Semiconductor na fotovoltaic (PV) nrụpụta na-eche ihu nrụgide oke oke taa. Ka nha ọnụ na-ebelata ma ọkpụrụkpụ wafer na-ebelata mgbe niile, nnabata mmetọ na-abịaru nso efu. Ụzọ ihicha ihe mgbaze na-akpata na-akpata nsogbu na-agbakọta n'ofe ahịrị mmepụta ọgbara ọhụrụ. Ndị na-arụ ọrụ na-ahụ maka ikuku VOC dị elu mgbe niile. Ha na-eche usoro mkpofu mkpofu na-abawanye ọnụ. Ụzọ ndị a emechiela anya na-ebutekwa nnukwu mkpọkọta ọnụ n'oche mmiri mmiri dị elu.
Anyị na-ahụ pivot dị mkpa na-arụ ọrụ n'ebe chemistries aqueous arụpụtara arụ ọrụ na-eme ka ụlọ ọrụ ahụ gaa n'ihu. Ngbanwe a na-agbanwe gburugburu ọmarịcha gburugburu ụwa. Ịtụle usoro nhazi mmiri dị oke ọcha abụghịzi naanị nkwalite nnabata dị mfe. Ọ na-eguzo dị ka atụmatụ nchebe mkpụrụ dị oke mkpa. Ngwọta ndị dị elu na-echekwa ihe owuwu semiconductor dị mgbagwoju anya site na mmebi na-enweghị mgbagha. N'isiokwu a, ị ga-achọpụta usoro dị mkpa n'azụ nhicha mmiri dị elu. Anyị ga-enyocha usoro akọwapụtara nke ọma dị ka ndị na-ehicha ihe ezubere iche. N'ikpeazụ, anyị ga-eduzi gị site na ịhọrọ onye mmekọ kemịkalụ ziri ezi iji hụ na arụmọrụ nrụpụta na-agbanwe agbanwe.
Isi ihe eji eme ihe
Mpụta nke mbụ: Ntugharị gaa na ihicha mmiri na-achọ itule mkpochapụ urughuru ike na nchekwa mkpụrụ siri ike - na-ezere micro-roughness ma ọ bụ oxidation.
Usoro nkọwapụta: Nhicha mmiri dị irè abụghị ihe ngwọta dị nha-dabara-niile; Ọ na-achọ usoro akọwapụtara nke ọma (dịka ọmụmaatụ, ihe nhicha alkaline raara onwe ya nye maka wafer anyanwụ DWS iji jikwa slurry na uzuzu silicon).
Nkwenye n'elu ebubo: Ndị otu ịzụ ahịa na injinia ga-enyocha ndị na-ebubata kemịkalụ dabere na nkwụsi ike n'ọtụtụ-na-nza, nkwụsi ike ndụ ịsa ahụ, yana ụkpụrụ nkwado QC/QA egosipụtara, kama ịrụ ọrụ ụlọ nyocha naanị.
Ihe ịma aka Mịpụta & Nrube isi na nhicha Wafer Wet
Mmụba na-ekpebi uru ọ bara ozugbo n'ichepụta wafer ọgbara ọhụrụ. Usoro nhazi ọ bụla ga-emerịrị nke ọma. Post-CMP (Chemical Mechanical Planarization) na ihe fọdụrụ ịkwọ waya na-ahapụ nnukwu ntụpọ na mkpụrụ ndị na-esighi ike. CMP na-ahazi wafer ahụ nke ọma mana ọ na-ahapụ nnukwu slurry nke nano-particles. Nrụrụ ndị a na-ahụ anya na-abawanye ọnụ ọgụgụ mkpofu ngwa ngwa. Ha na-ebuli njupụta gị elu. Njupụta ntụpọ dị elu na-ebelata ego a ga-enweta n'ụlọ ọrụ ozugbo.
