N'ime ụwa zuru oke nke microfabrication, kemịkalụ ọ bụla na-arụ ọrụ dị oke egwu. N'etiti ha, fotoresist ndị na-ewepụ ihe na-arụ ọrụ dị ka ịnyịnya na-agbachi nkịtị-na-ewepụ ọkwa photoresist na semiconductor wafer na-emebighị ihe owuwu sekit siri ike. Ọ bụ ezie na a na-ekwukarị ihe mejupụtara teknụzụ ha na usoro ha, ezigbo mkpamkpa dị na ngwa ha dị ukwuu n'ofe ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu dị iche iche.
Edemede a na-enyocha mpaghara ngwa ebe ndị na-ewepụ fotoresis na-enwu, site na semiconductor na teknụzụ ngosi ruo MEMS na fotonics. Site n'ịghọta ebe na otu esi etinye ndị ọrụ a, ndị ọkachamara nwere ike ịghọta mkpa ụlọ ọrụ ha nke ọma ma họrọ ngwọta ziri ezi maka usoro a kapịrị ọnụ.
Mmepụta Semiconductor: Obi nke Mwepu Photoresis
Post-Etch na Post-implant Stripping na IC Mmepụta
N'ichepụta semiconductor, iwepụ fotoresis bụ ihe na-emegharị ugboro ugboro ma dị mkpa . Mgbe fotolithography kọwachara ụkpụrụ ahụ na etching na-ebufe ya na mkpụrụ osisi ahụ, a ga-ewepụrịrị fotoresist fọdụrụnụ kpamkpam ka ọ ghara imetọ ya n'oge ọzọ. A na-emepụta ihe ndị na-ewepụ fotoresis nke ọma iji sachaa ebe ndị a na-emetụtaghị akwa dielectric dị n'okpuru ma ọ bụ ihe owuwu ígwè..
Na mgbakwunye, usoro ntinye nke post-ion chọrọ mgbochi mwepụ, na-enwekarị mgbagwoju anya site na mgbochi siri ike ma ọ bụ carbonized n'ihi mkpughe ike dị elu. N'ebe a, a na-eji ihe ọpụrụiche na-apụnara mmadụ ihe nwere ihe mgbaze na ntinye aka na-agbaze ihe ndị a siri ike.
Ndakọrịta na ọnụ ụzọ dị elu na ihe dị ala-k
Ka ngwaọrụ na-ebelata na ọnụ elu dị elu (7nm, 5nm, na karịa) na-aghọ ihe bụ isi, ihe eji eme ihe na semiconductor na-amalite. Dielectrics dị ala na ọnụ ụzọ igwe dị elu na-achọ ihe ndị na-ewepụ ihe ndị na- ahọrọ kemịkalụ ma kwụsie ike . Ndị na-ewepụ fotoresis nke eji na ngwa ndị a agaghị azacha ma ọ bụ mebie ihe ndị a nwere mmetụta - na-eme ka usoro nhazi dị oke mkpa.
Ngosipụta Panel Flat (FPD) nrụpụta
Mwepụ fotoresisist na TFT-LCD na mmepụta OLED
N'ime ụlọ ọrụ ngosi, a na-eji ihe ndị na-ewepụ ihe na-ese foto na-eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ichepụta akụkụ TFT-LCD na OLED . A na-arụ akụkụ ndị a site na ọtụtụ usoro lithography, nke chọrọ ịnyefe ụkpụrụ na nhicha nke ọma.
Photoresist na-apụnara mmadụ s ebe a ga- ewepụrịrị nnukwu ihe mgbochi dị elu, a na-esikarị ya n'ọkụ dị elu, na-emebighị electrodes transperent dị ka indium tin oxide (ITO) . Ọzọkwa, ihicha agaghị eme ka mkpụgharị ígwè ma ọ bụ nhụsianya dị elu, nke ga-emebi ogo onyonyo.
Ngosipụta mgbanwe na ihe dị elu
Site na ịrị elu nke ihe ngosi na-agbanwe agbanwe , mkpa maka obere okpomọkụ na mkpụrụ-nkwadebe iwepụ ihe ngwọta abawanyela. Ngosipụta ọgbọ ọhụrụ ndị a na-eji ihe ndị dabere na polymer ma ọ bụ rọba na- enweghị ike iguzogide ndị na-akpa ike ọdịnala . Usoro dị elu nke Yuanan na-eleba anya n'ihe ịma aka a site n'inye obere iwe iwe, ngwọta dị elu nke dabara na ihe ndị a na-esote.
Mepụta MEMS na teknụzụ sensọ
Nhicha nkenke na Microelectromechanical Systems
Sistemụ microelectromechanical (MEMS) na-adabere na geometries nke ọma na obere ihe na-akpụ akpụ. N'ime ngwa ndị dị otú ahụ, onye ọ bụla resist photoresist nwere ike imetụta ọrụ ngwaọrụ nke ukwuu . Ihe ndị na-ewepụ ihe eji eme ihe na MEMS ga-enyerịrị:
Maka ihe mmetụta nrụgide, accelerometers, na gyroscopes, ọbụlagodi mmetọ nkeji nwere ike imetụta izi ezi. N'ihi ya, a na-enyochakarị arụmọrụ ihicha na ọkwa microscopic.
