpo ọkụ na-adabere kpamkpam na mgbasa ozi TCU na-aga n'ihu. Ngwa Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) chọrọ nkwụsi ike yiri nke ahụ. Igwe ntinye ion na-ejikwa ọkwa a maka iwepụ okpomọkụ na-aga n'ihu. Ọzọkwa, oke a dabara na ụlọ imikpu ozugbo na nke mgbawa nke ọma. Sava AI nwere njupụta dị elu na-etinye vaporization mmiri maka iwepụ ọkụ ngwa ngwa. Mmiri na-amịkọrọ okpomọkụ nkesa wee jiri nwayọọ na-esipụ.
Ọkwa 100°C ruo 160°C (Nnwale ntụkwasị obi)
Nkwenye dị mma na nnwale ntụkwasị obi chọrọ akụrụngwa ọkụ pụrụ iche. Akụrụngwa ule akpaaka (ATE) na-eji ọkwa etiti a nke ukwuu. Nnwale nnabata nke ọkwa agha MIL-STD-883 chọrọ nkwụsi ike ọkụ zuru oke. Anyị na-eme nnwale nnabata dị ukwuu n'ime ihe nkwado okpomọkụ a. Ndị injinia na-emikpu ngwungwu hermetically mechiri emechi n'ime ebe ịsa ahụ na-ekpo ọkụ. Ha na-achọ obere afụ gas na-agbasawanye nke na-egosi ọdịda akara. Nnwale ujo okpomọkụ dabere na ọkwa a. Ngwa ndị na-agba ọsọ ịsa ahụ na-ekpo ọkụ na oyi iji chọpụta ịdịte aka.
Ọkwa 200°C+ (Mmepụta Okpomọkụ dị elu)
Imepụta okpomoku dị oke egwu na-eji mmiri ndị a adịchaghị mma, na-esikwa elu. Ịzụta Vapor-Phase Reflow (VPR) na-arụ ọrụ dị ka ngwa mbụ. VPR na-eji ebe a na-esi esi mmiri dị oke ọkụ. Ọ na-agbaze mgbagwoju ndu-enweghị solder kpamkpam na uniformly. Ọ na-egbochi mmebi ọkụ mpaghara na-emebi emebi nke obere akụkụ na-emebi emebi. Uzuoku blanket na-ewepu oxygen kpamkpam n'oge a na-ere ere. Nke a na-ewepụ ntụpọ oxidation na mbadamba sekit emechara.
Ngwa nkewa nkọwa Chart
| esi esi Tier |
Primary Fab Ngwa |
omume Usoro |
| 50°C -90°C |
Chillers, TCUs, AI Server imikpu |
Otu nkeji & esi esi nkeji abụọ |
| 100°C -160°C |
Nnwale MIL-STD, Nchọpụta mkpochapụ zuru oke |
Bath Liquid Stable |
| 200°C+ |
Ịzụta Vapor-Phase Reflow (VPR). |
Uzuoku mkpuchi dị elu |
Ịgagharị Usoro Mpụga Ọpụpụ: Na-enyocha Ndochi Ndokwa
Ọdịnihu Ahịa
Ahịa ihe zuru ụwa ọnụ na-eche nnukwu mgbanwe mbute ihu ugbu a. Isi ụdị ihe nketa mechachara usoro mmepụta ha haziri ahazi. Fabs na-enweta mkpa ngwa ngwa maka usoro ọzọ tozuru oke. Ịmata onye nnochite anya bụ ugbu a ihe dị mkpa ụlọ ọrụ dị mkpa. Na-enweghị ụdọ ọkọnọ ndị a pụrụ ịdabere na ya, ahịrị nrụpụta dị ugbu a nwere ike ịkpaghasị oke. Ndị injinia enweghị ike ịwụsa kemịkalụ enyochabeghị n'ime igwe igwe na-eju ọtụtụ nde dollar.
Ụdị PFC vs. HFE
Ị ga-aghọtarịrị ọdịiche kemịkalụ dị n'etiti ọgbọ nke mmiri mmiri. Perfluorocarbons (PFCs) na-enye ike dielectric dị oke elu na inertness kemịkal. Agbanyeghị, ha na-ebu metrik nwere ike ime okpomoku zuru ụwa ọnụ. Hydrofluoroethers (HFEs) na-enye ihe ọgbara ọhụrụ na nke dabara adaba. Ha nwere akara GWP dị ala ma na-echekwa ODP efu. Ị ga-atụle ịrụ ọrụ ọkụ dị nro megide nrube isi gburugburu ebe obibi. Ụlọ ọrụ na-agbanwekarị na HFE iji zute ebumnuche nkwado ike ike.