Ihe mmetọ na-adaba n'ụdị atọ bụ isi na-achọ atụmatụ iwepụ kpọmkwem. Nke mbụ, anyị na-enyocha particulates na slurry. Diamond Wire Sawn (DWS) uzuzu silicon na ihe mkpofu na-arapara n'elu wafer. Ha na-achọ ufiop n'ibu na ike kemịkalụ maka mwepụ zuru ezu. Nke abụọ, anyị na-eche mmetọ organic ihu. Mbelata mmiri mmiri, igwe oyi na-ekpo ọkụ, na ihe ndị mmadụ na-ejizi eme ihe na-emepụta akwa hydrophobic isi ike. N'ígwé ndị a na-egbochi usoro etching ma ọ bụ mkpuchi na-esote. Nke atọ, anyị na-emeso inorganics na trace metals. Mmetọ Ionic na-emebi ọrụ eletrik nke ukwuu. Ọbụlagodi ọnụọgụ ọnụọgụ na-ebute oke mmiri na-agbapụta n'ime ngwaọrụ semiconductor emechara.
Ụlọ ọrụ na-eche ihu iwu siri ike gburugburu ebe obibi, ọha na eze na ọchịchị (ESG). Ndị na-ahụ maka nhazi na-enyochawanye oke mkpofu kemịkalụ n'ụwa niile. Iwu nchekwa na-amanye ndị njikwa fab ka ha wepụ ihe mgbaze na-eme ihe ike kpamkpam. Anyị na-ahụ nnukwu mgbanwe n'ebe ọzọ dabere na mmiri iji mezuo ihe ndị a siri ike chọrọ. Nrube isi na gburugburu ebe obibi chọrọ obere nsị na mbelata oke mkpughe kemịkalụ. Ihe ngwọta nke mmiri mmiri na-enye usoro nlekọta dị nchebe maka ndị ọrụ ụlọ dị ọcha. Ha na-enyekwa njikwa mkpofu dị mfe maka ihe ọkụkụ n'ozuzu ya.
Nyochaa usoro: Gịnị na-eme ka Semiconductor na-ehicha mmiri dị irè?
Ndị na-emepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta ihe enweghị ike imezu ihe ndị a chọrọ. Ha na-ahapụkarị micro-residues zoro ezo n'azụ. Ihe ndị a fọdụrụ na-emebi usoro ntinye ego na-esote kpamkpam. Ị chọrọ onye raara onwe ya nye Semiconductor Cleaner nke dabere na mmiri na-ekwe nkwa n'elu ala enweghị ntụpọ.
Kedu ka kemịkalụ ndị a dị elu si arụ ọrụ n'ezie? Ihe nzuzo dị na usoro kemịkalụ ziri ezi nke na-elekwasị anya kpọmkwem ike intermolecular.
Surfactants na-ekere òkè dị mkpa na usoro nhicha. Ha na-ebelata ọgba aghara elu nke mmiri ahụ nke ọma. Nke a na-enye ohere ka onye na-ehicha ihe banye n'ime micro-trenches miri emi n'enweghị nsogbu. Ọ na-erute ebe zoro ezo ebe mkpasu iwe na-enweghị ike ịga. Ihe dị ọcha na-ebuli ihe ndị na-emerụ emerụ na-ewepụ nwayọọ na-ahapụghị ihe fọdụrụ kemịkal. Ọ na-agbanwe ntụpọ hydrophobic ndị isi ike ka ọ bụrụ mpaghara hydrophilic dị oke mmiri.
Ọzọ, anyị na-ele anya na zeta nwere ike ịmegharị ya. Ihe ndị dị n'ime ya na-agbanyeghachi na wafer n'ihi mmasị electrostatic. Ndị na-ehicha ihe dị mma na-agbanwe ụgwọ eletrọstatic ndị a na ma wafer na ihe ewepụrụ. Ha na-agbanwe ikike zeta iji mepụta ike na-asọ oyi siri ike. Nke a na-egbochi ụmụ irighiri ihe ewepụrụ ka ọ ghara itinyeghachi ya na elu wafer dị nro n'oge usoro nchacha dị oke mkpa.
