N'ihe gbasara microelectronics, nrụpụta semiconductor, na nrụpụta ngwa anya ziri ezi, iwepụ ihe na-ese foto nke ọma bụ nzọụkwụ dị oke mkpa. Nke Onye na-ewepụ fotoresist bụ dike a na-agụghị n'azụ usoro a, na-enyere ndị na-emepụta aka wepu fotoresist n'ụzọ dị ọcha na-emebighị mkpụrụ ma ọ bụ ihe owuwu sekit siri ike. Ka akụkụ ngwaọrụ na-ebelata yana mgbagwoju anya na-abawanye, ọchịchọ maka ndị na-ebupụ ihe na-arụ ọrụ dị elu etoola nke ukwuu.
Dị ka onye na-eduga ọkachamara na ngwọta kemịkalụ maka nrụpụta dị elu, na-abanye n'ime akụkụ dị iche iche nke ndị na-ewepụ fotoresist-site na ngwa ụlọ ọrụ ha na-eme ihe kachasị mma-na-enye ndị ọkachamara ntụziaka dị omimi, nke bara uru.
Ngwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe nke Photoresist Stripping Agents
Semiconductor mmepụta
Na nhazi nke semiconductor, ihe ndị na-ewepụ fotoresisist dị mkpa n'oge a na-ehicha ihe post-lithography. Mgbe etinyere ụkpụrụ a chọrọ ma ọ bụ tinye ya na wafer, a ga-ewepụrịrị photoresisist ọ bụla fọdụrụ na nkenke iji gbochie mmetọ ma ọ bụ obere sekit. Ndị ọrụ ndị a ga-esirịrị ike nke ọma ịgbari polymers nwere njikọ ebe ọ dị nro ka ha ghara ịkatọ ma ọ bụ mebie silicon, GaAs, ma ọ bụ ihe ndị ọzọ nwere mmetụta.
MEMS na Microfabrication
Nrụpụta Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) na-adabere kpamkpam na ụkpụrụ photoresist iji kọwaa ihe owuwu 3D gbagwojuru anya. Onye na-apụ apụ ga-abanyerịrị n'olulu miri emi wee hapụ ihe mgbochi ahụ kpamkpam, mgbe mgbe n'okpuru okpomọkụ dị elu yana mkpasu iwe ultrasonic. Ihe na-eyipụ ihe dị elu na-eme ka mwepụta dị ọcha na-enweghị ihe nkiri fọdụrụnụ ma ọ bụ mmerụ ahụ.
Mmepụta Ngwa anya
N'ime ụlọ ọrụ anya, a na-eji photoresist kpuchie lenses, waveguides, na ihe ndị ọzọ n'oge micromachining ma ọ bụ nzọụkwụ mkpuchi. Ihe ndị na-eyipụ fotoresis ga-adabarịrị na iko, quartz, na ihe mkpuchi, na-ezere haze ma ọ bụ ígwé ojii nke nwere ike imetụta nghọta anya na ịrụ ọrụ ngwaọrụ.
Njirimara kemịkalụ na usoro
A na-emepụta ihe ndị na-ewepụ fotoresis dabere na kemịkalụ dị iche iche, nke ọ bụla na-ezubere iche ụdị mgbochi yana ọnọdụ usoro.
Ihe mgbaze dabere na mgbaze
Ndị ọrụ ndị a na-agbari ihe mgbochi ahụ site n'ịmepụta ụdọ polymer. Ha na-abụkarị nke glycol ethers, amines, ma ọ bụ ihe mgbaze na-esi ísì ụtọ. Usoro ihe mgbaze na-arụ ọrụ nke ọma na novolac ma ọ bụ i-line photoresists ma dakọtara na aluminom na ọla kọpa.
Alkaline Strippers
A na-eji ya eme ihe mgbe ọ dị mkpa ime ihe ike karị, usoro alkaline (na-adaberekarị na hydroxides ma ọ bụ amines) nwere ike imebi ihe ndị na-eguzogide ọgwụ ma ọ bụ ihe mgbochi UV miri emi. Agbanyeghị, ha chọrọ nlezianya pH na nleba anya ndakọrịta ihe, ọkachasị na ọla.
Ndị na-ewepụ ihe fọdụrụ na Plasma dakọtara
Ụfọdụ ngwa dị elu na-eji usoro iwepụ nkụ, mana usoro ngwakọ nwere ike ịgụnye ihe mmiri mmiri dakọtara na plasma nke na-akwadebe wafer maka ntụ ntụ plasma na-esote.
Otu esi eji onye na-ewepụ ihe na-ese foto nke ọma
Ojiji kwesịrị ekwesị dabere n'ọtụtụ ihe, gụnyere ụdị mgbochi, ihe mkpụrụ osisi, na kemistri nke onye na-ewepụ ihe. N'okpuru bụ usoro ọrụ a na-ahụkarị:
Echiche tupu ọgwụgwọ
Tupu ịkwapụ, hụ na etinyere mkpụrụ osisi ahụ ka ọ dị mma ka ọ bụrụ ọnọdụ okpomọkụ. Jiri mmiri DI sachaa ya nke ọma nwere ike inye aka zere ebe mmeghachi omume kemịkal mgbe etinyere ihe na-ewepụ ihe.
