Ọganihu nke teknụzụ semiconductor agbanweela ọtụtụ ụlọ ọrụ, site na ngwa eletrọnịkị ndị ahịa ruo na mbara ikuku. Isi ihe dị n'ichepụta ngwaọrụ semiconductor bụ usoro nke wafer dicing, ebe a na-egbutu wafer silicon n'ime ibe ma ọ bụ nwụọ. Akụkụ a na-elegharakarị anya ma dị oke egwu nke usoro a bụ mmiri mmiri wafer . Mmiri mmiri a pụrụ iche na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịhụ na arụmọrụ, izi ezi, na ịdịmma nke usoro dicing. Ịghọta ọrụ ya na mkpa ya dị mkpa maka ịkwalite mmepụta semiconductor na idobe iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe microelectronic.
Usoro Wafer Dicing kọwara
Wafer dicing bụ usoro dị mgbagwoju anya na nke siri ike nke gụnyere iberibe wafer semiconductor edoziri n'ime obere iberibe, nke ọ bụla na-anọchite anya microchip na-arụ ọrụ. Usoro a chọrọ oke nkenke iji zere imebi sekit dị mgbagwoju anya na ihe arụnyere n'ime wafer. A na-eme dicing site na iji ma ọ bụ igwe ịwa ihe na agụba diamond ma ọ bụ teknụzụ ịkpụ laser. A na-eji igwe ịwa ihe n'ọtụtụ ebe n'ihi ọnụ ahịa ya na teknụzụ guzosie ike, mana ịcha laser na-enweta ewu ewu maka ikike ya ibelata nrụgide ọrụ yana belata mfu kerf.
Mgbe a na-akụ egwu, a na-etinye wafer na teepu nrapado iji jide ha. Ngwa ịkpụzi na-agafe n'ofe wafer, na-eke okporo ụzọ dị warara n'etiti ndị nwụrụ anwụ. Izizi nhazi na nkwụsi ike nke gburugburu ebe a na-egbutu dị oke mkpa iji gbochie mgbawa, mgbawa, ma ọ bụ imerụ wafer. Ezughi oke ọ bụla nwere ike iduga ibe mgbawa, nke ọ bụghị naanị na-ebelata mkpụrụ mana ọ nwekwara ike imebi ntụkwasị obi nke ngwaọrụ eletrọnịkị.
Ọrụ nke mmiri mmiri wafer n'ime usoro ịkụcha
Mmiri wafer dicing bụ akụkụ dị mkpa nke na-emetụta nsonaazụ nke usoro ịkụ ntụtụ. Ọrụ ya bụ isi gụnyere imeju oyi, mmanu mmanu, na mkpochapụ. Ntugharị ọsọ dị elu nke agụba diamond ma ọ bụ ike siri ike nke ọkụ laser na-ebute oke ọkụ. Okpomọkụ dị ukwuu nwere ike ime ka mgbasawanye ọkụ, na-eduga na mgbagha wafer ma ọ bụ ịmepụta microcracks. Site n'inye ntụ oyi dị mma, mmiri mmiri na-ekpo ọkụ na-ekpochapụ okpomọkụ pụọ na mpaghara mbelata, na-edobe iguzosi ike n'ezi ihe nke wafer.
Mmanu mmanu bụ ọrụ ọzọ dị oke mkpa nke mmiri wafer dicing. Mmiri mmiri na-ebelata esemokwu n'etiti ngwá ọrụ ịkpụ na elu wafer, na-eme ka mbelata dị nro ma na-ebelata nrụgide ọrụ. Ọ bụghị nanị na nke a na-eme ka ịdị mma nke akụkụ ndị e gbutu ahụ dịkwuo mma kamakwa ọ na-agbatị oge ndụ nke ngwá ọrụ ịkpụ site n'ibelata iyi na akwa.