Ịdị ọcha na-anọgide kpamkpam na-enweghị mkparịta ụka na ụlọ ọrụ a. Nyochaa kemịkalụ ndị a chọrọ oke nha nha. Ị ga-ahụrịrị n'ihu na ọkwa igwe nchọta na-anọ n'ime akụkụ-kwa-trillion (ppt). Nhazi ahụ ga-enwerịrị ion mkpanaka dị ka sodium na potassium. ion ndị a kpọmkwem na-ebute ọdịda ngwaọrụ dị egwu site n'ịfefe n'ígwé oxide gate.
Omume Kachasị Mma: Na-arịọ mgbe niile ka nyocha ụlọ nyocha nke onwe nke ọkwa ọla ppt tupu iwebata ihe nhicha ọhụrụ na ebe ịsa ahụ isi gị.
Mmejọ a na-emekarị: Ejila usoro ọzọ dị ala dochie usoro ịdị ọcha dị elu iji gbatịa mmefu ego. Mfu mkpụrụ nke ga-apụta ngwa ngwa karịa obere nchekwa kemịkalụ ọ bụla n'ihu.
Ezubere iche nrụpụta PV: Ọrụ nke Alkaline Pre-Cleaner maka DWS Solar Wafers
Imepụta fotovoltaic na-enye ihe ịma aka pụrụ iche, ike ike. Ma monocrystalline na multicrystalline silicon wafers na-enweta usoro mkpụcha siri ike. Wafers Waya Diamond Wire (DWS) na-ebu ibu dị arọ organic coolant ozugbo site n'ịwa ahụ. Ha na-anakọtakwa nnukwu ntụ ntụ silicon dị mma n'oge oge ịkpụ. Ngwakọta a na-emepụta sludge siri ike, nke siri ike na-arapara na elu silicon.
Iwepu sludge a chọrọ ọrụ kemịkalụ ezubere iche, nke nwere nnukwu ọrụ. Onye injinia alkaline pre-cleaner maka DWS anyanwụ wafers na-enye kpọmkwem ngwọta dị mkpa. Nhicha nke ọma na-ekpebi otu ị ga-esi ede ederede ala. Ọ bụrụ na organics ka dị, acids texturing ndị na-esote agaghị ewepụ silicon ahụ nke ọma. Nke a na-emepụta ntụpọ a na-ahụ anya ma na-eweda arụmọrụ ngbanwe cell n'ozuzu ya.
Ndị na-ehicha ihe ndị a pụrụ iche na-adabere na usoro kemịkalụ a na-akpọ saponification alkaline. Kemistri na-arụ ọrụ na-atụgharị mmiri mmiri na-egbu egbu nke organic na-adịghị edozi ka ọ bụrụ ncha na-agbaze mmiri. Mgbanwe a na-eme ka ikpochapụ ngwa ngwa, dị elu na modul akpaaka. Ọ na-ehichapụ elu wafer nke ọma, na-akwadebe ya maka usoro ederede na-esote nke ọma.
Otú ọ dị, ikpughe alkaline na-ebute ihe ize ndụ mgbe niile. Ihe ize ndụ bụ isi gụnyere etching anisotropic na-atụghị anya ya. Ebe ndị na-eme ihe ike nwere ike ịtinye silicon ahụ n'akụkụ ụfọdụ ụgbọ elu kristal. Ha nwere ike mebie geometry anụ ahụ wafer na-amaghị ama. Nke a na-ebute obere ihe siri ike ma ọ bụ gbanwee ọkpụrụkpụ wafer ahụ n'ụzọ dabara adaba.
Usoro dị elu na-edozi nsogbu a nke ọma. Ha na-eji nlezianya na-echekwa ọkwa pH site na iji mgbakwunye ndị nwe ya. Ndokwa nke ọma a na-enye onye na-ehicha ihe aka iwepu ihe agbakwunyere n'ike. N'otu oge ahụ, ọ na-echekwa geometry mkpụrụ mbụ nke ọma. Ị ga-enweta wafer dị ọcha nke ọma na-enweghị mmebi ọ bụla.
