Өндөр нарийвчлалтай бичил үйлдвэрлэлийн ертөнцөд химийн бодис бүр чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Тэдний дунд, Фоторезист хөрс хуулалт нь чимээгүй ажиллах үүрэг гүйцэтгэдэг - хагас дамжуулагч хавтан дээрх фоторезистийн давхаргыг нарийн хэлхээний бүтцийг гэмтээхгүйгээр арилгадаг. Техникийн бүтэц, механизмын талаар байнга ярилцдаг ч жинхэнэ сонирхол нь өргөн хүрээний хэрэглээнд оршдог . өндөр технологийн янз бүрийн салбарт
Энэ нийтлэл нь хагас дамжуулагч, дэлгэцийн технологиос эхлээд MEMS болон фотоник хүртэл гэрэлтэх гэрэлтэгч бодисуудын хэрэглээний талбаруудыг судлах болно. Эдгээр агентуудыг хаана, хэрхэн ашиглаж байгааг ойлгосноор мэргэжлийн хүмүүс үйлдвэрлэлийн ач холбогдлыг илүү сайн ойлгож, тодорхой үйл явцын зөв шийдлийг сонгох боломжтой.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл: Фоторезистийн хуулалтын зүрх
IC үйлдвэрлэлд суулгацын дараах болон суулгацын дараах хөрс хуулалт
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд фоторезистийн хөрс хуулалт нь байнга давтагддаг бөгөөд зайлшгүй шаардлагатай алхам юм . Фотолитографи нь хэв маягийг тодорхойлж, сийлбэрийг субстрат руу шилжүүлсний дараа дараагийн үе шатанд бохирдлоос сэргийлэхийн тулд үлдэгдэл фоторезистийг бүрэн арилгах шаардлагатай. Фоторезист хөрс хуулалтын бодисууд нь эдгээр гадаргууг цэвэрлэхэд зориулагдсан. үндсэн диэлектрик давхарга эсвэл металл бүтцэд нөлөөлөхгүйгээр .
Нэмж дурдахад, ионы суулгацын дараах процессууд нь өндөр энергийн нөлөөллөөс болж хатуурсан эсвэл нүүрстөрөгчжүүлсэн эсэргүүцэлтэй тулгардаг эсэргүүцлийг арилгахыг шаарддаг. Энд эдгээр зөрүүд үлдэгдлийг уусгахын тулд төлбөрийн чадвар, нэвтрэлт сайтай тусгай хөрс хуулалтын бодисуудыг ашигладаг.
Нарийвчилсан зангилаа болон Low-k материалтай нийцтэй
Төхөөрөмжүүд багасаж, дэвшилтэт зангилаанууд (7 нм, 5 нм ба түүнээс дээш) үндсэн урсгал болохын хэрээр хагас дамжуулагчд хэрэглэгддэг материалууд өөрчлөгддөг. Бага-к диэлектрик ба өндөр-к металл хаалга нь хөрс хуулалтын бодисыг шаарддаг химийн сонгомол, дулааны хувьд тогтвортой . Эдгээр хэрэглээнд ашигладаг фоторезист арилгагч нь эдгээр эмзэг материалыг хавдаж, зэврүүлэхгүй байх ёстой бөгөөд энэ нь найрлага дахь нарийвчлалыг чухал болгодог.
Хавтгай дэлгэц (FPD) үйлдвэрлэл
TFT-LCD болон OLED үйлдвэрлэлд фоторезистийг арилгах
Дэлгэцийн салбарт фоторезист хуулалтын бодисыг үйлдвэрлэхэд өргөн ашигладаг TFT-LCD болон OLED хавтан . Эдгээр хавтангууд нь хэв маягийг нарийн шилжүүлэх, цэвэрлэх шаардлагатай олон тооны литографийн үе шаттайгаар бүтээгдсэн.
Фоторезист хөрс хуулалт нь ёстой зузаан, өндөр тодосгогч эсэргүүцлийг үр дүнтэй арилгах гэх мэт тунгалаг электродыг гэмтээхгүйгээр ихэвчлэн өндөр температурт шатаасан индий цагаан тугалганы исэл (ITO) . Түүнчлэн, цэвэрлэгээ нь металлын шилжилт, гадаргуугийн барзгар байдлыг үүсгэхгүй байх ёстой бөгөөд энэ нь зургийн чанарыг алдагдуулдаг.