Ọzọkwa, usoro ịkụ mkpụrụ na-emepụta ihe dị mma, nke a na-akpọkarị swarf ma ọ bụ irighiri ihe. Ọ bụrụ na ejighịzi ya nke ọma, irighiri ihe a nwere ike kpụchaa n'elu wafer ma ọ bụ tinye ya n'ime anwụ, na-ebute ntụpọ arụ ọrụ. Mmiri mmiri wafer na-enyere aka n'iwepụ irighiri ihe ndị a na interface ịkpụ. Ọ na-akwụsịtụ irighiri ihe ahụ, na-ekwe ka mmiri na-asọpụta na-ebupụ ya ma gbochie itinyeghachi ya na wafer.
Ụdị mmiri mmiri wafer
Ụdị dị iche iche nke mmiri mmiri wafer dicing dị, nke ọ bụla e mere iji mezuo ihe a chọrọ maka usoro ịkụ egwu. Ụdị ndị a na-emekarị na-agụnye mmiri mmiri na-adabere na mmiri, mmiri sịntetik, na mmiri nke ọkara sịntetik. Mmiri mmiri na-eme ka mmiri na-ejupụta n'ihi ọmarịcha ihe na-eme ka ọ dị jụụ na enyi na gburugburu ebe obibi. Ha na-enwekarị ihe mgbakwunye dị ka corrosion inhibitors na biocides iji kwalite arụmọrụ.
A na-eji ngwakọta kemịkalụ mepụta mmiri sịntetik nke na-enye mmanu mmanu na nkwụsi ike n'okpuru oke okpomọkụ. Ha bara uru karịsịa n'ọnọdụ ebe usoro ịkpụchasị ahụ na-ebute oke okpomọkụ ma ọ bụ ebe achọrọ imecha elu elu. Mmiri mmiri na-emepụta ihe na-ejikọta uru nke ma mmiri na-adabere na mmiri na nke sịntetik, na-enye nguzozi n'etiti nju oyi, mmanu mmanu, na ọnụ ahịa.
Ihe mgbakwunye na ọrụ ha
Ihe mgbakwunye na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkwalite njirimara nke mmiri mmiri wafer. Ihe mgbakwunye a na-ejikarị gụnyere surfactants, nke na-ebelata esemokwu elu ma na-eme ka mmiri dị n'elu wafer dịkwuo mma. Ndị na-egbochi corrosion na-echebe ihe igwe dị na akụrụngwa dicing site na oxidation. Biocides na-egbochi uto microbial na mmiri mmiri, nke nwere ike imebi ihe onwunwe ya ka oge na-aga. A na-etinyekwa ihe na-egbochi ụfụfụ iji gbochie ọkpụkpụ ụfụfụ nke nwere ike igbochi ịdị irè nke mmiri ahụ.
Uru nke iji mmiri mmiri wafer dicing
Iji mmiri mmiri wafer kwesịrị ekwesị na-arụpụta ọtụtụ uru. Mma mma jụrụ oyi na mmanu mmanu na-eduga n'ịdị mma ịkpụ, nke e ji ọnụ ọnụ na-adị ire ụtọ na obere chipping mara. Nke a na-atụgharị ozugbo gaa na mkpụrụ dị elu, ebe ọ bụ na a na-emepụta ọnwụ na-arụ ọrụ n'otu wafer. Na mgbakwunye, site na ibelata iyi ngwá ọrụ, mmiri mmiri ndị ahụ na-enye aka n'ịbelata ụgwọ ọrụ mmezi yana ogologo ndụ akụrụngwa.
Mwepụ dị irè nke irighiri ihe ọ bụghị nanị na-egbochi mmebi nke wafer kamakwa na-echekwa ebe ọrụ dị ọcha. Ịdị ọcha a dị oké mkpa na mmepụta semiconductor, ebe ọbụna ihe ndị na-emerụ emerụ nwere ike ịkpata nnukwu ntụpọ. Ọzọkwa, a na-emepụta ụfọdụ usoro nke mmiri mmiri na-eme ka ọ bụrụ enyi na gburugburu ebe obibi, na-ebelata ọnụ ahịa mkpofu na mmetụta gburugburu ebe obibi jikọtara ya na ihe mkpofu dị ize ndụ.