Mmụba na nha arụmọrụ maka ndị na-ehicha ụlọ ọrụ dabere na mmiri maka nrụpụta nke ọma
Gburugburu ebe a na-emepụta ihe na-achọ ngwọta kemịkalụ nwere ike ịgbatị nke ukwuu. Anyị ga-enyocha ihe ndị a Ndị na-ehicha ụlọ ọrụ dabere na mmiri maka nrụpụta nkenke n'ofe ọtụtụ akụkụ arụmọrụ dị oke mkpa. scalability arụmọrụ dabere na ntachi obi kemịkalụ.
Ka anyị lelee matriks atụmatụ-na-arụpụta. Usoro a na-enyere ndị injinia nhazi aka inyocha ịdị adị nke ụwa nke ọma tupu ebuga ya n'ụzọ zuru oke.
Nke mbụ, tụlee ịgbatị ndụ ịsa ahụ. Nkwụsi ike kemịkalụ dị elu n'okpuru ntụgharịgharị na-aga n'ihu na-egbochi mmebi mmiri nke akabeghị aka. Chemistry na-egbochi imebi ọbụna n'okpuru okpomọkụ dị elu. Ndụ ịsa ahụ dị ogologo na-arụ ọrụ nke ukwuu na-ebelata oge akụrụngwa akụrụngwa. Ọ na-eme ka usoro mmepụta ihe kwụ ọtọ, nke a na-ahụ anya maka ahịrị nrụpụta dị elu.
Nke abụọ, rinsability dị mkpa nke ukwuu maka mmepụta gị. Ị ga-ewepụrịrị ihe nchacha ahụ kpamkpam site na iji mmiri Deionized (DI) mgbe ịsachara usoro ahụ. Pụrụ iche formulations weda molekụla adhesion na mkpụrụ. Ịrịsa ngwa ngwa na-abawanye metrik wafers kwa elekere (WPH). Ọ na-ekpochapụ bench mmiri ngwa ngwa maka ogbe na-esote ma belata mmetọ ịdọrọ.
Nke atọ, ndakọrịta akụrụngwa dị mkpa maka ịrụ ọrụ ogologo oge. Kemistri agaghị eweda akụkụ fluoropolymer. Ọdụ ụgbọ mmiri akpaaka na-adabere kpamkpam na rọba dị elu. Usoro nchekwa na-echebe akụkụ igwe ndị a dị oke ọnụ nke ọma. Ha na-egbochi mgbawa mgbakasị ahụ na mwepu ihe ka oge na-aga.
Ngwa ndị echedoro na-agụnyekarị:
Mbufe mmiri PTFE na-achịkwa ọnụọgụ mmiri.
PFA tubing na ahịrị mbufe kemịkalụ dị elu.
Tankị quartz na ụlọ ihe mmetụta metụtara.
Akara O-mgbanaka na diaphragms mgbapụta pụrụ iche.
Ntụle Matrix Nleba Arụmọrụ Cleaner
| Njirimara |
Chemical Mechanism |
Nrụpụta Nrụpụta |
| Bath Life Stability |
Na-eguzogide ndakpọ n'okpuru okpomọkụ na recirculation |
Na-ebelata oge nkwụsịtụ na okirikiri mgbanwe mmiri mmiri |
| Rinsability dị elu |
Adhesion dị ala na mkpụrụ ndụ silicon |
Na-eme ka ịsacha mmiri DI ngwa ngwa ma na-ebuli mmepụta ihe |
| Ndakọrịta polymer |
Anaghị emeghachi omume na plastik PTFE/PFA |
Na-echebe ngwaike bench na ọkpọkọ |
Eziokwu mmejuputa: nkwado, QC, na mbelata ihe egwu
Ime kemịkalụ ọhụrụ chọrọ nleba anya nke ọma, ahaziri ahazi. Anyị aghaghị ịnakwere otu eziokwu doro anya. Nsonaazụ ihicha ụlọ nyocha anaghị adịkarị oke n'ụzọ zuru oke na mmepụta akwa na-enweghị mgbanwe. Nnwale beaker enweghị mmiri mmiri na-agbanwe agbanwe nke ezigbo bench mmiri mmiri. Ị ga-akụda usoro parameters ozugbo na mmepụta n'ala iji nweta ezigbo nsonaazụ.