Nkwalite usoro ogbe
N'ime ebe a na-ahụ maka MEMS, nhazi ogbe bụ ihe a na-ahụkarị maka ọnụ ahịa bara uru. Nke a na-achọ ihe ndị na-ewepụ ihe ndị na-adịgide adịgide ma dị irè karịa ọtụtụ cycles , na-ahụ na ịdịmma nhicha na-agbanwe agbanwe gafere ọtụtụ iri ma ọ bụ narị otu narị nkeji. A na-emezi ihe ngwọta nke Yuanan maka mmepụta dị elu yana obere mmebi kemịkalụ, na-enye aka na mmepụta MEMS nke ọma.
Ngwa Semiconductor Compound na Optoelectronics
GaAs, GaN, na Ngwa fotonic
semiconductors mejupụtara dị ka Gallium Arsenide (GaAs) na Gallium Nitride (GaN) na A na-eji LEDs, lasers, na ngwa RF dị elu . Ihe ndị a na-emeghachi omume na kemịkalụ karịa silicon ma na-achọ ka ọ dị nro ma dị irè megide ịkwapụ . Chemistry siri ike nwere ike iduga n'ọkpụkpụ n'elu, oxidation, ma ọ bụ etching na-achọghị.
nke Yuanan A na-ahaziri ndị na-ewepụ ihe ndị na-ewepụ fotoresist maka semiconductor ogige maka:
Ịdị ọcha anya na ịdị n'ụdị elu
Na optoelectronics, ịdị ọcha n'elu abụghị naanị mkpa teknụzụ mana ọ dịkwa mkpa ịrụ ọrụ . Ihe ndọpụ ihe eji eme ihe ga-ahụrịrị na ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ihe nkiri efu nwere ike imetụta nnyefe ọkụ ma ọ bụ ntụgharị. Usoro ịdị ọcha dị elu dị mkpa iji zute ụkpụrụ nke mmepụta ngwa anya, gụnyere ebili mmiri, diode laser, na sekit agbakwunyere photonic..
R&D, Prototyping na Ọpụrụiche Labs
Ọdịiche maka nyocha agụmakwụkwọ na ụlọ ọrụ mmepụta ihe
Ihe ndị na-ewepụ fotoresist abụghị naanị n'ichepụta oke dị elu. A na-ejikwa ha n'ọtụtụ ebe na gburugburu R&D , ebe a na-anwale ọtụtụ ụdị photoresist na ihe nnwale. Ndị nchọpụta na-agbanwekarị n'etiti:
Ezi na adịghị mma photoresists
Organic na inorganic mkpụrụ
Ọtụtụ usoro ọgwụgwọ okpomọkụ
Maka ụlọ nyocha ndị a, ntụgharị bụ isi. Yuanan na-enye ihe ndị na-ewepụ ihe dị iche iche na-enye nchekwa, arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya n'okpuru ọnọdụ nnwale dị iche iche, na-ebelata mkpa maka ọtụtụ ngwaahịa kemịkalụ.
Ụdị ihe fọdụrụ dị ala maka ụdị mmetụta uche
N'oge prototyping, ọbụlagodi obere ezughị okè nke usoro nwere ike ịgbanwe nsonaazụ arụmọrụ. Photoresist fọdụrụnụ nwere ike ikpuchi nsonaazụ nha ma ọ bụ bute ọdịda nrapado oyi akwa. Ya mere, ndị na-ewepụ ihe ndị fọdụrụ na obere nchekasị dị mma maka ịchekwa eziokwu nnwale na mkpụrụ n'oge usoro mmepe.
Uru Yuanan dị na teknụzụ mgbapụ fotoresis
Nhazi maka mkpa ụlọ ọrụ akọwapụtara
Dị ka onye ndu n'ime mmepụta kemịkal, Yuanan na ndị ahịa na-arụkọ ọrụ ọnụ iji zụlite usoro iwepụ omenala ahaziri na usoro a kapịrị ọnụ. Ma ọ bụ ihe na-ekpo ọkụ chọrọ maka ihe ndị na-agbanwe agbanwe ma ọ bụ onye na-adịghị emebi emebi maka kọntaktị ndị nwere ọla edo, ndị otu mmepe Yuanan na-arụ ọrụ iji chepụta ihe ngwọta kachasị mma.
Ịdịgide na ọrụ gburugburu ebe obibi
Nrụpụta nke oge a na-elekwasị anya na kemịkalụ ndụ ndụ . nke Yuanan ihe ndị na-ewepụ fotoresisist : A na-eji ihe ndị a na-emepụta
Nke a na-eme ka ọ bụghị naanị dị irè kamakwa na-agbaso ụkpụrụ gburugburu ebe obibi n'ụwa nile , na-akwado atụmatụ nrụpụta dị ọcha.
Mmechi
Ndị na-ewepụ ihe ndị na-ese foto nwere ike ọ gaghị enweta ìhè mgbe niile, mana mmetụta ha na-agbanye n'ime akwa nke ngwa eletriki na fotonic nke oge a. Ngwa ha sitere na semiconductor na sensọ ruo na ngosipụta mgbanwe na ibe fotonic dị elu - nke ọ bụla na-achọ ihicha nke ọma na ihe dakọtara.
Yuanan's cut-eti photoresist ngwọta na-ebuga n'ịrụ ọrụ, ịdị iche iche, na nkwado-ịhụ na elu dị ọcha, nhazi a pụrụ ịdabere na ya, na mpụta siri ike n'ofe ngalaba teknụzụ dị elu dị iche iche. Maka ndị injinia, ndị nchọpụta, na ndị na-emepụta ihe, ịhọrọ onye na-ewepụ ihe n'ụzọ ziri ezi abụghị naanị mkpebi teknụzụ-ọ bụ usoro dị mkpa.