Уян хатан дэлгэц ба дэвшилтэт субстрат
нэмэгдэхийн хэрээр Уян хатан дэлгэц бага температуртай, субстратыг аюулгүй хөрс хуулалтын шийдлийн хэрэгцээ нэмэгдэж байна. Эдгээр шинэ үеийн дэлгэцүүд нь полимер эсвэл хуванцар дэвсгэрийг ашигладаг уламжлалт түрэмгий тайчигчийг тэсвэрлэх чадваргүй . Юананы дэвшилтэт найрлага нь бага түрэмгий, өндөр үр ашигтай шийдлүүдийг санал болгосноор энэ сорилтыг даван туулж байна. эдгээр шинэ үеийн материалуудтай нийцэх
MEMS Fabrication and Sensor Technologies
Микроэлектромеханик систем дэх нарийн цэвэрлэгээ
Микроэлектромеханик системүүд (MEMS) нь маш нарийн геометр болон жижиг хөдөлгөөнт бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тулгуурладаг. Ийм хэрэглээнд фоторезистийн үлдэгдэл нь төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанд ноцтой нөлөөлдөг . MEMS үйлдвэрлэлд ашигладаг хөрс хуулалт нь дараахь зүйлийг хангасан байх ёстой.
Эсэргүүцлийг бүрэн арилгах
Үлдэгдэл үүсэхгүй
Цахиур, шил, металлтай материалын нийцтэй байдал
Даралт мэдрэгч, хурдатгал хэмжигч, гироскопийн хувьд минутын бохирдол ч нарийвчлалд нөлөөлж болно. Тиймээс цэвэрлэгээний гүйцэтгэлийг ихэвчлэн микроскопийн түвшинд үнэлдэг.
Багц процессын оновчлол
MEMS цутгах үйлдвэрүүдэд багцын боловсруулалт түгээмэл байдаг. Энэ нь зардлын үр ашгийн үүднээс шаарддаг олон мөчлөгт тогтвортой, үр дүнтэй байх хөрс хуулалтын бодисыг бөгөөд хэдэн арван эсвэл хэдэн зуун нэгжийг тогтмол цэвэрлэх чанарыг баталгаажуулдаг. Юананы шийдлүүд нь өндөр хүчин чадалтай, химийн хамгийн бага доройтолд зориулагдсан бөгөөд MEMS-ийн үр ашигтай үйлдвэрлэлд хувь нэмэр оруулдаг.
Нийлмэл хагас дамжуулагч ба оптоэлектроникийн хэрэглээ
GaAs, GaN ба фотоник төхөөрөмжүүд
зэрэг нийлмэл хагас дамжуулагчийг Галийн арсенид (GaAs) ба Галийн нитрид (GaN) өргөн ашигладаг LED, лазер, өндөр давтамжийн RF-ийн хэрэглээнд . Эдгээр материалууд нь цахиураас илүү химийн урвалд ордог бөгөөд хөрс хуулалтын зөөлөн боловч үр дүнтэй эсэргүүцэл шаарддаг . Хатуу химийн бодисууд нь гадаргуугийн нүхжилт, исэлдэлт эсвэл хүсээгүй сийлбэрт хүргэдэг.
Юананых фоторезист хөрс хуулалт нь дараахь зүйлд зориулагдсан болно. Нийлмэл хагас дамжуулагчийн
Оптик тунгалаг байдал ба гадаргуугийн жигд байдал
Оптоэлектроникийн хувьд гадаргуугийн цэвэр байдал нь зөвхөн техникийн шаардлага төдийгүй гүйцэтгэлийн шаардлага юм . Ашигласан хөрс хуулалт нь байх ёстой . Өндөр цэвэршилттэй найрлага нь хальсны үлдэгдэлгүй гэрлийн дамжуулалт эсвэл тусгалд нөлөөлж болзошгүй зэрэг оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн үйлдвэрлэлийн стандартыг хангахад зайлшгүй шаардлагатай. долгион хөтлүүр, лазер диод, фотоник нэгдсэн хэлхээ .
