Үзсэн: 211 Зохиогч: Сайтын редактор Нийтлэгдсэн цаг: 2025-04-22 Гарал үүсэл: Сайт
Электроникийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийвчлалд суурилсан ертөнцөд бичил харуурын нарийн ширийн зүйл бүр чухал байдаг. Үйлдвэрлэлийн мөчлөгийн нэг чухал алхам бол хуурай хальсан фоторезистийг арилгах явдал юм. Энэ нь хаана байна Хуурай хальсны фоторезист тайлагч нь зайлшгүй шаардлагатай болдог. Юаньанд бид нарийн үйлдвэрлэлийн процесст тохирсон химийн дэвшилтэт шийдлүүдийг хүргэх чиглэлээр мэргэшсэн. Энэ нийтлэлд бид хуурай хальсан фоторезист тайлагч гэж юу болох, энэ нь хэрхэн ажилладаг, яагаад энэ нь таны үйлдвэрлэлийн шугамын зайлшгүй чухал хэсэг болохыг судлах болно.
Хуудас тайлагч руу шумбахаас өмнө хуурай хальсан фоторезист гэж юу болох, яагаад үүнийг ашигладаг болохыг ойлгох нь чухал юм.
Хуурай хальсан фоторезист нь фотолитографийн процессын үед хэвлэмэл хэлхээний самбар (ПХБ) дээр нарийн хэлхээний хэв маягийг бий болгоход ашигладаг гэрэлд мэдрэмтгий материал юм. Үүнийг хатуу ламинат хэлбэрээр түрхэж, хэт ягаан туяанд маскаар нэвтрүүлж, дараа нь хүссэн хэлхээний загварыг үлдээхээр боловсруулсан.
Энэхүү эсэргүүцэл нь хамгаалалтын хаалт болж, зарим хэсгийг сийлбэрлэх эсвэл бүрэх боломжийг олгодог бөгөөд бусад нь хамгаалагдсан хэвээр байна. Гэсэн хэдий ч сийлбэр эсвэл өнгөлгөө дууссаны дараа үлдсэн фоторезистийг цэвэрхэн, үр дүнтэйгээр арилгах хэрэгтэй. Тэнд а Хуурай хальсан фоторезист тайлагч ажиллаж байна.
Хуурай хальсан фоторезист тайлагч нь зэс, цахиур зэрэг субстратаас зориулалттай тусгай химийн уусмал эсвэл найрлага юм . фоторезистийн хатуурсан давхаргыг үндсэн материалыг гэмтээхгүйгээр арилгах
Эдгээр тайчигч нар гол үүрэг гүйцэтгэдэг:
Цаашид боловсруулалт хийхэд гадаргууг цэвэр байлгах
Дамжуулах чанар, наалдацыг алдагдуулж болзошгүй химийн үлдэгдэлээс урьдчилан сэргийлэх
Нарийн хэлхээний дэлгэрэнгүй мэдээллийг хадгалах
Та ПХБ үйлдвэрлэх, хагас дамжуулагч боловсруулах, микроэлектроникийн чиглэлээр ажиллаж байгаа эсэхээс үл хамааран өндөр хүчин чадалтай тайлагч нь таны бүтээгдэхүүнийг хамгийн өндөр чанарын стандартад нийцүүлэн баталгаажуулдаг.
Хуурай хальсан фоторезист нь хүчил, шүлт, сийлбэрийн уусмалд тэсвэртэй байхаар бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь түүнийг арилгахад бага зэрэг төвөгтэй болгодог. Хөрс тайлагч нь ашиглан эсэргүүцлийн давхарга дахь полимер гинжийг таслах замаар ажилладаг уусгагч дээр суурилсан эсвэл шүлтлэг найрлага . Эдгээр идэвхтэй бодисууд нь эсэргүүцэл рүү нэвтэрч, уусгаж, механик үрэлтгүйгээр угаахад хялбар болгодог.
Үйл ажиллагааны цар хүрээ, төрлөөс хамааран Хуурай хальсан фоторезист тайлагчийг дараахь байдлаар хэрэглэж болно.
шүрших систем Өндөр эзэлхүүнтэй автомат шугамд зориулсан
усанд дүрэх сав Багц боловсруулах зориулалттай
гараар угаах Жижиг хэмжээтэй эсвэл нарийн ширхэгтэй эд ангиудыг
Арга бүр нь мэдрэмтгий хэлхээг гэмтээхээс зайлсхийхийн тулд температур, цаг хугацаа, концентрацийг хатуу хянахыг шаарддаг.