Mmetụta na arụmọrụ Usoro
Site n'ịkwalite ọnọdụ ịkpụ, mmiri mmiri wafer na-ebuli arụmọrụ usoro. Enwere ike ime ngwa ngwa ịkpụ ọsọ ọsọ na-enweghị imebi àgwà, na-abawanye ụbara. Mmiri ndị ahụ na-emekwa ka njide siri ike na paramita dicing, na-enye ohere maka izi ezi ka ukwuu n'imepụta ngwaọrụ semiconductor dị mgbagwoju anya. Nke a dị mkpa karịsịa ka ngwaọrụ na-adị ntakịrị ma dị mgbagwoju anya, na-achọ nnabata nke nrụpụta.
Ihe ịma aka na echiche
N'agbanyeghị uru ha bara, mmiri mmiri wafer na-eweta ụfọdụ ihe ịma aka a ga-edozirịrị. Otu nchegbu bụ ike nke mmeghachi omume kemịkal n'etiti mmiri na ihe wafer. Dịka ọmụmaatụ, mmiri mmiri nwere ọkwa pH dị elu nwere ike ịtinye ma ọ bụ mebie ihe ndị nwere mmetụta. Dị ka nke a, ịhọrọ mmiri mmiri nwere ndakọrịta kemịkalụ kwesịrị ekwesị dị oke mkpa.
Ihe ọzọ a na-echebara echiche bụ njikwa microbial na-eto eto na mmiri mmiri. Na-enweghị biocides kwesịrị ekwesị, mmiri nwere ike ịghọ ebe a na-amụba nje bacteria na fungi, nke nwere ike gbanwee ihe onwunwe mmiri ma na-esi ísì ọjọọ. Nleba anya mgbe niile na idobe ogo mmiri dị mkpa iji gbochie ụdị nsogbu ahụ.
Iwu gburugburu na nchekwa
Irube isi na ụkpụrụ gburugburu ebe obibi na nchekwa bụ akụkụ ọzọ dị oke egwu. Ụfọdụ mmiri mmiri na-agbapụta nwere ihe ndị dị ize ndụ nye ahụike ma ọ bụ gburugburu ebe obibi. Ndị na-emepụta ihe ga-ahụrịrị na mmiri mmiri ha na-ezute ụkpụrụ nchịkwa yana na njikwa na mkpofu kwesịrị ekwesị dị. Ngbanwe ahụ gaa na mmiri mmiri na-emetụta gburugburu ebe obibi, dị ka ndị na-enye ndị na-eweta mmiri wafer dicing na-elekwasị anya na ngwọta enyi na enyi, na-egosipụta ntinye aka nke ụlọ ọrụ na nkwado.
Ọmụmụ ihe gbasara ikpe na ihe atụ
Tụlee onye na-emepụta semiconductor na-enwe nnukwu mmebi wafer n'oge dicing. Mgbe nyochachara, achọpụtara na mmiri dicing dị adị enweghị ezigbo ntụ oyi na mmanu mmanu. Site n'ịgbanwe na arụmọrụ dị elu Wafer dicing fluid , ụlọ ọrụ ahụ belatara wafer chipping site na 30%, mụbaa ndụ ngwá ọrụ site na 25%, ma kwalite mkpụrụ n'ozuzu ya.
N'oge ọzọ, otu ụlọ ọrụ chere ihe ịma aka irube isi na gburugburu ebe obibi ihu n'ihi mkpofu mmiri mmiri dị ize ndụ. Site n'ịga n'ihu na gburugburu ebe obibi enyi na enyi, mmiri mmiri na-emebi emebi, ọ bụghị nanị na ha zutere ihe ndị a chọrọ n'usoro iwu kamakwa belata ụgwọ mkpofu site na 40%. Mgbanwe a kwalitekwara nchekwa ndị ọrụ site n'ibelata ikpughe na kemịkalụ na-emerụ ahụ.