Usoro nkwado
Usoro nkwado chọrọ nrubeisi siri ike tupu nkuchi ikpeazụ. Kedu otu ị ga-esi tozuo mmiri mmiri ọkụ ọhụrụ n'enweghị nsogbu?
Mepụta nlele ndakọrịta ihe: Nwalee elastomer dị iche iche, rọba siri ike, na ọla ndị dị egwu.
Mepụta nkọwapụta ọkụ: Tulee data ọhụrụ siri ike megide data ntọala ntọala akụkọ ihe mere eme.
Nyochaa maka ọzịza elastomer: Ụfọdụ O-mgbanaka na-etinye kemịkalụ na-ekwekọghị ekwekọ, na-agbasa ma na-ada ada.
Nyochaa ịrụ ọrụ mgbapụta: Gbaa mbọ hụ na viscosity kinematic ọhụrụ dabara n'usoro mgbapụta igwe dị adị nke ọma.
Akara akara fụrụ akpụ na-ebute ọgbaghara dị egwu ka oge na-aga. Nnwale bench zuru oke na-egbochi ọdịda ngwaike dị egwu ma emechaa.
Eziokwu mmejuputa
Iguzosi ike n'ezi ihe Sistemu na mfu evaporation
Ka anyị tụlee ihe ịma aka nke mbugharị anụ ahụ na fabs ọgbara ọhụrụ. Iguzosi ike n'ezi ihe nke sistemu dị mkpa maka ịrụ ọrụ kwa ụbọchị. Mmiri mmiri ndị a dị elu nwere erughị ala n'elu ala. Ha na-abanye n'ime obere oghere na oghere ndị siri ike n'ụzọ dị mfe. Ngwongwo a kapịrị ọnụ na-egosi na ọ dị mma maka nhicha nkenke akụrụngwa. Agbanyeghị, ọ na-achọ ka akàrà arụrụ arụrụ nke ukwuu n'oge a na-ajụ oyi. Akpa gaskets roba ọkọlọtọ anaghị enwekarị mmiri mmiri. Akụrụngwa mkpuchi na-adịghị mma na-eduga na mfu evaporation na-aga n'ihu n'ime ụlọ dị ọcha.
Nkeji abụọ vs. Nkwanye otu nkeji
Ihe akụrụngwa chọrọ dị iche iche dabere na atụmatụ usoro ahọpụtara.
Nkwanye nke otu usoro: Pumps na-ekesa mmiri na-aga n'ihu n'ekweghị ka o sie ya. Ọ na-anọgide kpamkpam mmiri mmiri. Sistemu ndị a dị mfe nke ukwuu iji megharịa n'ime ihe ndị dị adị. Ha na-eji chillers ọkọlọtọ, nfuli ọkọlọtọ, na ndị na-agbanwe ọkụ bụ isi.
Nkwanye nke agba abụọ: Mmiri na-esi n'ọkụ ma ọ bụrụ na kọntaktị na microchip dị ọkụ. Ọ na-amịkọrọ nnukwu ibu okpomọkụ site na okpomọkụ latent nke vaporization. Ọnụọgụ mbufe ọkụ ruru 1.5 W/cm2/℃. Otú ọ dị, ha na-achọ ka ụlọ ọrụ na-eweghachite uzuoku dị mgbagwoju anya. Igwe mmiri condensation pụrụ iche ga-ejiderịrị vepo na-arị elu nke ọma.
Ndị injinia ga-adakọrịrị atụmatụ ibunye ya na njupụta okpomọkụ akọwapụtara.
Nlekọta mmiri na okirikiri ndụ
Mmiri mmiri na-agbada nwayọọ nwayọọ n'okpuru nrụgide okpomọkụ na-aga n'ihu. Ị ga-enyocha oke mmebi kemịkalụ akọwapụtara mgbe niile. Mee usoro nzacha inline siri ike, na-arụ ọrụ ozugbo. Metal particles sitere na mgbapụta mgbapụta agaghị aga site na valvụ ndị siri ike. Ihe nzacha sub-micron na-ejide ọnyà ndị a dị ize ndụ nke ọma. N'ikpeazụ, tụlee atụmatụ mgbake mmiri na njedebe nke ndụ. Ọrụ nkwụsịtụ nwere ike sachapụ mmiri ejiri mee ihe dị ọcha. Nlekọta okirikiri ndụ nke ọma na-eme ka oge ọrụ kacha arụ ọrụ n'ofe ụlọ ọrụ ahụ.