д Юанань- манай хуурай хальсан фоторезист тайлагч нь субстратын бүрэн бүтэн байдлыг хадгалахын зэрэгцээ хамгийн их үр ашигтай байхаар бүтээгдсэн. Манай шийдлүүд нь дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн орчны эрэлт хэрэгцээг хангахад зориулагдсан болно.
Бид аюулгүй байдал, тогтвортой байдлыг эрхэмлэдэг. Манай найрлага нь дараахь байдлаар хийгдсэн болно.
Хордлого багатай
VOC-тэй нийцдэг
Биологийн хувьд амархан задардаг
Эдгээр шинж чанарууд нь манай бүтээгдэхүүнийг цэвэр өрөө, байгаль орчинд мэдрэмтгий байгууламжид ашиглахад тохиромжтой болгодог.
Аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэлд хурд чухал байдаг. Манай тайчигч нар хурдан хариу үйлдэл үзүүлэх хугацааг санал болгодог бөгөөд энэ нь нарийвчлалыг хадгалахын зэрэгцээ өндөр дамжуулах боломжийг олгодог. Юананы шийдэл нь хатуу эсэргүүцлийг хурдан нэвтрүүлж, мөчлөгийн хугацааг эрс багасгадаг.
Субстратын чанарыг хадгалах нь маш чухал юм. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь зэсийн зүсэлт, исэлдэлт, аливаа бичил гэмтлээс зайлсхийх зорилгоор бүтээгдсэн.
Хэдийгээр чухал үүрэг гүйцэтгэдэг ч хуурай хальсан фоторезистийг арилгах нь зөв хийгдээгүй тохиолдолд асуудал үүсгэдэг.
Заримдаа химийн боловсруулалт хийсний дараа үлдэгдэл үлддэг бөгөөд энэ нь:
Богино холболт
Деламинаци
Бүрээсний наалдац муу
Энэ нь ихэвчлэн тайлагчийн зохисгүй концентраци эсвэл хугацаа нь дууссан химийн бодисоос үүдэлтэй байдаг.
Түрэмгий химийн бодис эсвэл хэт их өртөх нь зэс эсвэл доод давхаргыг гэмтээж болно. Энэ нь ялангуяа HDI (Өндөр нягтаршилтай харилцан холболт) ПХБ эсвэл хүлцэл маш хатуу байдаг хагас дамжуулагч хавтанд онцгой чухал юм.
Юананы санал болгож буй өндөр чанартай тайлагчийг ашиглах нь эдгээр эрсдлийг бууруулж, гадаргууг цэвэр, бүрэн бүтэн болгодог.
Зөвийг сонгох Хуурай хальсан фоторезист тайлагч нь зөвхөн эсэргүүцлийг арилгах биш, харин аюулгүй, үр дүнтэй арилгах явдал юм. бүтээгдэхүүний чанарыг хадгалахын зэрэгцээ
Материалын нийцтэй байдал - Хуудас тайлагч нь субстрат руу халдахгүй байхыг анхаарна уу.
Үлдэгдэлгүй цэвэрлэгээ - Ард нь хальс эсвэл тоосонцор үлдээдэг тайчигчаас зайлсхий.
Боловсруулалтын хугацаа - Богино хугацаанд ажиллах хугацаа нь дамжуулалтыг сайжруулдаг.
Байгаль орчны нийцэл – VOC багатай, RoHS-д нийцсэн найрлагыг хайж олоорой.
Микроэлектроникийн өндөр мэргэшсэн ертөнцөд нарийн цэвэрлэгээ хийх нь тохиролцох боломжгүй юм. Найдвартай Хуурай хальсан фоторезист тайлагч нь өндөр ургац, бага согогтой, үйл ажиллагааны үр ашигт хүрэх гол түлхүүр юм. Юаньан нь хөгжиж буй салбарын эрэлт хэрэгцээнд тохирсон аюулгүй, өндөр хүчин чадалтай хөрс хуулалтын шийдлээр дэлхийн үйлдвэрлэгчдийг дэмжиж байгаадаа бахархаж байна.
Манай дэвшилтэт судалгаа, боловсруулалтаас эхлээд тогтвортой байдлын төлөөх бидний амлалт хүртэл Юанань бол зүгээр нэг ханган нийлүүлэгч биш бөгөөд бид таны үйлдвэрлэлийн амжилтын түнш юм..