R&D, Prototyping, and Specialty Labs
Эрдмийн болон үйлдвэрлэлийн судалгааны олон талт байдал
Фоторезист хөрс хуулалт нь зөвхөн их хэмжээний үйлдвэрлэлээр хязгаарлагдахгүй. Эдгээрийг мөн R&D орчинд өргөнөөр ашигладаг. олон төрлийн фоторезист болон туршилтын материалыг туршиж үздэг Судлаачид ихэвчлэн дараахь хооронд шилждэг.
Эерэг ба сөрөг фоторезистүүд
Органик ба органик бус субстрат
Температурын олон шат дамжлага
Эдгээр лабораторийн хувьд олон талт байдал нь чухал юм. Юанан нь олон зориулалттай хөрс хуулалтын бодисуудыг санал болгодог. олон төрлийн химийн бодис агуулах хэрэгцээг багасгаж, туршилтын янз бүрийн нөхцөлд аюулгүй, найдвартай ажиллагааг хангадаг
Эмзэг загварт зориулсан үлдэгдэл багатай томьёо
Прототип хийх явцад процессын жижиг дутагдал ч гүйцэтгэлийн үр дүнг өөрчилж болно. Үлдэгдэл фоторезист нь хэмжилтийн үр дүнг бүдгэрүүлэх эсвэл давхаргын наалдацыг үүсгэдэг. Иймээс үлдэгдэл багатай, ачаалал багатай хөрс хуулалтын бодисууд нь туршилтын нарийвчлал, бүтээн байгуулалтын үе шатанд ургацыг хадгалахад тохиромжтой.
Фоторезист тайрах технологийн юананийн давуу тал
Аж үйлдвэрийн тусгай хэрэгцээнд зориулан тохируулах
Химийн инновацийн салбарт тэргүүлэгчийн хувьд Юаньан нь боловсруулахын тулд үйлчлүүлэгчидтэй нягт хамтран ажилладаг . хөрс хуулалтын шийдлийг тодорхой процесст тохирсон Энэ нь уян хатан субстратын бага температурт тавигдах шаардлага эсвэл алтаар бүрсэн контактуудад зэврүүлэхгүй бодис байх эсэхээс үл хамааран Юананы хөгжүүлэлтийн баг оновчтой шийдлийг боловсруулахаар ажилладаг.
Тогтвортой байдал ба байгаль орчны хариуцлага
Орчин үеийн үйлдвэрлэл ногоон хими дээр илүү анхаарч байна . Юананых Фоторезист хөрс хуулалт нь дараахь байдлаар бүтээгдсэн.
Биологийн задралд ордог найрлага
VOC ялгаруулалтыг бууруулсан
Боломжтой бол дахин боловсруулах боломжтой уусгагч
Энэ нь тэднийг үр дүнтэй төдийгүй дэлхий даяарх байгаль орчны дүрэм журмыг дагаж мөрдөж , илүү цэвэр үйлдвэрлэлийн санаачлагыг дэмждэг.
Дүгнэлт
Фоторезист хөрс хуулалт нь анхаарлын төвд байдаггүй ч тэдний нөлөө орчин үеийн электроник, фотоникийн эдэд гүн шингэсэн байдаг. Тэдгээрийн хэрэглээ нь хагас дамжуулагч, мэдрэгчээс эхлээд уян харимхай дэлгэц, дэвшилтэт фотоник чип зэрэг өргөн хүрээг хамардаг бөгөөд тус бүр нь нарийн, материалд нийцсэн цэвэрлэгээ шаарддаг.
Юананы гэрэл зургийн эсэргүүцлийн хөрс хуулалтын хамгийн сүүлийн үеийн шийдлүүд нь гүйцэтгэл, олон талт байдал, тогтвортой байдлыг хангадаг бөгөөд өндөр технологийн янз бүрийн салбарт цэвэр гадаргуу, найдвартай боловсруулалт, өндөр ургацыг баталгаажуулдаг. Инженер, судлаач, үйлдвэрлэгчдийн хувьд хөрс хуулалтын бодисыг зөв сонгох нь зөвхөн техникийн шийдвэр биш, харин стратегийн чухал шийдвэр юм.