Anyị na-akwado usoro nkwenye siri ike, dabere na data. Jiri metrik QC ọkọlọtọ iji tụọ ihe ịga nke ọma n'ezie. Ịdabere na nleba anya dị mfe agaghị ezuru maka geometry sub-micron ọgbara ọhụrụ.
Usoro nkwenye bụ isi gụnyere:
Iji ọnụ ọgụgụ urughuru uru dị elu dị elu iji hụ na njupụta ntụpọ dara n'okpuru ebe ebumnuche nke ntụkwasị obi.
Nleba anya mkpokọta carbon carbon (TOC) nke ọma na mmiri ịsachapụ ikpeazụ iji chọpụta mwepụ nke organic zuru oke.
Na-ebuga Atomic Force Microscope (AFM) iji kwe nkwa kemịkalụ ewebataghị n'elu ala.
Njikọ ọgwụgwọ mkpofu na-anọchite anya eziokwu ọzọ dị oke egwu. Nhazi mmepụta ihe na-ebute nnukwu ihe ịma aka ngwa ngwa maka nnukwu ụlọ ọrụ taa. Kemistri ahọpụtara ga-abanyerịrị n'enweghị nsogbu n'ime ụlọ ọrụ ọgwụgwọ mmiri mkpofu ụlọ ọrụ dị ugbu a (AWN Sistemụ). Ọ nweghị ike ịkpata nsogbu ụfụfụ na-atụghị anya ya na drains nke ihe owuwu ahụ. Ọzọkwa, ọ ga-ezere ịkpalite mmiri ozuzo kemịkalụ dị ize ndụ mgbe agwakọtara ya na ihe ndị ọzọ na-esi ísì ụtọ. Mmiri mmiri ozuzo dị otú ahụ na-egbochi ọgwụgwọ nzacha ma mebie oke mwepu igwe dị arọ nke ime obodo.
Omume Kachasị Mma: Na-eduzi ule ndakọrịta ihe na-asọ asọ mgbe niile. Gwakọta ihe nchacha ọhụrụ ahụ na iyi iyi dị ugbu a na ụlọ nyocha a na-achịkwa tupu ebuga ụlọ ọrụ mmepụta ihe zuru oke.
Nkọwa nke Shortlist: Ịhọrọ Onye Mmekọ Chemical Gị
Ịchọta nhazi kemịkal ziri ezi bụ naanị ọkara agha. Ị ga-akpachara anya nyochaa onye na-ebubata ihe chemicals maka semiconductors . Usoro dị ukwuu apụtaghị ihe ọ bụla ma ọ bụrụ na onye nrụpụta enweghị ike ịnapụta ya mgbe niile.
Ịnọgidere n'ọtụtụ-na nza pụtara dị ka isi ihe nleba anya. Ndị na-emepụta kemịkalụ ga-enyerịrị akwụkwọ Asambodo Analysis (CoA) siri ike na batch ọ bụla. Anyị na-atụ anya ka ha kesaa data njikwa usoro ndekọ ọnụ ọgụgụ zuru ezu (SPC) n'ihu ọha. Nghọta a na-egosi na ha na-achịkwa ebe nrụpụta ha nke ọma. Ọ na-ekwe nkwa na ọkwa nyocha na-adịgide otu ọnwa na-aga n'ihu, na-egbochi mbelata mkpụrụ nke enweghị usoro.
Nchekwa ụdọ ọkọnọ kwesịrị nlebara anya nha anya n'oge ịzụrụ. Jiri nlezianya nyochaa nrụpụta akụrụngwa ha nke ọma. Otu isi mmalite ọdịda ọdịda n'ụlọ ọrụ kemịkal nwere ike ibute nnukwu ihe nkwụsị. Ndị mmekọ ntụkwasị obi na-edobe ọtụtụ ụzọ isi nweta akụrụngwa maka akụrụngwa ha dị oke mkpa. Ha na-eduzi ọmụmụ ihe gbasara ndụ shelf. Ha na-egbochi gị pụọ na ndakpọ mbupu zuru ụwa ọnụ na ụkọ akụrụngwa.