Ntinye na mkpasu iwe
Ọtụtụ ndị na-ewepụ ihe na-achọ imikpu ma ọ bụ ngwa mmiri mmiri ruo ọtụtụ nkeji, na-enyere aka site na mkpasu iwe ultrasonic ma ọ bụ kpo oku ruo ~ 60-80 ° C. Gbaa mbọ hụ na kọntaktị kemịkalụ maka ịrụ ọrụ kacha mma.
Hrinse na akọrọ
Mgbe nke ahụ gasịrị, kpochaa ya nke ọma na mmiri deionized iji wepụ ihe niile fọdụrụnụ. Ghichaa ya na ikuku nitrogen ma ọ bụ kpochaa. Nsacha nke ọma nwere ike ịhapụ ihe ndị na-emerụ emerụ na-emetụta nzọụkwụ mgbada.
Ntuziaka nchekwa, gburugburu, na njikwa
Nchekwa onye ọrụ
Ndị na-ewepụ fotoresis nwere ike ịnwe ogige organic na-agbanwe agbanwe (VOCs), amines, ma ọ bụ ihe ndị na-emebi emebi. Na-arụ ọrụ mgbe niile na mkpuchi ikuku na-eku ume ma na-eyi PPE kwesịrị ekwesị—gloves, goggles, na apons na-eguzogide ọgwụ.
Mkpofu mkpofu
A ghaghị ịnakọta ma tụfuo kemịkalụ eji eme ihe dị ka ihe mkpofu dị ize ndụ, dịka iwu obodo siri dị. Ihe fọdụrụ a gwakọtara ka na-ebu ihe egwu gburugburu ebe obibi na e kwesịghị ịwụsa ya n'ime mmiri mmiri.
Chọrọ nchekwa
Chekwaa ihe ndị na-apụnara mmadụ ihe n'ime ihe mkpuchi, nke na-eguzogide corrosion pụọ na oxidizers ma ọ bụ nnukwu okpomọkụ. Ndụ shelf nwere ike ịdị iche - na-ezo aka mgbe niile na mpempe data teknụzụ nke onye nrụpụta.
Otu esi ahọpụta onye nnọchi anya mgbapụ fotoresis ziri ezi
Ịhọrọ ngwaahịa ziri ezi na-adabere na ịhazi arụmọrụ, ndakọrịta, na ọnụ ahịa. Isi njirisi gụnyere:
Ndakọrịta mkpụrụ: Gbaa mbọ hụ na kemịkalụ anaghị emebi akwa igwe ma ọ bụ mkpuchi siri ike.
Nhicha na-enweghị ihe fọdụrụ: Họrọ usoro na-ahapụghị ihe fọdụrụ ionic ma ọ bụ organic.
Ngwakọta usoro: Họrọ ihe nkedo na-ejikọta ya na bench mmiri mmiri ma ọ bụ ihe nhịahụ.
Nrube isi n'usoro: Gbaa mbọ hụ na onye na-ewepụ ihe na-akwado REACH, RoHS, na ụkpụrụ nchekwa ndị ọzọ.
Yuanan na-enye ihe ngwọta dị iche iche ahaziri ahazi fotoresist iji gboo mkpa usoro dị iche iche. A na-eji nhọrọ dị elu mebere ngwaahịa anyị, mmetụta gburugburu ebe obibi dị ala, yana ịrụ ọrụ nhicha pụrụ iche.
Ihe ịma aka ndị a na-ahụkarị na ndụmọdụ nchọpụta nsogbu
Mwepụ eguzogide ezughị ezu
Ọ bụrụ na mgbochi ka dị, lelee ma ụdị fotoresisist agbasie ike ma ọ bụ jikọtara ya. Gbalịa ịbawanye okpomọkụ ma ọ bụ oge ịrapara, ma ọ bụ gbanwee gaa na kemistri na-eme ihe ike.
Mmebi nke mkpụrụ osisi
Ntugharị ma ọ bụ mwepu agba nwere ike igosi enweghị ndakọrịta kemịkalụ. Jiri wafer ule tupu ngwa zuru oke iji chọpụta iguzosi ike n'ezi ihe n'elu.
Ihe nkiri fọdụrụnụ
Ihe fọdụrụ nwere ike ịpụta site na ihe mgbochi mebiri emebi ma ọ bụ site na onye na-ewepụ ihe n'onwe ya. Soro na-asachapụ nke abụọ ma ọ bụ n'azụ-mkpọpu dị ọcha iji hụ na ịdị ọcha.
Mmechi
Ndị na-ewepụ fotoresist bụ ngwaọrụ dị mkpa na ụlọ ọrụ microfabrication, na-eme ka mgbanwe dị ọcha n'etiti usoro nhazi mgbe ị na-echekwa ogo ngwaọrụ. Ịghọta ihe mejupụtara kemịkalụ ha, ụkpụrụ ojiji, usoro nchekwa, na njirisi nhọrọ na-enye ndị na-emepụta aka nweta mkpụrụ dị elu yana obere oge ọdịda.
Na Yuanan , anyị na-agba mbọ na-ebuga kemịkalụ kemịkalụ ọhụrụ na-enye ike nrụpụta nkenke. A haziri ndị na-agbapụ fotoresisist maka oke ndakọrịta, arụmọrụ yana nchekwa gburugburu - nkwado ndị ọkachamara kwadoro maka ọnọdụ ngwa ọ bụla.