Mmetụta dị na ngwaọrụ Semiconductor dị elu
Site na ọbịbịa nke ngwaọrụ semiconductor dị elu, dị ka sistemụ micro-electro-mechanical (MEMS) na ngwa ike dị elu, ihe ndị a chọrọ maka mmiri mmiri wafer aghọọla ihe siri ike. Mmiri na-arụ ọrụ nke ọma dị mkpa iji nabata ihe ndị dị nro na ihe ndị a na-eji na ngwaọrụ ndị a. Nhọrọ nke mmiri mmiri kwesịrị ekwesị na-emetụta kpọmkwem ntụkwasị obi na arụmọrụ nke ngwaahịa ikpeazụ.
Ntuziaka bara uru maka ịhọrọ mmiri mmiri wafer
Ịhọrọ mmiri mmiri wafer kwesịrị ekwesị chọrọ nghọta zuru oke nke usoro dicing na mkpa dị iche iche nke ngwa ahụ. Ihe ndị dị mkpa ị ga-atụle gụnyere ihe nke wafer, ụdị ngwá ọrụ dicing ejiri, ụkpụrụ gburugburu ebe obibi, na ihe mgbochi ọnụ ahịa. Imekọ ihe ọnụ na ndị na-ebubata mmiri mmiri nwere ike inye nghọta bara uru na nhazi kacha mma maka usoro enyere.
Ọ bụ ihe amamihe dị na ya iji mmiri mmiri dị iche iche na-eme nnwale iji chọpụta arụmọrụ ha na ọnọdụ ụwa n'ezie. Nleba anya dị ka ịcha mma, iyi ngwá ọrụ, ịdị mma jụrụ oyi na ndụ mmiri mmiri nwere ike ịgwa usoro ịme mkpebi. Tụkwasị na nke a, n'ịtụle ịdị mfe nke mmezi, ndakọrịta na usoro ndị dị ugbu a, na ịnweta nkwado teknụzụ sitere n'aka ndị na-ebubata nwere ike ịkwado mmejuputa nke ọma.
Nlekọta na nlekota nke mmiri mmiri dicing
Ndozi nke ọma nke mmiri mmiri wafer dị mkpa iji kwado ịdị irè ha ka oge na-aga. Nyochaa mgbe niile maka mmetọ, ọkwa pH, itinye uche nke ihe mgbakwunye, yana ọrụ microbial kwesịrị ịbụ akụkụ nke usoro ọrụ ọkọlọtọ. Ịmepụta usoro nzacha nwere ike inye aka wepụ ihe ndị dị n'ime mmiri ahụ, na-agbatị ndụ ya. Idobe ndekọ zuru ezu nke ịrụ ọrụ mmiri na ọrụ mmezi nwere ike inye aka n'ịchọpụta usoro na iji kpachara anya dozie nsogbu ndị nwere ike.
Mmechi
Mmiri wafer dicing bụ ihe dị mkpa na usoro nrụpụta semiconductor, na-emetụta ịdịmma, arụmọrụ, na mkpụrụ nke arụmọrụ wafer. Ọrụ ya na nju oyi, mmanu na mkpofu ihe dị mkpa maka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị elu. Site n'ịghọta ọrụ na uru nke mmiri wafer dicing, ndị na-emepụta nwere ike ịme mkpebi ndị na-eme ka usoro mmepụta ha dịkwuo mma mgbe ha na-ezute ụkpụrụ gburugburu ebe obibi na nchekwa.
Evolushọn na-aga n'ihu nke teknụzụ semiconductor na-achọ mmelite na-aga n'ihu na mmegharị n'akụkụ niile nke nrụpụta. Mmiri mmiri wafer adịghị iche, yana ihe ọhụrụ na-elekwasị anya na nkwalite arụmọrụ yana nkwado. Ka ụlọ ọrụ ahụ na-aga n'ihu, nhọrọ atụmatụ na njikwa nke mmiri mmiri wafer ga-anọgide na-abụ ihe dị mkpa n'inweta ọmarịcha arụmọrụ yana ịnọgide na-asọmpi n'ahịa zuru ụwa ọnụ.