Kedu ihe ị ga-eme ọzọ? Malite site na ịrịọ ndị otu injinia ha ndụmọdụ gbasara teknụzụ zuru oke. Jiri ngalaba EHS gị nyochaa mpempe akwụkwọ nchekwa nchekwa (SDS) nke ọma. N'ikpeazụ, guzobe nnwale-ọnụọgụ bench a na-achịkwa iji kwado kemịkalụ megide mmetọ isi ike gị.
Mmechi
Ịkwalite ụkpụrụ nhicha mmiri mmiri gị ka bụ atụmatụ dị ike nke ukwuu. Ibunye kemịkalụ mmiri ziri ezi na-eme ka mkpụrụ ngwaahịa na nnabata ngwa ngwa n'otu oge.
Ngwakọta na-aga nke ọma na-adabere mgbe niile na data enwere ike ikwenye. Ha na-adabere na omume nrụpụta na-agbanwe agbanwe site n'aka onye na-eweta kemịkalụ gị. Ha na-achọ ndakọrịta bench na-enweghị nkebi ka ọ dị elu.
Nke a bụ usoro gị nwere ike ime ozugbo:
Nyochaa ojiji ihe mgbaze gị ugbu a iji chọpụta mpaghara nnabata nwere nnukwu ihe egwu ozugbo.
Kọwaa oke nnabata gị maka mmetọ ọla n'ofe ọnụ nhazi niile.
Depụta maapụ mgbochi mmiri mkpofu gị dị ugbu a iji gbochie nsị nsị.
Rịọ chemistries sample maka nnwale ntozu bench nke mbụ taa.
Hazie nyocha nyocha dị omimi nke usoro nhicha gị dị ugbu a n'oge adịghị anya. Chebe ihe ị na-amịpụta ma mezie ọrụ fab gị nke ọma.
FAQ
Ajụjụ: Kedu ka ihe mkpocha semiconductor dabeere na mmiri si atụnyere ihicha RCA ọdịnala?
A: RCA nhicha na-adabere na ngwakọta siri ike nke hydrogen peroxide, amonia, na acids. Ndị na-ehicha mmiri na-arụ ọrụ nke ọma na-eji ihe ndị dị elu dị elu na ndị na-ahụ maka aghụghọ dochie ndị a. Ha na-enweta ihe atụnyere particulate na mwepụ metal. Agbanyeghị, ha na-arụ ọrụ na obere mmefu ego ọkụ na-ebelata nke ukwuu profaịlụ ihe egwu maka ndị ọrụ ụlọ ọrụ.
Ajụjụ: Gịnị bụ ahụkarị ndụ ịsa ahụ nke alkaline pre-cleaner na elu-olu anyanwụ n'ichepụta?
A: Ndụ ịsa ahụ na-agbanwe agbanwe dabere na ntinye wafer kwa ụbọchị yana nbudata organic n'ozuzu ya. Ọ dabara nke ọma, ngwọta arụpụtara arụrụ arụ na-eji ihe nkwụsi ike siri ike. Ihe nchekwa ndị a kapịrị ọnụ na-edobe ịdị irè ihicha ihe ruru 30% ruo 50% ogologo karịa ngwa ahịa hydroxides. Nke a na-agbatị okirikiri nnọchi anya nke ọma.
Ajụjụ: Ndị na-ehicha ụlọ ọrụ na-edozi mmiri na-achọ ka mmiri DI ọzọ maka ịsacha?
A: Mba. Ndị na-ehicha nke ọma dị elu na-egosipụta usoro nhazi nke 'free-rinsing'. Ha na-agbaji agbụ molekụla nke ọma na-ejighị n'aka na mkpụrụ osisi ahụ. N'ihi na ha na-asachapụ ngwa ngwa, ha na-achọkarị obere mmiri dị ọcha iji nweta ebumnobi nkwụghachi azụ nke ntọala gị ma e jiri ya tụnyere usoro ndị ọzọ edoziri nke ọma.