Mmechi
Ịkọwapụta mmiri mmiri ọkụ dị elu gụnyere ịhazi ọtụtụ mgbanwe injinia dị mgbagwoju anya. Ị ga-edozi oke ọkụ ọkụ, nchekwa ọkụ eletrik siri ike, yana nrube isi gburugburu ebe obibi. Nrụpụta ọgbara ọhụrụ na-adabere kpamkpam na ụmụ irighiri ihe ndị a kwụsiri ike, ndị anaghị ere ọkụ. Ụzọ jụrụ oyi n'ọdịnala enweghị ike ịkwado oke ọkụ ọkụ nke wafer ọgbọ na-abịa.
Ndị otu na-azụ ahịa kwesịrị ịnakwere usoro nhọpụta nke ezi uche dị na ya. Malite site n'ịchọpụta ebe ị ga-esi esi esi dabere na usoro a. Na-esote, nyochaa kpọmkwem ihe ndakpọ dielectric chọrọ maka ngwaike gị. N'ikpeazụ, were mmachi GWP siri ike chịkọta ndị fọdụrụnụ. Usoro ziri ezi a na-ewepụ nhọrọ ndị na-ekwekọghị ekwekọ ozugbo.
Echela ka ihe nketa ga-apụ n'anya kpamkpam. Rịọ mpempe data teknụzụ emelitere (TDS) maka ihe ndị ọzọ dị ugbu a. Nye iwu obere nlele mmiri maka nnwale bench ozugbo n'ụlọ nyocha gị. Hazie ndụmọdụ gbasara ihe owuwu ọkụ na ndị otu ọkachamara pụrụ iche taa.
FAQ
Ajụjụ: Gịnị bụ ihe dị iche n'etiti otu-phase na abụọ-phase imiju mmiri jụrụ na fluorinated mmiri mmiri?
A: Otu nkeji jụrụ oyi na-ekesa mmiri mmiri mgbe niile na-esighị ya. Ọ na-achọ nfuli dị mfe na chillers ọkọlọtọ. Njụjụ nke okpukpu abụọ na-enye ohere ka mmiri na-esi ísì mgbe ọ na-ejikọta ya na ihe ndị na-ekpo ọkụ. Ọ na-eji ọkụ latent nke vaporization na-enweta ike dị ukwuu. Sistemu nwere akụkụ abụọ chọrọ tankị gbagwojuru anya na mkpuchi condensation jikọtara ọnụ iji nwetaghachi vepo.
Ajụjụ: Igwe mmiri fluorinated eletrọnịkị nwere ike mebie ngwa ihe nrụpụta semiconductor?
A: Mba, ha nwere oke kemịkalụ inertness na anaghị emeghachi omume na ọla ma ọ bụ plastik. Otú ọ dị, ha nwere ike ime ka elastomers kpọmkwem na-ekwekọghị ekwekọ zaa. Ị ga-eji akara nke emepụtara nke ọma, dị ka fluoropolymers pụrụ iche, iji gbochie ntapu. O-mgbanaka rọba ọkọlọtọ na-adakarị mgbe ekpughere ya na mmiri mgbakasị ala dị ala.
Ajụjụ: Kedu ka mmiri mmiri ndị a si emetụta akara ukwu nke etiti data yana ụgwọ jụrụ oyi?
A: Imikpu nmikpu ozugbo na-ewepụ mkpa maka nnukwu ikuku ntụ oyi, ala dị elu, na ndị na-akwado ihe nkesa na-eme mkpọtụ. Enwere ike ịchịkọta racks nso ọnụ. Nke a na-eme ka njupụta mgbakọ na mwepụ n'otu n'otu na-eme ka ọ dị mma. Ọ na-enye ụlọ ọrụ ohere imebi akara ukwu ha niile ka ha na-ejikwa nnukwu ọrụ AI dị elu.
Ajụjụ: Ọ bụ mmiri jụrụ oyi fluorinated na-egbu egbu ma ọ bụ na-ere ọkụ?
A: Ha bụ ndị anaghị ere ọkụ na enweghị ntụpọ ọkụ. Ha na-egosipụta profaịlụ nsi dị ala. N'okpuru usoro arụ ọrụ ọkọlọtọ, ha anaghị etinye nnukwu ihe ize ndụ nye ndị ọrụ mara mma. Otú ọ dị, ụlọ ọrụ aghaghị ịnọgide na-ekuku ikuku kwesịrị ekwesị iji gbochie ikuku oxygen n'ọnọdụ nke nnukwu mmiri ozuzo na mberede.
